i-line-Stepper-Belichtungssystem für die Halbleiterfertigung
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 08.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Profil ansehen
- Erfüllungsregion
- Bayern, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 06.11.2025
- Bekanntmachungsnummer
- 734430-2025
- Verfahrensnummer
- a95f7309-2891-4de5-a572-34b56b899477
- CPV-Codes
- 37441200 · Stepper; 42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein i-line-Stepper-Belichtungssystem zur Strukturübertragung mittels UV-Belichtung von Fotolacksystemen. Das System soll für Forschungszwecke eingesetzt werden und umfasst eine optionale Anpassung für die Vorder- und Rückseitenbelichtung. Die Vertragslaufzeit ist auf 360 Tage angesetzt.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) - PR840232-2790-P
1 Stück i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) Es wird ein eigenständiges i-line-Schrittbelichtungssystem gesucht. Dieses wird für die Strukturübertragung durch selektive Belichtung von UV-lichtempfindlichen Fotolacksystemen durch eine reduzierende Fotomaske verwendet. Die UV-Strahlung soll durch eine Quecksilberdampflampe oder eine LED-Lichtquelle erzeugt werden. Optionen: 2.7 Option zur Anpassung zwischen Vorder- und Rückseite. Bitte geben Sie die erreichbare Überlagerungsgenauigkeit zwischen der Vorder- und Rückseite sowie Informationen zu den Substratbedingungen an, die die Anpassung zwischen Vorder- und Rückseite ermöglichen oder einschränken (z. B. Material, Waferdicke usw.). 2.9 LED als Lichtquelle oder Umrüstung der Quecksilberbogenlampe auf eine LED-Lichtquelle innerhalb von 10 Jahren nach Lieferung. 3.3 Bearbeitung von 100-mm-Substraten mit den in 3.3.1 - 3.3.x aufgeführten Substrateigenschaften. Die Bewertung der folgenden Punkte basiert auf dem Aufwand, der erforderlich ist, um die 150- und 200-mm-Bearbeitung ("Standardmaterial") auf die 100-mm-Wafer-Bearbeitung umzustellen. Je kürzer die Umstellungszeiten, desto besser. Bitte geben Sie Informationen zur durchschnittlichen Dauer und zum Aufwand für die Umstellung an. 3.3 Bearbeitung von 100-mm-Substraten mit den in 3.3.1 - 3.3.x aufgeführten Substrateigenschaften. Die Bewertung der folgenden Punkte basiert auf dem Aufwand, der erforderlich ist, um die 150- und 200-mm-Bearbeitung ("Standardmaterial") auf die 100-mm-Waferbearbeitung umzustellen. Je kürzer die Umstellungszeiten, desto besser. Bitte geben Sie Auskunft über die durchschnittliche Dauer und den Aufwand für die Umstellung. 3.3.1 Automatische Handhabung (einschließlich Be- und Entladevorgang), Ausrichtung (einschließlich "Flat Align": Automatisches Laden mit Vorausrichtung der Wafer und Flat Align 3σ ≤ 10 µm) und Bearbeitung (erste Belichtung und Belichtung mit Vorausrichtung) für 100-mm-Substrate mit Substratdicken von 200-1650 µm (± 25 µm) aus transparenten, halbtransparenten oder opaken Materialien wie Glas, Siliziumkarbid und Silizium. 3.3.2 Handhabung und Verarbeitung von Substratmaterialien, die nicht ausdrücklich in den Punkten 3.1 bis 3.3.1 aufgeführt sind (z. B. Glas, GaN, Ge), mit Substratgrößen und -dicken sowie Verformungen gemäß den in 3.1 bis 3.3.1 festgelegten Spezifikationen, einschließlich automatischer Beladung mit Vorausrichtung der Wafer und flacher Ausrichtung 3σ ≤ 10 µm. Je mehr Substratvarianten verarbeitet werden können, desto besser. Bitte geben Sie an, unter welchen Bedingungen diese Substrate zuverlässig verarbeitet werden können. 3.3.3 Handhabung und Verarbeitung von Substraten, die nicht ausdrücklich in den Punkten 3.1 bis 3.3.2 aufgeführt sind (z. B. 125-mm-Wafer, Waferfragmente, rechteckige Substrate usw.), einschließlich automatischer Beladung mit Vorausrichtung der Wafer und Flachausrichtung 3σ ≤ 10 µm. Die Bewertung basiert auf dem Aufwand und der Dauer des Umstellungsprozesses; je kürzer/geringer, desto besser. Bitte beschreiben Sie die erforderlichen Arbeiten und die durchschnittliche Umrüstungsdauer sowie die Bedingungen, unter denen diese Substrate zuverlässig verarbeitet werden können (z. B. mit einem Trägersystem). 3. "Kompatibilität des Handhabungssystems mit den folgenden Kassettenmodellen: 100-mm-Substrate: Typennummer A72-39M-06, Material: Fluoroware PFA" 6.1.1 GEM300-Anschluss 6.2.3 Der Computer muss in die bestehende Windows-AD-Domäne integrierbar sein 6.2.4 Fernzugriff zur Überwachung und Fernsteuerung des Systems 6.2.6 Offline-Version der Software zur Vorbereitung von Belichtungsaufträgen
