Wafer- und Maskenreinigungsgerät für Reinraum

Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie

Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026

Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.

Photolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm

München · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge

Offen · Frist 06.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Unterhalts-, Grund- und Sonderreinigung für das Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik

München · Offen · Frist 15.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft Unterhalts-, Grund- und Sonderreinigungsleistungen für das Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik. Der Leistungsort liegt in der Region Freiburg. Die Grundlaufzeit reicht vom 1. März 2027 bis zum 28. Februar 2029, mit zwei Verlängerungsoptionen um jeweils zwölf Monate; Teilnahmeanträge oder Angebote sind bis zum 15. Oktober 2026 einzureichen.

UHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition

Garching · Offen · Frist 05.10.2026

Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.

Beschaffung eines Plasmawäschers

Offen · Frist 22.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft einen Plasmawäscher. Weitere Angaben zum technischen Umfang, zur Größenordnung, zum Einsatzort und zum Lieferzeitraum sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 22. September 2026 um 16:00 Uhr.

Rahmenvertrag für Reinraumdecken und -wände

Offen · Frist 15.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. beschafft über einen Rahmenvertrag Reinraumdecken und -wände für den Standort Freiburg im Breisgau. Angaben zu Umfang, Auftragswert und Laufzeit sind in den vorliegenden Daten nicht enthalten; die Frist endet am 15. Oktober 2026 um 09:00 Uhr UTC.

Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen

Jena · Offen · Frist 13.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.

Lieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben

München · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem zur hochauflösenden Analyse fixierter Proben sowie von Protein- und Membranstrukturen. Vorgesehen ist die Lieferung von einem System für die Region DE91C; die angegebene Dauer beträgt 120 Tage. Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (koordinierte Weltzeit) eingereicht werden.

ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern

Berlin · Offen · Frist 13.10.2026

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.

Beschaffung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems

Berlin · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem. Weitere Angaben zu technischer Ausstattung, Umfang, Wert oder Ausführungszeitraum enthält der Datensatz nicht. Die Frist ist der 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (Koordinierte Weltzeit, UTC).

Sachverständigenprüfung der Raumlufttechnik für ein Institutsgebäude mit Reinraum

München · Offen · Frist 20.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. beauftragt eine Sachverständigenprüfung der Raumlufttechnik (RLT) für ein geplantes Institutsgebäude in Garching. Das Gebäude umfasst Büro- und Laborbereiche, eine Technikzentrale sowie einen Reinraum von etwa 1.000 m²; die Hauptnutzfläche beträgt rund 6.155 m². Die Angebotsfrist endet am 20. Oktober 2026 um 11:00 Uhr.

Rahmenvertrag für Reinraumdecken und -wände

Offen · Frist 15.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft e.V., Vergabestelle Bau, beschafft einen Rahmenvertrag für Reinraumdecken und -wände am Standort Freiburg. Angaben zu Mengen, Vertragslaufzeit und Auftragswert liegen nicht vor; die Angebotsfrist endet am 15. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.

Wafer-Burn-in-Test für Halbleiterscheiben

München · Offen · Frist 01.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Stück für einen Wafer-Burn-in-Test, also eine Belastungsprüfung von Halbleiterscheiben. Die Leistung ist der Region Dresden (NUTS-Code DED41) zugeordnet; Angebote müssen bis zum 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit eingereicht werden.

Inspektionsanlage für Perowskit-Materialien

Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Inspektionsanlage für Perowskit-Materialien. Weitere Angaben zum Leistungsumfang, zur Größenordnung oder zum Einsatzort liegen nicht vor; die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr.

Hochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips

München · Offen · Frist 28.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.

Wartungsvertrag für Belimed Reinigungs- und Desinfektionsgeräte

Münster · Offen

Das Universitätsklinikum Münster schreibt einen Wartungsvertrag für medizinische Reinigungs- und Desinfektionsgeräte der Firma Belimed aus. Der Auftrag umfasst die regelmäßige Wartung, DGUV-V3-Prüfungen sowie Kalibrierungen für RDG- und GRDG-Geräte über einen Zeitraum von vier bis fünf Jahren. Das geschätzte Auftragsvolumen beläuft sich auf 250.000 EUR.

Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage

Berlin · Offen

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin beschafft im Rahmen einer Vereinbarung mit einem Unternehmen eine TEOS-basierte Zusatzkammer des Typs PP100PECVD für eine vorhandene Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage. TEOS steht für Tetraethylorthosilikat; PECVD bezeichnet die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung. Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von 1.440 Tagen und betrifft den Standort Berlin.

Kundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser

München · Offen · Frist 01.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.

Unterhalts-, Fenster- und Innenglasreinigung

Berlin · Offen · Frist 12.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft Leistungen zur Unterhalts-, Fenster- und Innenglasreinigung. Eine Mengen- oder Wertangabe ist nicht enthalten; die Frist endet am 12. Oktober 2026 um 12:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).