TEOS-basierte Zusatzkammer für eine Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- 799.500 EUR
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 15.04.2026
- CPV-Codes
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- Halbleiter (31712330)
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 688262-2026
- Verfahrensnummer
- eb1ee890-0d12-40d3-b78f-0426ee416f67
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH in Berlin schreibt eine TEOS-basierte Zusatzkammer für eine vorhandene Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage aus; TEOS steht für Tetraethylorthosilikat. Der geschätzte Auftragswert beträgt 799.500 Euro, die Laufzeit der Rahmenvereinbarung 1.440 Tage.
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Leistungsbeschreibung
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Leistungen nach Losen (1)
LOT-4343 · Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478799.500 EUR
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-4343 · Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
- Preis
- 100 %
Vergabeunterlagen
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1 Eintrag- 06.10.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 688262-2026
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