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
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LOT-0000 · i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) - PR840232-2790-P
- Technische Ausführung
- 60 %
- Preis
- 40 %
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Anforderungen
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Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 01.06.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 373186-2026
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Wer gewinnt solche Vergaben?
Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand| Trend | ||||||
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| EGEV Group E. Thallner GmbH | Neuhaus am Inn | 5 | 5 | 10.07.2026 | - | steigend |
| HPHamamatsu Photonics Deutschland GmbH | Herrsching | 3 | 0 | 30.07.2026 | 480 Tsd. € | steigend |
| TGTESCAN GmbH | Dortmund | 3 | 0 | 21.07.2026 | 1,3 Mio. € | steigend |
| CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH | Oberkochen | 3 | 0 | 02.07.2026 | 897 Tsd. € | steigend |
| AUAP und S International GmbH | Donaueschingen | 2 | 2 | 01.09.2026 | - | steigend |
| ACAccretech | München | 2 | 2 | 25.08.2026 | - | steigend |
| JKJP Kummer Semiconductor Technology GmbH | Augsburg | 2 | 2 | 29.06.2026 | - | steigend |
| SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | Krailling | 2 | 1 | 03.08.2026 | - | steigend |
| ASATV Systems GmbH | Dresden | 2 | 1 | 19.05.2026 | 107 Tsd. € | steigend |
| LCLight Conversion UAB | Vilnius | 2 | 0 | 15.09.2026 | 356 Tsd. € | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Sachsen (63) · Baden-Württemberg (32) · Berlin (23) · Nordrhein-Westfalen (23) · Thüringen (21) · Bayern (21)| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München | 59 | 28.08.2026 |
| FEFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München | 31 | 18.09.2026 |
| FJFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena | 11 | 09.06.2026 |
| IGIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Frankfurt (Oder) | 9 | 22.07.2026 |
| FGFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin | 8 | 05.08.2026 |
| USUniversität Stuttgart | Stuttgart | 7 | 20.07.2026 |
| HDHelmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. | Dresden | 5 | 09.06.2026 |
| FBForschungsverbund Berlin e.V. | Berlin | 4 | 16.09.2026 |
Laufende Rahmenverträge
bundesweit- Rahmenvertrag über die Lieferung von LithographiemaskenCompugraphics Jena GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet18.06.2025noch 10 Monate31.07.2027
- Lieferung verschiedener Sportgeräte und SportmaterialienSport-ThiemeBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland3 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet22.12.2025noch 40 Monate31.01.2030
- Lieferung von Reinigungsanlagen für elektronische, elektrische und mechanische GeräteAuftragnehmer nicht veröffentlichtBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.01.2026noch 42 Monate31.03.2030
- Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer KomponentenMeißner Technik Müllenbach GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland-1 €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet03.08.2026noch 46 Monate02.08.2030
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Aktiv seit 2023 · 250 VerfahrenLeistungsbereiche
Top 5 nach VerfahrenErfüllungsorte
nach VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche| EGEV Group E. Thallner GmbH | 5 | 10.07.2026 | - |
| KTKeysight Technologies | 3 | 20.08.2026 | - |
| NGNTT Germany AG & Co. KG | 3 | 11.08.2026 | - |
| ASATV Systems GmbH | 2 | 08.09.2026 | - |
| AUAP und S International GmbH | 2 | 01.09.2026 | - |
| ACAccretech | 2 | 25.08.2026 | - |
| HIHKL Ingenieurgesellschaft mbH | 2 | 24.08.2026 | 760 Tsd. € |
| VFVebego Facility Services B.V. & Co. KG | 2 | 17.07.2026 | - |
Laufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem Vertragsende- Rahmenvereinbarung für einen ZeugnisgeneratorHaufe Service Center GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.02.2026noch 3 Monate31.12.2026
- Lizenzen und Netzwerkkomponenten für die Mathematica-Softwareuni software plus GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet22.12.2023noch 3 Monate31.12.2026
- Durchführung von Mitarbeitendenbefragungen für die Fraunhofer-GesellschaftSyspons GmbH +2 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.01.2025noch 4 Monate14.01.2027
- Rahmenvertrag für Zeitarbeitskräfte in IT, Verwaltung sowie Facility Management und Servicetop itservices AG +8 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet11.03.2025noch 6 Monate14.03.2027
- Digitalmarketing-Dienstleistungen für die AcademyDACHCOM.DE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet23.05.2025noch 6 Monate31.03.2027
- Rahmenvertrag für Arbeitsplatz- und MultifunktionsdruckerKonica Minolta Business Solutions Deutschland GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet16.06.2025noch 7 Monate30.04.2027
- Executive-Search-Dienstleistungen für Führungskräfte in IT und VerwaltungKA Resources Recruitment SL +1 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.06.2025noch 8 Monate31.05.2027
- Rahmenvertrag für Beratung zur Technologievermarktung und -verwertungLZE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet03.06.2024noch 8 Monate31.05.2027
- Fachplanung Elektrotechnik für Sanierungs- und UmbauprojekteREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland400 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet31.07.2025noch 9 Monate30.06.2027
- Qualifizierungsprogramm für Führungskräfte bei der Fraunhofer-GesellschaftAuftragnehmer nicht veröffentlichtFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet06.11.2023noch 9 Monate30.06.2027
- Wissenschaftlich-technische Unterstützung zur Zuverlässigkeit mikroelektronischer Komponenten und SystemeBerliner Nanotest und Design GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet11.07.2025noch 10 Monate11.07.2027
- Fachplanungsleistungen für Heizungs-, Lüftungs-, Sanitär- und Klimatechnik im BestandREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland800 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet31.07.2025noch 10 Monate31.07.2027
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 18.09.2026 | Fernwärmeversorgung für das Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik in Freiburg | Vergeben | BGbadenovaWÄRMEPLUS GmbH & Co. KG | - |
| 18.09.2026 | Rahmenvereinbarung über Rechenzeit für Quantencomputing | Vergeben | IDIBM Deutschland GmbH | - |
| 17.09.2026 | Trockene assemblierte Lithium-Ionen-Batterien ohne flüssige Elektrolyte | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Unterhalts-, Grund- und Sonderreinigung für das Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Empfangs- und Sicherheitsdienst für das Fraunhofer IOSB | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Unterhalts- und Fensterreinigung für Einrichtungen des Fraunhofer IWU | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Abaqus-Lizenzen für das Jahr 2027 | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Lieferung einer Nassbank | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Unterhalts- und Fensterreinigung für eine Fraunhofer-Einrichtung | Offen | - | - |
| 14.09.2026 | Ein BEOL-iLine-Stepper (Backend-of-Line-Gerät) | Offen | - | - |
| 11.09.2026 | Rahmenvereinbarung für mathematische High-Performance-Solver | Offen | - | - |
| 11.09.2026 | Bereitstellung einer Patentdatenbank | Offen | - | - |
| 07.09.2026 | KI-Server-Appliances für Training und Inferenz großer KI-Modelle | Offen | - | - |
| 04.09.2026 | Serversystem mit acht Grafikprozessoren für KI-Inferenz inklusive fünf Jahre Vor-Ort-Support | Offen | - | - |
| 03.09.2026 | Veranstaltungsorte für AHEAD-Veranstaltungen 2027 | Offen | - | - |
| 02.09.2026 | Lieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Wafer-Burn-in-Test für Halbleiterscheiben | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Aushärtungs- und Temperofen für Wafer bis 300 mm mit definierter Gasatmosphäre | Vergeben | CTCrystec Technology Trading GmbH | - |
| 26.08.2026 | Quantum Computing Control System – Komponenten und Ausrüstung | Vergeben | KTKeysight Technologies +4 weitere | - |
