Kompaktes maskenloses UV-Direktlithographie-System für Reinraumeinsatz

Status
Vergeben
Angebotsfrist
25.06.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Friedrich-Schiller-Universität JenaProfil ansehen
Erfüllungsregion
Thüringen, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
22.05.2026
Bekanntmachungsnummer
351798-2026
Verfahrensnummer
e09a1bea-a718-4524-ac68-f2bb8f03098c
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein kompaktes Tischsystem für maskenlose UV-Direktlithographie im Reinraum. Das System soll rasterbasierte Vollflächenbelichtungen und vektorbasierte Direktbelichtungen für hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Strukturkorrekturen sowie konturtreue Linien auf unterschiedlichen Substraten ermöglichen. Es wird für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping in Jena (Region NUTS DEG03) benötigt; die Angebotsfrist endet am 25. Juni 2026 um 08:00 Uhr.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · maskenloses UV-Direktlithographie-System

    Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2.

    Frist: 25.06.2026, 04:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 15.07.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 489803-2026
Vergleichbare Verfahren232vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag108 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 21 Vergaben

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Wer gewinnt solche Vergaben?

Alle inhaltlich ähnlichen Verfahren im erfassten Bestand
Trend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen4021.07.2026803 Tsd. €steigend
XSXenocs SASGrenoble3014.09.2026490 Tsd. €steigend
S&STOE & Cie GmbHDarmstadt3028.08.2026674 Tsd. €steigend
PGPicoQuant GmbHBerlin2111.09.2026436 Tsd. €steigend
TPTOPTICA Photonics SEGräfelfing2107.09.202630 Tsd. €steigend
TFThermo Fisher Scientific GmbHDreieich2017.09.2026495 Tsd. €steigend
LCLight Conversion UABVilnius2015.09.2026356 Tsd. €steigend
KDKEYENCE DEUTSCHLAND GmbHFrankfurt am Main2014.08.2026110 Tsd. €steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2003.08.2026 - steigend
BDBecton Dickinson GmbHHeidelberg2022.07.2026485 Tsd. €steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Nordrhein-Westfalen (43) · Sachsen (37) · Thüringen (31) · Baden-Württemberg (27) · Bayern (18) · Sachsen-Anhalt (11)

Laufende Rahmenverträge

Thüringen

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Aktiv seit 2023 · 62 Verfahren
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Verfahren pro Jahr22Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 62 seit 2023Spitze KW 31 · 2024 · 5

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
BGBechtle GmbH318.08.20263,7 Mio. €
SYSysGen121.08.2026150 Tsd. €
SYsysGen121.08.2026291 Tsd. €
WEWeinrich120.08.20263,1 Mio. €
XLX-Celeprint Limited119.08.2026249 Tsd. €
ASAmplitude SAS118.08.2026200 Tsd. €
SSSeibert Solutions GmbH131.07.2026305 Tsd. €
QGQUBIG GmbH127.07.202691 Tsd. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Unterhaltsreinigung im Jentower der Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    199 Tsd. €
    27.11.2023noch 15 Monate31.12.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Unterhaltsreinigung im Microcerse Center JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    59 Tsd. €
    27.11.2023noch 15 Monate31.12.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Unterhalts- und Glasreinigung für die Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Unterhalts- und Glasreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Unterhalts- und Glasreinigung für Gebäude der Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Glas- und Rahmenreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Unterhalts- und Glasreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland
    02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
18.09.2026Spektral aufgelöster Infrarot-Zeilendetektor für 1050–2200 nmOffen - -
08.09.2026Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und DielektrikaoberflächenOffen - -
07.09.2026Multifunktionales FPGA-basiertes Steuerungs-, Mess- und SignalverarbeitungsinstrumentOffen - -
30.06.2026Automatische Kultivierungs- und Charakterisierungs-Plattform für BakterienVergebenAJAnalytik Jena GmbH+Co. KG624 Tsd. €
30.06.2026Entsorgungsleistungen für den Beutenberg Campus in JenaVergebenRGREMONDIS GmbH & Co. KG162 Tsd. €
26.06.2026Lieferung von drei HPE Alletra 4140 Storage-Knoten einschließlich NebenleistungenVergebenBGBechtle GmbH558 Tsd. €
25.06.2026Beschaffung eines Ultrakurzpulslasers mit einer Wellenlänge von 1 μmVergebenASAmplitude SAS200 Tsd. €
17.06.2026Managed Print Service für die Friedrich-Schiller-Universität JenaVergebenWEWeinrich3,1 Mio. €
17.06.2026Lieferung von neun Servern für hyperkonvergente InfrastrukturVergebenBGBechtle GmbH447 Tsd. €
16.06.2026Beschaffung einer Rechenpartition für Hochleistungsrechnen (HPC-Hardware)VergebenSYSysGen150 Tsd. €
16.06.2026Rechenpartition für Hochleistungsrechner (HPC-Hardware)VergebenSYsysGen291 Tsd. €
12.06.2026Schnelle, verlustarme elektrooptische Kristalle mit integrierten TreibernVergebenQGQUBIG GmbH91 Tsd. €
12.06.2026Supraleitendes Nanodraht-Einzelphotonen-Detektorsystem für Forschung und LehreVergebenSQSingle Quantum B.V163 Tsd. €
09.06.2026Zeitaufgelöstes Konfokal-Fluoreszenzmikroskop für ForschungszweckeVergebenPGPicoQuant GmbH436 Tsd. €
05.06.2026Lieferung und Inbetriebnahme von Labor-AbfallbehälternVergeben - -
04.06.2026Beschaffung von Atlassian-Produkten und -AbonnementsVergebenSSSeibert Solutions GmbH305 Tsd. €
03.06.2026Wach- und Sicherheitsdienstleistungen für die Friedrich-Schiller-Universität JenaOffen - -
01.06.2026Kompaktes Micro-Transfer-Printing-System für mikro- und optoelektronische BauelementeVergebenXLX-Celeprint Limited249 Tsd. €
28.05.2026Beschaffung und Lieferung von Labor-Transportwagen und WannenVergebenATAZ TECH Solutions GbR7 Tsd. €
28.05.2026Ein-Station-Läpp- und Poliersystem mit Dosier-, Bearbeitungs- und MesszubehörVergebenSGStruers GmbH130 Tsd. €
27.05.2026Femtosekunden-Laserpulskompressor als Multipasszellen-KompressorVergebenNGn2-Photonics GmbH95 Tsd. €
22.05.2026Kompaktes maskenloses UV-Direktlithographie-System für ReinraumeinsatzVergebenHIHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH191 Tsd. €
18.05.2026Kryostat mit optischen Zugängen und magnetischem FeldVergebenPSPASQAL SAS192 Tsd. €
12.05.2026Beschaffung einer abstimmbaren Laserlichtquelle für das NahinfrarotVergeben - -
11.05.2026Faserpräparationstoolset für wissenschaftliche LaboreVergeben - -

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