Anlage für Laserlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen und UV-Lithographiemasken

Status
Vergeben
Angebotsfrist
03.08.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Profil ansehen
Erfüllungsregion
Baden-Württemberg, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
03.07.2026
Bekanntmachungsnummer
458627-2026
Verfahrensnummer
960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft eine Laserlithographieanlage für einen Reinraum der Universität Ulm. Die Anlage soll eine hochauflösende direkte Lithographie auf Zielsubstraten sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken für die Fertigung kompakter Quantensysteme ermöglichen und in eine Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip integriert werden. Ausgeschrieben ist ausschließlich die Anlage; benötigte Medien und Peripheriegeräte stellt das DLR separat bereit. Angebote müssen bis zum 3. August 2026 um 08:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · Laserlithographie

    Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

    Frist: 03.08.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.

Wie wird das Angebot bewertet?

Kriterien ohne Loszuordnung

Preis 50%
Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 04.09.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 610834-2026
Vergleichbare Verfahren258vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag115 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 26 Vergaben

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Titel
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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen5018.08.2026739 Tsd. €steigend
TFThermo Fisher Scientific GmbHDreieich4017.09.2026690 Tsd. €steigend
XSXenocs SASGrenoble3014.09.2026490 Tsd. €steigend
S&STOE & Cie GmbHDarmstadt3028.08.2026674 Tsd. €steigend
LCLight Conversion GmbHVilnius3030.07.2026 - steigend
TPTOPTICA Photonics SEGräfelfing2107.09.202630 Tsd. €steigend
LCLight Conversion UABVilnius2015.09.2026356 Tsd. €steigend
PGPicoQuant GmbHBerlin2011.09.2026436 Tsd. €steigend
VGVeeco GmbHAschheim2024.08.2026 - steigend
KDKEYENCE DEUTSCHLAND GmbHFrankfurt am Main2014.08.2026110 Tsd. €steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Nordrhein-Westfalen (49) · Sachsen (37) · Baden-Württemberg (35) · Thüringen (23) · Bayern (23) · Niedersachsen (15)

Laufende Rahmenverträge

Baden-Württemberg

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Aktiv seit 2023 · 123 Verfahren
Profil öffnen
Verfahren pro Jahr44Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 123 seit 2023Spitze KW 17 · 2026 · 9