| 25.08.2026 | Broadcom VMware Hypervisor Lizenzen | Vergeben | MEMedialine Eurotrade AG | - |
| 21.08.2026 | Lizenz für Software-Wartung von Keysight | Vergeben | KTKeysight Technologies | - |
| 21.08.2026 | Miete eines Wasserstofftanks einschließlich Wasserstofflieferung | Offen | - | - |
| 19.08.2026 | Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) | Vergeben | EGEV Group E. Thallner GmbH | - |
| 12.08.2026 | Management-Qualifizierungsreihe für Verwaltungsleitungen und Verwaltungsdirektor:innen | Offen | - | - |
| 10.08.2026 | Wartung und Inspektion der Gebäudeleit- sowie Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik | Offen | - | - |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenLieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie
Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
61 % ähnlichPhotolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
57 % ähnlichEin BEOL-iLine-Stepper (Backend-of-Line-Gerät)
München · Offen · Frist 13.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Gerät des Typs BEOL iLine Stepper. BEOL steht für „Backend of Line“ und bezeichnet einen Bereich der Halbleiterfertigung; vorgesehen ist eine Stückzahl von einem Gerät mit regionalem Bezug zu DED21 (Dresden). Angebote können bis zum 13. Oktober 2026 um 08:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
56 % ähnlichLieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-Messtechnik
Berlin · Offen
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, möchte eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen über die Lieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-Messtechnik abschließen. Die Vereinbarung ist für eine Laufzeit von 1.440 Tagen vorgesehen; ein geschätzter Auftragswert ist nicht angegeben.
45 % ähnlichBeschaffung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems
Berlin · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem. Weitere Angaben zu technischer Ausstattung, Umfang, Wert oder Ausführungszeitraum enthält der Datensatz nicht. Die Frist ist der 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (Koordinierte Weltzeit, UTC).
43 % ähnlichBeschaffung eines Laserbearbeitungssystems
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum Umfang und zum Einsatzort liegen nicht vor; die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
41 % ähnlichLaserbearbeitungssystem
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum konkreten Leistungsumfang, zur Größenordnung und zum Einsatzort sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
39 % ähnlichKundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser
München · Offen · Frist 01.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
38 % ähnlichBeschaffung eines Mikroskopsystems
Offen · Frist 09.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Mikroskopsystem. Weitere Angaben zum technischen Umfang oder zum Einsatzort sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 9. Oktober 2026 um 09:00 Uhr (UTC).
38 % ähnlichHochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips
München · Offen · Frist 28.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.
37 % ähnlichHalbleiter-Testsystem für integrierte Schaltkreise und Chiplets
München · Offen · Frist 29.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein gemischtes Signal-Testsystem für die Prüfung, Charakterisierung und Funktionstests integrierter Schaltkreise und Chiplets nach der Fertigung. Das System muss an industrielle Wafer-Prüfsysteme und Vorrichtungen zur Bauteilhandhabung anschließbar sowie mit einem bereits vorhandenen System hard- und softwareseitig kompatibel sein. Der Einsatz ist bei Fraunhofer EMFT in München vorgesehen; die Vertragsdauer beträgt 60 Tage, die Angebotsfrist endet am 29. September 2026 um 08:00 Uhr.
37 % ähnlichLieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem zur hochauflösenden Analyse fixierter Proben sowie von Protein- und Membranstrukturen. Vorgesehen ist die Lieferung von einem System für die Region DE91C; die angegebene Dauer beträgt 120 Tage. Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (koordinierte Weltzeit) eingereicht werden.
