Anlage für Laserlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen und UV-Lithographiemasken
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 03.08.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Profil ansehen
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 03.07.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 458627-2026
- Verfahrensnummer
- 960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc
- CPV-Codes
- 38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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Kurzbeschreibung
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft eine Laserlithographieanlage für einen Reinraum der Universität Ulm. Die Anlage soll eine hochauflösende direkte Lithographie auf Zielsubstraten sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken für die Fertigung kompakter Quantensysteme ermöglichen und in eine Prozesskette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip integriert werden. Ausgeschrieben ist ausschließlich die Anlage; benötigte Medien und Peripheriegeräte stellt das DLR separat bereit. Angebote müssen bis zum 3. August 2026 um 08:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Laserlithographie
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Frist: 03.08.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Preis 50%
- Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Anforderungen
Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 04.09.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 610834-2026
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Wer gewinnt solche Vergaben?
Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand| Trend | ||||||
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| CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH | Oberkochen | 5 | 0 | 18.08.2026 | 739 Tsd. € | steigend |
| TFThermo Fisher Scientific GmbH | Dreieich | 4 | 0 | 17.09.2026 | 690 Tsd. € | steigend |
| XSXenocs SAS | Grenoble | 3 | 0 | 14.09.2026 | 490 Tsd. € | steigend |
| S&STOE & Cie GmbH | Darmstadt | 3 | 0 | 28.08.2026 | 674 Tsd. € | steigend |
| LCLight Conversion GmbH | Vilnius | 3 | 0 | 30.07.2026 | - | steigend |
| TPTOPTICA Photonics SE | Gräfelfing | 2 | 1 | 07.09.2026 | 30 Tsd. € | steigend |
| LCLight Conversion UAB | Vilnius | 2 | 0 | 15.09.2026 | 356 Tsd. € | steigend |
| PGPicoQuant GmbH | Berlin | 2 | 0 | 11.09.2026 | 436 Tsd. € | steigend |
| VGVeeco GmbH | Aschheim | 2 | 0 | 24.08.2026 | - | steigend |
| KDKEYENCE DEUTSCHLAND GmbH | Frankfurt am Main | 2 | 0 | 14.08.2026 | 110 Tsd. € | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Nordrhein-Westfalen (49) · Sachsen (37) · Baden-Württemberg (35) · Thüringen (23) · Bayern (23) · Niedersachsen (15)| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München | 32 | 26.08.2026 |
| FJFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena | 17 | 25.06.2026 |
| DZDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) | Köln | 14 | 10.09.2026 |
| UDUniversität Duisburg-Essen | Duisburg | 9 | 28.08.2026 |
| FEFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München | 8 | 18.09.2026 |
| HDHelmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. | Dresden | 6 | 09.06.2026 |
| DFDeutsche Forschungsgemeinschaft e.V. | Bonn | 5 | 14.08.2026 |
| USUniversität Siegen | Siegen | 5 | 27.07.2026 |
Laufende Rahmenverträge
Baden-Württemberg- Vollspektral-Bildgebungsgeräte Crime Lite AutoFoster+Freeman Europe GmbHPräsidium Technik, Logistik, Service der Polizei Baden-WürttembergStuttgart, Deutschland0,01 €Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet01.10.2025noch 12 Monate01.10.2027
- Lieferung energieeffizienter Ultratiefkühlschränke und UltratiefkühltruhenAuftragnehmer nicht veröffentlichtUniversität HeidelbergHeidelberg, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet19.08.2024noch 23 Monate19.08.2028
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Aktiv seit 2023 · 123 VerfahrenLeistungsbereiche
Top 5 nach VerfahrenErfüllungsorte
nach VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche| SISwabian Instruments GmbH | 1 | 09.09.2026 | 1 € |
| TPTOPTICA Photonics SE | 1 | 07.09.2026 | 1 € |
| VGVyoma GmbH | 1 | 01.09.2026 | 1 Tsd. € |
| WWWKM Wärmeprozess - und Klimaprüftechnik Michael GmbH & Co. KG | 1 | 31.08.2026 | 1 € |
| MDMicroLink Devices, Inc. | 1 | 27.08.2026 | 0,01 € |
| HIHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 1 | 25.08.2026 | 0,01 € |
| AAASG Analytik-Service AG | 1 | 11.08.2026 | 300 Tsd. € |
| TBTU Braunschweig | 1 | 07.08.2026 | 1 Tsd. € |
Laufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem Vertragsende- Rahmenverträge für Frischbackwaren, Getränke sowie Kaffee und KakaoJacobs Douwe Egberts DE GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland135 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet13.11.2025noch 2 Monate13.11.2026
- Rechenzeit auf supraleitenden QuantencomputernAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet13.06.2025noch 3 Monate31.12.2026
- Rechenzeit auf externen supraleitenden QuantencomputernBechtle GmbH & Co. KGDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland1 €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet13.07.2026noch 9 Monate30.06.2027
- Lieferung von FAST-LTA-Produkten und zugehörigen ServicesNAVUM GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland4,5 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet25.03.2024noch 18 Monate25.03.2028
- Prozessorientierte Organisationsberatung für die Deutsche RaumfahrtagenturBPM&O GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland480 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet23.04.2024noch 19 Monate30.04.2028
- Technisches Gebäudemanagement für die DLR-Standorte Oberpfaffenhofen und AugsburgAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet07.05.2024noch 20 Monate07.05.2028
- Externe Analytik von Luftfahrttreibstoffen und DieselkraftstoffASG Analytik-Service AGDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland300 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet11.08.2026noch 23 Monate14.08.2028
- Rahmenvertrag für Flaschengase, Gasbündel und zugehörige DienstleistungenLinde GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland800 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet16.07.2026noch 24 Monate30.09.2028
- Lieferung von Flüssiggas und Propan mit Miete von drei GastanksAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet24.06.2024noch 24 Monate30.09.2028
- Betrieb und Unterstützung des Linux-Desktop-Service mit Red Hat und UbuntuB1 Systems GmbHDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland4,5 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet10.06.2026noch 33 Monate10.06.2029
- Lieferung von Kerosin (Jet A-1) für ForschungsprüfständeAuftragnehmer nicht veröffentlichtDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q2 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet22.08.2025noch 37 Monate31.10.2029
- Konstruktion und Fertigung von Hardware für HochdruckverbrennungsprüfständeTresch + Kieliger EngineeringDeutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)Köln, Deutschland1 €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet30.03.2026noch 45 Monate10.06.2030
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 17.09.2026 | Universalwerkzeugmaschine mit Automation | Offen | - | - |
| 17.09.2026 | Rahmenvereinbarung über Proxmox-Subscriptions für Forschungseinrichtungen | Offen | - | - |
| 17.09.2026 | Lieferung eines unbemannten Luftfahrtsystems zur meteorologischen Datenerfassung | Offen | - | 249 Tsd. € |
| 11.09.2026 | Verlängerung eines IT-Dienstvertrags für Speicher- und Rechenzentrumsleistungen um vier Monate | Vergeben | - | - |
| 10.09.2026 | Ultrastabiles kontinuierlich emittierendes Lasersystem mit Resonator | Vergeben | MSMenlo Systems GmbH | 0,01 € |
| 10.09.2026 | Nachträgliche Installation einer Scheuerleiste an der Steckschanze der Plattform „Modularis“ | Vergeben | - | - |
| 10.09.2026 | Bau und betriebsfertige Lieferung eines 500-kWh-Batteriepacks und Servicekrans für MODULARIS | Vergeben | - | - |
| 08.09.2026 | Dienstleistung zur Analyse der Population von Weltraummüll | Vergeben | TBTU Braunschweig | 1 Tsd. € |
| 07.09.2026 | Acht radiometrische Infrarot-Kamerasysteme mit Optik und Software-Entwicklungskit | Offen | - | - |
| 07.09.2026 | Lieferung einer modularen Vertiport-Forschungsinfrastruktur für zwei Demonstratoren | Offen | - | 1 Mio. € |
| 03.09.2026 | Membran-Elektroden-Einheiten für einen Hochtemperatur-Brennstoffzellenstack | Offen | - | - |
| 31.08.2026 | Betriebshaftpflichtversicherung mit Umwelt- und Umweltschadenshaftpflicht für Forschungseinrichtungen | Offen | - | - |