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
SISwabian Instruments GmbH109.09.20261 €
TPTOPTICA Photonics SE107.09.20261 €
VGVyoma GmbH101.09.20261 Tsd. €
WWWKM Wärmeprozess - und Klimaprüftechnik Michael GmbH & Co. KG131.08.20261 €
MDMicroLink Devices, Inc.127.08.20260,01 €
HIHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH125.08.20260,01 €
AAASG Analytik-Service AG111.08.2026300 Tsd. €
TBTU Braunschweig107.08.20261 Tsd. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Rechenzeit auf externen supraleitenden QuantencomputernBechtle GmbH & Co. KGDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    1 €
    13.07.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von FAST-LTA-Produkten und zugehörigen ServicesNAVUM GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    4,5 Mio. €
    25.03.2024noch 18 Monate25.03.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Prozessorientierte Organisationsberatung für die Deutsche RaumfahrtagenturBPM&O GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    480 Tsd. €
    23.04.2024noch 19 Monate30.04.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Technisches Gebäudemanagement für die DLR-Standorte Oberpfaffenhofen und AugsburgAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    07.05.2024noch 20 Monate07.05.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Externe Analytik von Luftfahrttreibstoffen und DieselkraftstoffASG Analytik-Service AGDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    300 Tsd. €
    11.08.2026noch 23 Monate14.08.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Flaschengase, Gasbündel und zugehörige DienstleistungenLinde GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    800 Tsd. €
    16.07.2026noch 24 Monate30.09.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Flüssiggas und Propan mit Miete von drei GastanksAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    24.06.2024noch 24 Monate30.09.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Betrieb und Unterstützung des Linux-Desktop-Service mit Red Hat und UbuntuB1 Systems GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    4,5 Mio. €
    10.06.2026noch 33 Monate10.06.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Kerosin (Jet A-1) für ForschungsprüfständeAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    22.08.2025noch 37 Monate31.10.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Konstruktion und Fertigung von Hardware für HochdruckverbrennungsprüfständeTresch + Kieliger EngineeringDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland
    1 €
    30.03.2026noch 45 Monate10.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
17.09.2026Universalwerkzeugmaschine mit AutomationOffen - -
17.09.2026Rahmenvereinbarung über Proxmox-Subscriptions für ForschungseinrichtungenOffen - -
17.09.2026Lieferung eines unbemannten Luftfahrtsystems zur meteorologischen DatenerfassungOffen - 249 Tsd. €
11.09.2026Verlängerung eines IT-Dienstvertrags für Speicher- und Rechenzentrumsleistungen um vier MonateVergeben - -
10.09.2026Ultrastabiles kontinuierlich emittierendes Lasersystem mit ResonatorVergebenMSMenlo Systems GmbH0,01 €
10.09.2026Nachträgliche Installation einer Scheuerleiste an der Steckschanze der Plattform „Modularis“Vergeben - -
10.09.2026Bau und betriebsfertige Lieferung eines 500-kWh-Batteriepacks und Servicekrans für MODULARISVergeben - -
08.09.2026Dienstleistung zur Analyse der Population von WeltraummüllVergebenTBTU Braunschweig1 Tsd. €
07.09.2026Acht radiometrische Infrarot-Kamerasysteme mit Optik und Software-EntwicklungskitOffen - -
07.09.2026Lieferung einer modularen Vertiport-Forschungsinfrastruktur für zwei DemonstratorenOffen - 1 Mio. €
03.09.2026Membran-Elektroden-Einheiten für einen Hochtemperatur-BrennstoffzellenstackOffen - -
31.08.2026Betriebshaftpflichtversicherung mit Umwelt- und Umweltschadenshaftpflicht für ForschungseinrichtungenOffen - -
31.08.2026Unterstützung bei der Entwicklung und Verifikation eingebetteter Flugsoftware für GNC-SystemeOffen - -
27.08.2026Solarzellen-Strings aus zwei verschiedenen 1x12-SolarmodulenVergebenMDMicroLink Devices, Inc.0,01 €
24.08.2026Owner's Engineer für DLR-Center for Crash und Impact Test (CITE)Offen - -
14.08.2026Detaillierte Konstruktion und Fertigung eines Open‑Rotor‑Prototyps inkl. Messsystem für WindkanaltestsOffen - -
14.08.20265-Achs-Fräszentrum UltraschallgestütztOffen - -
14.08.2026Mikrooptikdrucker für additive Fertigung von Mikro- und Nanostrukturen mittels Zwei-Photonen-PolymerisationOffen - -
12.08.2026Gold-Sputter-Target für Magnetron-Sputter-Anlage zur Gold-Dünnschicht-AbscheidungOffen - -
10.08.2026Distributed Acoustic Sensing (DAS) System für maritime TelekommunikationskabelOffen - 310 Tsd. €
10.08.2026Pikosekunden-Time-Tagger mit 21 Eingangskanälen für EinzelphotonenmessungenVergebenSISwabian Instruments GmbH1 €
03.08.2026Beschaffung eines optischen Frequenzkamms mit geringer InstabilitätOffen - -
31.07.2026795-nm-Lasersystem mit zwei schmalbandigen Laserdioden für Rubidium-87VergebenTPTOPTICA Photonics SE1 €
30.07.2026Stehende Heißdampf-Druckreduzier- und Kühlanlage zur SattdampferzeugungVergeben - -
27.07.2026Beschaffung von 2-Achsen-Drehständen (Positioner) und Controllern für SatellitenkalibrierungVergebenMGMVG Germany GmbH1 €

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