i-line-Stepper-Belichtungssystem für die Halbleiterfertigung

Status
Vergeben
Angebotsfrist
08.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Profil ansehen
Erfüllungsregion
Bayern, Deutschland
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
06.11.2025
Bekanntmachungsnummer
734430-2025
Verfahrensnummer
a95f7309-2891-4de5-a572-34b56b899477
CPV-Codes
37441200 · Stepper; 42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

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Kurzbeschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein i-line-Stepper-Belichtungssystem zur Strukturübertragung mittels UV-Belichtung von Fotolacksystemen. Das System soll für Forschungszwecke eingesetzt werden und umfasst eine optionale Anpassung für die Vorder- und Rückseitenbelichtung. Die Vertragslaufzeit ist auf 360 Tage angesetzt.

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Leistungsbeschreibung

i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) - PR840232-2790-P

    1 Stück i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) Es wird ein eigenständiges i-line-Schrittbelichtungssystem gesucht. Dieses wird für die Strukturübertragung durch selektive Belichtung von UV-lichtempfindlichen Fotolacksystemen durch eine reduzierende Fotomaske verwendet. Die UV-Strahlung soll durch eine Quecksilberdampflampe oder eine LED-Lichtquelle erzeugt werden. Optionen: 2.7 Option zur Anpassung zwischen Vorder- und Rückseite. Bitte geben Sie die erreichbare Überlagerungsgenauigkeit zwischen der Vorder- und Rückseite sowie Informationen zu den Substratbedingungen an, die die Anpassung zwischen Vorder- und Rückseite ermöglichen oder einschränken (z. B. Material, Waferdicke usw.). 2.9 LED als Lichtquelle oder Umrüstung der Quecksilberbogenlampe auf eine LED-Lichtquelle innerhalb von 10 Jahren nach Lieferung. 3.3 Bearbeitung von 100-mm-Substraten mit den in 3.3.1 - 3.3.x aufgeführten Substrateigenschaften. Die Bewertung der folgenden Punkte basiert auf dem Aufwand, der erforderlich ist, um die 150- und 200-mm-Bearbeitung ("Standardmaterial") auf die 100-mm-Wafer-Bearbeitung umzustellen. Je kürzer die Umstellungszeiten, desto besser. Bitte geben Sie Informationen zur durchschnittlichen Dauer und zum Aufwand für die Umstellung an. 3.3 Bearbeitung von 100-mm-Substraten mit den in 3.3.1 - 3.3.x aufgeführten Substrateigenschaften. Die Bewertung der folgenden Punkte basiert auf dem Aufwand, der erforderlich ist, um die 150- und 200-mm-Bearbeitung ("Standardmaterial") auf die 100-mm-Waferbearbeitung umzustellen. Je kürzer die Umstellungszeiten, desto besser. Bitte geben Sie Auskunft über die durchschnittliche Dauer und den Aufwand für die Umstellung. 3.3.1 Automatische Handhabung (einschließlich Be- und Entladevorgang), Ausrichtung (einschließlich "Flat Align": Automatisches Laden mit Vorausrichtung der Wafer und Flat Align 3σ ≤ 10 µm) und Bearbeitung (erste Belichtung und Belichtung mit Vorausrichtung) für 100-mm-Substrate mit Substratdicken von 200-1650 µm (± 25 µm) aus transparenten, halbtransparenten oder opaken Materialien wie Glas, Siliziumkarbid und Silizium. 3.3.2 Handhabung und Verarbeitung von Substratmaterialien, die nicht ausdrücklich in den Punkten 3.1 bis 3.3.1 aufgeführt sind (z. B. Glas, GaN, Ge), mit Substratgrößen und -dicken sowie Verformungen gemäß den in 3.1 bis 3.3.1 festgelegten Spezifikationen, einschließlich automatischer Beladung mit Vorausrichtung der Wafer und flacher Ausrichtung 3σ ≤ 10 µm. Je mehr Substratvarianten verarbeitet werden können, desto besser. Bitte geben Sie an, unter welchen Bedingungen diese Substrate zuverlässig verarbeitet werden können. 3.3.3 Handhabung und Verarbeitung von Substraten, die nicht ausdrücklich in den Punkten 3.1 bis 3.3.2 aufgeführt sind (z. B. 125-mm-Wafer, Waferfragmente, rechteckige Substrate usw.), einschließlich automatischer Beladung mit Vorausrichtung der Wafer und Flachausrichtung 3σ ≤ 10 µm. Die Bewertung basiert auf dem Aufwand und der Dauer des Umstellungsprozesses; je kürzer/geringer, desto besser. Bitte beschreiben Sie die erforderlichen Arbeiten und die durchschnittliche Umrüstungsdauer sowie die Bedingungen, unter denen diese Substrate zuverlässig verarbeitet werden können (z. B. mit einem Trägersystem). 3. "Kompatibilität des Handhabungssystems mit den folgenden Kassettenmodellen: 100-mm-Substrate: Typennummer A72-39M-06, Material: Fluoroware PFA" 6.1.1 GEM300-Anschluss 6.2.3 Der Computer muss in die bestehende Windows-AD-Domäne integrierbar sein 6.2.4 Fernzugriff zur Überwachung und Fernsteuerung des Systems 6.2.6 Offline-Version der Software zur Vorbereitung von Belichtungsaufträgen