37 % ähnlichInspektionsanlage für Perowskit-Materialien
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Inspektionsanlage für Perowskit-Materialien. Weitere Angaben zum Leistungsumfang, zur Größenordnung oder zum Einsatzort liegen nicht vor; die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr.
35 % ähnlichALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern
Berlin · Offen · Frist 13.10.2026
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
35 % ähnlichUHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition
Garching · Offen · Frist 05.10.2026
Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.
34 % ähnlichBeschaffung eines Photolumineszenz-Mappers für den Nahinfrarotbereich
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beabsichtigt die Beschaffung eines Photolumineszenz-Mappers für den Nahinfrarotbereich (NIR). Die Ausschreibung ist der Region DE3 zugeordnet; Angaben zu Umfang, Auftragswert und Leistungszeitraum liegen nicht vor, die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
34 % ähnlichOptisches Profilometer
München · Offen · Frist 30.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein optisches Profilometer. Der Umfang beträgt ein Gerät; der Leistungsort ist der Region DE131 zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 30. September 2026 um 09:00 Uhr UTC. Den Zuschlag erhält ausschließlich das preisgünstigste Angebot.
33 % ähnlichAuf- und Durchlichtmikroskop mit Zubehör, Kamera und Software
Offen · Frist 23.09.2026
Die Technische Universität Chemnitz beschafft ein Mikroskop zur lichtmikroskopischen Untersuchung metallografisch präparierter Proben und zur Dokumentation der Probenherstellung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM). Zum Lieferumfang gehören außerdem Zubehör, eine Kamera und Software. Die Leistung ist in Chemnitz zu erbringen und soll bis zum 15. Januar 2027 ausgeführt werden; Angebote müssen bis zum 23. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.
32 % ähnlichHalbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern
Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 13.10.2026
Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.
32 % ähnlichInspektionsanlage für Perowskit-Materialien
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Inspektionsanlage für Perowskit-Materialien. Weitere Angaben zum technischen Umfang, zur Größenordnung oder zum Einsatzort sind nicht enthalten. Angebote können bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr eingereicht werden.
32 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Veröffentlichter Zuschlag
Auftragnehmer: Nikon Precision Europe GmbH
Zuschlagswert: Nicht angegeben · Vertragsschluss: 29.05.2026
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
246 vergleichbare Verfahren, davon 166 mit erfasstem Zuschlag · 104 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 220.000 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 15 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
EV Group E. Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
5 vergleichbare Zuschläge, davon 5 bei diesem Auftraggeber.
Hamamatsu Photonics Deutschland GmbH · Herrsching
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
TESCAN GmbH · Dortmund
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH · Oberkochen
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
AP und S International GmbH · Donaueschingen
2 vergleichbare Zuschläge, davon 2 bei diesem Auftraggeber.
Accretech · München
2 vergleichbare Zuschläge, davon 2 bei diesem Auftraggeber.
JP Kummer Semiconductor Technology GmbH · Augsburg
2 vergleichbare Zuschläge, davon 2 bei diesem Auftraggeber.
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · Krailling
2 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
ATV Systems GmbH · Dresden
2 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Light Conversion UAB · Vilnius
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
- Rahmenvertrag über die Lieferung von Lithographiemasken
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.07.2027
Auftragnehmer: Compugraphics Jena GmbH
Vertragsschluss: 18.06.2025
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Lieferung verschiedener Sportgeräte und Sportmaterialien
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.01.2030
Auftragnehmer: Sport-Thieme
Vertragsschluss: 22.12.2025
Zuschlagswert: 2.997.000 EUR
- Lieferung von Reinigungsanlagen für elektronische, elektrische und mechanische Geräte
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.03.2030
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer Komponenten
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 02.08.2030
Auftragnehmer: Meißner Technik Müllenbach GmbH
Vertragsschluss: 03.08.2026
Zuschlagswert: -1 EUR
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
80686 · München
einkauf@zv.fraunhofer.de+49891205-0250 erfasste Verfahren, davon 162 vergeben. 97 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenEinkauf Betrieb und Infrastruktur
einkauf@zv.fraunhofer.de+49891205-0
vk@bundeskartellamt.bund.de
vk@bundeskartellamt.bund.de000
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 11:41 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 06.11.2025 · Datensatz zuletzt geändert: 17.09.2026, 13:54 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
VergabeHero verbindet KI-gestützte Ausschreibungssuche, Vergabeunterlagen, Wettbewerbsanalyse und Rahmenverträge mit Eignungsprüfung und gemeinsamer Angebotsorganisation. Unternehmen recherchieren öffentliche Aufträge aus Deutschland und Europa, bewerten Chancen anhand von Leistungsanforderungen und Vergabehistorie und bearbeiten ihre Bewerbung im Team.
