TEOS-basierte Zusatzkammer für eine bestehende Oxford-Plasmaanlage
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 06.10.2026
- CPV-Codes
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- Halbleiter (31712330)
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 686058-2026
- Verfahrensnummer
- 15c8e287-b0f5-4e67-a119-8ff7e09306b2
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin schreibt eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen über die Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer aus; TEOS steht für Tetraethylorthosilikat. Die Kammer ist für eine vorhandene Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage mit plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PP100PECVD) vorgesehen; Angaben zu Liefermenge und Laufzeit sind nicht enthalten.
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Leistungsbeschreibung
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
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LOT-0000 · Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
- Preis
- 100 %
Vergabeunterlagen
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