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

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LOT-0000 · i-line-Stepper-Belichtungssystem (IISB.WP4.5) - PR840232-2790-P

Technische Ausführung
60 %
Preis
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Vergabeunterlagen

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Anforderungen

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 01.06.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 373186-2026
Vergleichbare Verfahren246vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag104 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 15 Vergaben

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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn5510.07.2026 - steigend
HPHamamatsu Photonics Deutschland GmbHHerrsching3030.07.2026480 Tsd. €steigend
TGTESCAN GmbHDortmund3021.07.20261,3 Mio. €steigend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3002.07.2026897 Tsd. €steigend
AUAP und S International GmbHDonaueschingen2201.09.2026 - steigend
ACAccretechMünchen2225.08.2026 - steigend
JKJP Kummer Semiconductor Technology GmbHAugsburg2229.06.2026 - steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2103.08.2026 - steigend
ASATV Systems GmbHDresden2119.05.2026107 Tsd. €steigend
LCLight Conversion UABVilnius2015.09.2026356 Tsd. €steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (63) · Baden-Württemberg (32) · Berlin (23) · Nordrhein-Westfalen (23) · Thüringen (21) · Bayern (21)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit
  • Lieferung von Reinigungsanlagen für elektronische, elektrische und mechanische GeräteAuftragnehmer nicht veröffentlichtBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland
    20.01.2026noch 42 Monate31.03.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer KomponentenMeißner Technik Müllenbach GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland
    -1 €
    03.08.2026noch 46 Monate02.08.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Aktiv seit 2023 · 250 Verfahren
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Verfahren pro Jahr87Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 250 seit 2023Spitze KW 19 · 2026 · 13

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
EGEV Group E. Thallner GmbH510.07.2026 -
KTKeysight Technologies320.08.2026 -
NGNTT Germany AG & Co. KG311.08.2026 -
ASATV Systems GmbH208.09.2026 -
AUAP und S International GmbH201.09.2026 -
ACAccretech225.08.2026 -
HIHKL Ingenieurgesellschaft mbH224.08.2026760 Tsd. €
VFVebego Facility Services B.V. & Co. KG217.07.2026 -

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Durchführung von Mitarbeitendenbefragungen für die Fraunhofer-GesellschaftSyspons GmbH +2 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    20.01.2025noch 4 Monate14.01.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Zeitarbeitskräfte in IT, Verwaltung sowie Facility Management und Servicetop itservices AG +8 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    11.03.2025noch 6 Monate14.03.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Digitalmarketing-Dienstleistungen für die AcademyDACHCOM.DE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    23.05.2025noch 6 Monate31.03.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Arbeitsplatz- und MultifunktionsdruckerKonica Minolta Business Solutions Deutschland GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    16.06.2025noch 7 Monate30.04.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Executive-Search-Dienstleistungen für Führungskräfte in IT und VerwaltungKA Resources Recruitment SL +1 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    02.06.2025noch 8 Monate31.05.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Beratung zur Technologievermarktung und -verwertungLZE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    03.06.2024noch 8 Monate31.05.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fachplanung Elektrotechnik für Sanierungs- und UmbauprojekteREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    400 Tsd. €
    31.07.2025noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Qualifizierungsprogramm für Führungskräfte bei der Fraunhofer-GesellschaftAuftragnehmer nicht veröffentlichtFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    06.11.2023noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Wissenschaftlich-technische Unterstützung zur Zuverlässigkeit mikroelektronischer Komponenten und SystemeBerliner Nanotest und Design GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    11.07.2025noch 10 Monate11.07.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fachplanungsleistungen für Heizungs-, Lüftungs-, Sanitär- und Klimatechnik im BestandREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    800 Tsd. €
    31.07.2025noch 10 Monate31.07.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

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