Anlage für Laserlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen und UV-Lithographiemasken
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 03.08.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 03.07.2026
- CPV-Codes
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)
- Bekanntmachung
- subreport.de
- Bekanntmachungsnummer
- 458627-2026
- Verfahrensnummer
- 960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft eine Laserlithographieanlage für einen Reinraum der Universität Ulm. Die Anlage soll eine hochauflösende direkte Lithographie auf Zielsubstraten sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken für die Fertigung kompakter Quantensysteme ermöglichen und in eine Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip integriert werden. Ausgeschrieben ist ausschließlich die Anlage; benötigte Medien und Peripheriegeräte stellt das DLR separat bereit. Angebote müssen bis zum 3. August 2026 um 08:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
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Leistungsbeschreibung
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
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Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Laserlithographie
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Frist: 03.08.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Preis 50%
- Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
Vergabeunterlagen
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Zum UrsprungsportalAnforderungen
Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 04.09.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 610834-2026
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