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Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Systems für Silizium-Fluor-Chemie

Status
Vergeben
Angebotsfrist
28.04.2026, 12:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.Profil ansehen
Erfüllungsregion
Sachsen, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
26.03.2026
Bekanntmachungsnummer
209081-2026
Verfahrensnummer
6630f51f-7185-484c-a04f-6ef513d8d8d9
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines DRIE-Ätzsystems für den Reinraum des Ion Beam Centers aus. Das Gerät soll für die Strukturierung von Substraten zur Herstellung magnetischer Nanobauelemente für KI-Anwendungen genutzt werden. Die Lieferung und Inbetriebnahme müssen bis spätestens 1. Juni 2027 erfolgen.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

    The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking

    Frist: 28.04.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package (RUS sanctions), and the grant notice for the magKI project apply. To this end, the self-declarations 'Non existence reasons for exclusion’ and 'RUS sanctions’ attached to the tender documents, as well as the 'Declaration on the beneficial owner’ must be completed and submitted as part of the tender. in accordance with legal requirements from VgV

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
50 %
Evaluation price according to Annex 01A
50 %

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package (RUS sanctions), and the grant notice for the magKI project apply. To this end, the self-declarations 'Non existence reasons for exclusion’ and 'RUS sanctions’ attached to the tender documents, as well as the 'Declaration on the beneficial owner’ must be completed and submitted as part of the tender. in accordance with legal requirements from VgV

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 11.06.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 399787-2026
Vergleichbare Verfahren220vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag57 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 9 Vergaben

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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn4010.07.2026 - steigend
LCLight Conversion GmbHVilnius3230.07.2026 - steigend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3018.08.2026809 Tsd. €steigend
TGTESCAN GmbHDortmund3021.07.20261,3 Mio. €steigend
SDShimadzu Deutschland GmbHDuisburg2112.08.2026272 Tsd. €steigend
TFThermo Fisher Scientific GmbHDreieich2001.09.2026346 Tsd. €steigend
AUAP und S International GmbHDonaueschingen2001.09.2026 - steigend
SGsysGen GmbHBremen2010.08.2026563 Tsd. €steigend
SSScia Systems GmbHChemnitz2002.07.2026 - steigend
HHHitachi High-Tech Europe GmbHKrefeld1004.09.2026 - steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (62) · Nordrhein-Westfalen (32) · Baden-Württemberg (18) · Bayern (17) · Berlin (17) · Brandenburg (10)

Laufende Rahmenverträge

Sachsen
  • Drei Hämostaseologie-Analyse-Systeme inklusive Installation, Service und VerbrauchsmaterialienSTAGO DEUTSCHLAND GmbHUniversitätsklinikum Carl Gustav Carus Dresden an der Technischen Universität Dresden, AöRDresden, Deutschland
    1 €
    25.02.2025noch 41 Monate25.02.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.

Aktiv seit 2024 · 24 Verfahren
Profil öffnen
Verfahren pro Jahr9Ø seit 2024
Ø Auftragswert–geschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 24 seit 2024Spitze KW 23 · 2026 · 4

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
LCLight Conversion GmbH216.07.2026 -
NDNEC Deutschland GmbH126.08.2026 -
KIKREBS+KIEFER Ingenieure GmbH121.07.2026 -
SDShimadzu Deutschland GmbH117.07.2026 -
HGHÜBNER GmbH & Co. KG106.07.2026 -
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH109.06.2026 -
CKCyrano Kommunikation GmbH109.02.20260,01 €
AMas mediendesign Inh. Andrea Sindermann e.K.107.10.2025 -

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Agenturleistungen für die Veröffentlichung und Optimierung von Stellenausschreibungenas mediendesign Inh. Andrea Sindermann e.K.Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.Dresden, Deutschland
    07.10.2025noch 5 Monate06.02.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Beratung zur Verwertung von Technologien und Produkten sowie technische ProduktentwicklungHZDR Innovation GmbHHelmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.Dresden, Deutschland
    01.10.2025noch 12 Monate01.10.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Dienstleistungen für Informationsinitiative zu Tierversuchen einschließlich Portalbetrieb und FilmproduktionCyrano Kommunikation GmbHDeutsche Forschungsgemeinschaft e.V.Bonn, Deutschland
    0,01 €
    09.02.2026noch 53 Monate09.02.2031
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

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28.07.2025Beratung zur Verwertung von Technologien und Produkten sowie technische ProduktentwicklungVergebenHIHZDR Innovation GmbH -
25.07.2025Agenturleistungen für die Veröffentlichung und Optimierung von StellenausschreibungenVergebenAMas mediendesign Inh. Andrea Sindermann e.K. -
05.11.2024Auditierung von EU-Projekten und Erstellung von PrüfbescheinigungenVergebenDGDeloitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft -
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