| 31.08.2026 | Unterstützung bei der Entwicklung und Verifikation eingebetteter Flugsoftware für GNC-Systeme | Offen | - | - |
| 27.08.2026 | Solarzellen-Strings aus zwei verschiedenen 1x12-Solarmodulen | Vergeben | MDMicroLink Devices, Inc. | 0,01 € |
| 24.08.2026 | Owner's Engineer für DLR-Center for Crash und Impact Test (CITE) | Offen | - | - |
| 14.08.2026 | Detaillierte Konstruktion und Fertigung eines Open‑Rotor‑Prototyps inkl. Messsystem für Windkanaltests | Offen | - | - |
| 14.08.2026 | 5-Achs-Fräszentrum Ultraschallgestützt | Offen | - | - |
| 14.08.2026 | Mikrooptikdrucker für additive Fertigung von Mikro- und Nanostrukturen mittels Zwei-Photonen-Polymerisation | Offen | - | - |
| 12.08.2026 | Gold-Sputter-Target für Magnetron-Sputter-Anlage zur Gold-Dünnschicht-Abscheidung | Offen | - | - |
| 10.08.2026 | Distributed Acoustic Sensing (DAS) System für maritime Telekommunikationskabel | Offen | - | 310 Tsd. € |
| 10.08.2026 | Pikosekunden-Time-Tagger mit 21 Eingangskanälen für Einzelphotonenmessungen | Vergeben | SISwabian Instruments GmbH | 1 € |
| 03.08.2026 | Beschaffung eines optischen Frequenzkamms mit geringer Instabilität | Offen | - | - |
| 31.07.2026 | 795-nm-Lasersystem mit zwei schmalbandigen Laserdioden für Rubidium-87 | Vergeben | TPTOPTICA Photonics SE | 1 € |
| 30.07.2026 | Stehende Heißdampf-Druckreduzier- und Kühlanlage zur Sattdampferzeugung | Vergeben | - | - |
| 27.07.2026 | Beschaffung von 2-Achsen-Drehständen (Positioner) und Controllern für Satellitenkalibrierung | Vergeben | MGMVG Germany GmbH | 1 € |
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Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
56 % ähnlichKundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser
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Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
42 % ähnlichErneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter
Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
41 % ähnlichMikro-Dispens-System für Digital Printing und 3D-Systemintegration
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Das Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) in Dresden beschafft ein Mikro-Dispens-System zur Erweiterung seiner Kompetenzen im Bereich Digital Printing und 3D-Systemintegration. Das System wird für die Entwicklung hochintegrierter keramischer Mehrlagensysteme und die Funktionalisierung von Oberflächen in der Hochfrequenz-, Sensor- und Messtechnik eingesetzt. Der geschätzte Wert liegt bei etwa 240.000 Euro, die Abwicklung ist für 126 Tage vorgesehen und wird mit EU-Mitteln gefördert.
39 % ähnlichLieferung und Installation eines Laserverstärkersystems für die Strahlenphysik
01187 Dresden · Offen · Frist 07.10.2026
Die Technische Universität Dresden beschafft ein Laserverstärkersystem für die Professur für Strahlenphysik am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf und das Institut für Kern- und Teilchenphysik. Der Leistungsumfang umfasst Lieferung, Zubehör, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Abnahme; das System soll schmalbandige, durchstimmbare Laserimpulse verstärken, deren spektrale Bandbreite erhalten und nichtlineare Verstärkungsprozesse vermeiden. Der Leistungsort ist das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf in Dresden; Angebote müssen bis zum 7. Oktober 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden, die Bindefrist endet am 15. Dezember 2026.
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München · Offen · Frist 12.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein 2D-Röntgenmikroskop zur zerstörungsfreien Prüfung von kleinen Bauteilen bis hin zu mittelgroßen Baugruppen. Das System soll insbesondere eingebettete Schaltungen mit Strukturen im niedrigen einstelligen Mikrometerbereich sowie Baugruppen der Leistungselektronik untersuchen können; vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts. Die Ausschreibung ist dem Regionalcode DE300 zugeordnet, und Angebote können bis zum 12. Oktober 2026, 09:00 Uhr, eingereicht werden.
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Jülich · Offen
Das Forschungszentrum Jülich GmbH beschafft eine Laserstrahl-Pulverschmelzanlage für Forschungszwecke. Es handelt sich um eine Direktvergabe ohne vorherige Ausschreibung. Die Anlage wird in Deutschland (Region Nordrhein-Westfalen) benötigt.
