Wafer- und Maskenreinigungsgerät für Reinraum
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 06.08.2026
- CPV-Codes
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 545207-2026
- Verfahrensnummer
- 4e0b4393-902a-48ff-b861-c78cba891910
Fragenkatalog
Deine Fragen an die Ausschreibung, beantwortet aus Bekanntmachung und Unterlagen.
Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein spezialisiertes Reinigungsgerät für Wafer und Lithographie-Masken. Das Gerät soll in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 betrieben werden und den RCA-Reinigungsprozess mittels wässriger und saurer Lösungen ermöglichen. Die Vertragslaufzeit beträgt 420 Tage.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Auf einen Blick
KI-Auswertung der Bekanntmachung
So schnell verstehst du mit VergabeHero jede Ausschreibung.
Leistungsbeschreibung
Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Technik
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Zum UrsprungsportalÄnderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenAlle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.