- Ausschreibungssuche und KI-Matching
- Öffentliche Bau-, Liefer- und Dienstleistungsaufträge nach Suchbegriffen, CPV-Codes, Regionen und Fristen recherchieren. KI-Matching gleicht Ausschreibungen mit der Leistungsbeschreibung im Suchprofil ab und begründet die Zuordnung. Passende Neuzugänge laufen im gemeinsamen Posteingang zusammen.
- Vergabeunterlagen und Dokumentextraktion
- Verfügbare Vergabeunterlagen aus angebundenen Quellen abrufen und beim Verfahren bündeln. Das Dokumentinventar zeigt tatsächlich hinterlegte Dateien, Abrufstatus und Originalverweise. Fertig extrahierte Dokumenttexte sind über eigene Unterlagenseiten lesbar.
- Leistungsumfang, Lose und Anforderungen
- KI-Zusammenfassungen, Leistungsbeschreibungen, Lose, Eignungsanforderungen und Zuschlagskriterien erleichtern die erste Prüfung. Verfügbare Fristen, Auftragswerte, Verfahrensarten und Kontaktangaben stehen in der Ausschreibungsakte zusammen.
- Wettbewerbsanalyse mit Zuschlagshistorie
- Historische Auftragnehmer vergleichbarer Vergaben anhand gemeinsamer CPV-Codes und der Region untersuchen. Zuschlagshäufigkeiten, Belegverfahren und veröffentlichte Auftragswerte machen die Wettbewerbssituation nachvollziehbar. Frühere Gewinner sind keine bestätigten Bieter des aktuellen Verfahrens.
- Rahmenverträge und Vertragslaufzeiten
- Vergebene Rahmenvereinbarungen mit Auftragnehmern, verfügbaren Zuschlagswerten und voraussichtlichen Vertragsenden recherchieren. Verwandte Rahmenverträge helfen, das Marktumfeld und mögliche künftige Beschaffungsbedarfe einzuordnen. Ein Vertragsende bestätigt keine Neuausschreibung.
- Auftraggeber und Marktüberblick
- Öffentliche Auftraggeber mit ihren veröffentlichten Kontaktdaten, laufenden Verfahren und erfassten früheren Vergaben kennenlernen. Ähnliche offene Ausschreibungen und verknüpfte Zuschläge unterstützen die Recherche nach weiteren Geschäftschancen.
- Eignungsprüfung mit eigenen Checklisten
- Eigene Prüfkriterien in wiederverwendbaren Checklisten organisieren und Ausschreibungen mit KI-Unterstützung prüfen. Ergebnisse, Begründungen und offene Punkte helfen dem Team, die Entscheidung über eine Bewerbung vorzubereiten.
- Angebotsorganisation und Projektmanagement
- Aus einer Ausschreibung ein gemeinsames Projekt erstellen. Aufgaben, Abgabeunterlagen, Zuständigkeiten, Fristen, Kommentare und Bearbeitungsstände bündeln und die Bewerbung von der Prüfung bis zum eingereichten Angebot und Ergebnis verfolgen.
Die Angaben zur konkreten Ausschreibung stehen in den Abschnitten darüber. Umfang und Verfügbarkeit der Unterlagen und Marktdaten hängen vom erfassten Verfahren ab. Persönliche Suchprofile und Teamfunktionen erfordern ein Konto; KI-Matching und KI-Checklistenprüfungen eine entsprechende Freischaltung. Die aktuellen Leistungen und Tarife stehen auf der Preisseite.
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