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Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Gesamtsystem für einen nicht-universellen photonischen Quantencomputer auf Basis quantenoptischer Prozessortechnologie. Das System soll mindestens 8 Moden, eine Amplituden-Fidelität von mindestens 90 Prozent, eine vollständig rekonfigurierbare photonenbasierte Quantenprozessoreinheit und eine Multiport-Interferometerarchitektur bieten. Es ist für experimentelle Untersuchungen analoger Signalverarbeitungsverfahren vorgesehen; als Region ist der NUTS-Code DE300 (Berlin) angegeben. Die vorgesehene Laufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
36 % ähnlichLieferung von Laserdioden für ein optisches Cochleaimplantat
Göttingen · Offen
Die Universitätsmedizin Göttingen (UMG), Stiftung öffentlichen Rechts, beschafft Laserdioden für die Entwicklung und Integration eines optischen Cochleaimplantats. Die weiteren Entwicklungsschritte bauen auf bereits entwickelten Komponenten und einer abgestimmten optischen Architektur mit 4-Kanal-Laserdioden auf. Der Auftrag wird in Göttingen umgesetzt und hat eine Laufzeit von 90 Tagen.
34 % ähnlichUHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition
Garching · Offen · Frist 05.10.2026
Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.
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Wildau · Offen · Frist 08.10.2026
Die Technische Hochschule Wildau beschafft für den Quantum Application Hub eine Labor- und Messausstattung zur anwendungsorientierten Forschung an Quantentechnologien und photonischen Verfahren. Der Auftrag umfasst neun Fachlose mit Geräten wie einem Elektronenspinresonanz-Spektrometer, Stickstofftechnik, einem Mixed-Signal-Oszilloskop, einem Microarrayreader, optischen Messplätzen, einem Kontaktwinkelmessgerät, einem Wafer-Prober sowie optischen und optomechanischen Komponenten. Der geschätzte Gesamtwert beträgt 641.000 Euro; die Leistung ist in Wildau (Region DE406) zu erbringen, und die Angebotsfrist endet am 8. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
33 % ähnlichALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern
Berlin · Offen · Frist 13.10.2026
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
32 % ähnlichLieferung eines kompakten Rasterelektronenmikroskops mit EDX-System
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Die Technische Universität Dresden beschafft für die Professur für Fügetechnik und Montage ein betriebsbereites, kompaktes Rasterelektronenmikroskop (Tisch-REM) mit integriertem System zur energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX). Zum Lieferumfang gehören unter anderem Steuerrechner, Monitor, Software sowie Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung und Abnahme. Die Leistung wird am Institut für Fertigungstechnik in Dresden erbracht; Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden, die Bindefrist endet am 30. Dezember 2026.
32 % ähnlichAuf- und Durchlichtmikroskop mit Zubehör, Kamera und Software
Offen · Frist 23.09.2026
Die Technische Universität Chemnitz beschafft ein Mikroskop zur lichtmikroskopischen Untersuchung metallografisch präparierter Proben und zur Dokumentation der Probenherstellung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM). Zum Lieferumfang gehören außerdem Zubehör, eine Kamera und Software. Die Leistung ist in Chemnitz zu erbringen und soll bis zum 15. Januar 2027 ausgeführt werden; Angebote müssen bis zum 23. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.
31 % ähnlichAutoklav für die Herstellung transparenter Verbundsysteme
Dresden · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. in Dresden beschafft einen Autoklaven für die reproduzierbare Herstellung transparenter Verbundsysteme aus Glas und transparenter Keramik. Das Gerät soll druck- und temperaturgestützte Laminationsprozesse für Forschungs-, Entwicklungs- und Kleinserienprozesse ermöglichen und eine homogene Druck- und Temperaturverteilung über die gesamte Bauteilfläche gewährleisten. Der geschätzte Auftragswert beträgt 200.000 Euro, die vorgesehene Dauer 196 Tage; Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 12:00 Uhr eingereicht werden.
31 % ähnlichKompakte durchstimmbare MWIR-Laserquelle für einen Inspektionsmessplatz
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine kompakte, durchstimmbare Infrarot-Lichtquelle für einen Inspektionsmessplatz. Sie soll zur spektralen Charakterisierung optischer Komponenten und Bauelemente wie photonisch integrierter Schaltungen und Beugungsgittern im mittleren Infrarot (MWIR) bei einer Wellenlänge von etwa 10 Mikrometern eingesetzt werden. Die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).
31 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung
Heidelberg · Offen · Frist 05.10.2026
Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
30 % ähnlichHochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips
München · Offen · Frist 28.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.
30 % ähnlichAerosol-Jet-Printing-System
Dresden · Offen · Frist 25.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) in Dresden beschafft ein Aerosol-Jet-Printing-System zur Erweiterung seiner Kompetenzen im Bereich Digital Printing und 3D-Systemintegration. Das System wird für die additive Fertigung elektronischer Strukturen auf komplexen Geometrien sowie zur Integration passiver Komponenten eingesetzt. Der geschätzte Wert beträgt etwa 252.000 Euro, die Ausschreibung läuft nach offener Vergabeart mit einer Frist bis zum 25. September 2026.
29 % ähnlichSecondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik
München · Offen · Frist 23.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.
29 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Veröffentlichter Zuschlag
Auftragnehmer: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Zuschlagswert: 0,01 EUR · Vertragsschluss: 25.08.2026
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
258 vergleichbare Verfahren, davon 192 mit erfasstem Zuschlag · 115 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 269.702,4 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 26 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH · Oberkochen
5 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Thermo Fisher Scientific GmbH · Dreieich
4 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Xenocs SAS · Grenoble
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
STOE & Cie GmbH · Darmstadt
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Light Conversion GmbH · Vilnius
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
TOPTICA Photonics SE · Gräfelfing
2 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Light Conversion UAB · Vilnius
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
PicoQuant GmbH · Berlin
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Veeco GmbH · Aschheim
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
KEYENCE DEUTSCHLAND GmbH · Frankfurt am Main
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende in Baden-Württemberg, nach Vertragsende sortiert.
- Vollspektral-Bildgebungsgeräte Crime Lite Auto
Präsidium Technik, Logistik, Service der Polizei Baden-Württemberg · Stuttgart
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 01.10.2027
Auftragnehmer: Foster+Freeman Europe GmbH
Vertragsschluss: 01.10.2025
Zuschlagswert: 0,01 EUR
- Lieferung energieeffizienter Ultratiefkühlschränke und Ultratiefkühltruhen
Universität Heidelberg · Heidelberg
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 19.08.2028
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
51147 · Köln
evergabe@dlr.de000123 erfasste Verfahren, davon 65 vergeben. 35 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnen+4922894990
vk@bundeskartellamt.bund.de+49 22894990
TED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49 228996100
DLR Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.
evergabe@dlr.de000
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 12:35 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 03.07.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 04.09.2026, 08:09 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
VergabeHero verbindet KI-gestützte Ausschreibungssuche, Vergabeunterlagen, Wettbewerbsanalyse und Rahmenverträge mit Eignungsprüfung und gemeinsamer Angebotsorganisation. Unternehmen recherchieren öffentliche Aufträge aus Deutschland und Europa, bewerten Chancen anhand von Leistungsanforderungen und Vergabehistorie und bearbeiten ihre Bewerbung im Team.
- Ausschreibungssuche und KI-Matching
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- Wettbewerbsanalyse mit Zuschlagshistorie
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- Rahmenverträge und Vertragslaufzeiten
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- Auftraggeber und Marktüberblick
- Öffentliche Auftraggeber mit ihren veröffentlichten Kontaktdaten, laufenden Verfahren und erfassten früheren Vergaben kennenlernen. Ähnliche offene Ausschreibungen und verknüpfte Zuschläge unterstützen die Recherche nach weiteren Geschäftschancen.
- Eignungsprüfung mit eigenen Checklisten
- Eigene Prüfkriterien in wiederverwendbaren Checklisten organisieren und Ausschreibungen mit KI-Unterstützung prüfen. Ergebnisse, Begründungen und offene Punkte helfen dem Team, die Entscheidung über eine Bewerbung vorzubereiten.
- Angebotsorganisation und Projektmanagement
- Aus einer Ausschreibung ein gemeinsames Projekt erstellen. Aufgaben, Abgabeunterlagen, Zuständigkeiten, Fristen, Kommentare und Bearbeitungsstände bündeln und die Bewerbung von der Prüfung bis zum eingereichten Angebot und Ergebnis verfolgen.
Die Angaben zur konkreten Ausschreibung stehen in den Abschnitten darüber. Umfang und Verfügbarkeit der Unterlagen und Marktdaten hängen vom erfassten Verfahren ab. Persönliche Suchprofile und Teamfunktionen erfordern ein Konto; KI-Matching und KI-Checklistenprüfungen eine entsprechende Freischaltung. Die aktuellen Leistungen und Tarife stehen auf der Preisseite.
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