CMP-System für 100/150-mm-Wafer mit chemisch-mechanischer Politur
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 19.06.2026, 09:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Profil ansehen
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 20.05.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 344230-2026
- Verfahrensnummer
- 2ead0dcb-5e38-4fce-9c1b-548c14e0e0de
- CPV-Codes
- 42900000 · Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein CMP-System (Anlage zur chemisch-mechanischen Politur) für die Bearbeitung von 100- und 150-mm-Halbleiterwafern. Das System soll dielektrische Schichten wie Siliziumoxid auf Silizium- und III-V-Halbleiterwafern polieren, um diese zu planarisieren und die Oberflächenrauheit zu verbessern, damit anschließend Wafer-Fusionsbonden möglich ist. Die Lieferung und Inbetriebnahme soll innerhalb von 210 Tagen erfolgen; Bewerbungsfrist ist der 19. Juni 2026.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) - PR1199438-2050-P
1 CMP-System zur chemisch-mechanischen Politur dielektrischer Schichten wie Siliziumoxid auf 100‑mm- und 150‑mm-Si- und III-V-Halbleiterwafern mit integrierter Reinigung und optischer Endpunkterkennung. Ziel des Polierens ist die Planarisierung und Verbesserung der Oberflächenrauheit, um ein anschließendes Wafer-Fusionsbonden von III-V-Halbleitern mit Si-Wafern zu ermöglichen. Option 1: Separate drainage lines for DI water and chemicals Option 2: SECS/GEM interface Option 3: Torque EPD
Frist: 19.06.2026, 04:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Technik
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
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Anforderungen
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 26.08.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 589930-2026
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| Waferprober-System für 200- und 300-mm-Wafer sowie Dicing-FramesFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München, Deutschland | 07.09.2026 | - |
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Wer gewinnt solche Vergaben?
Alle inhaltlich ähnlichen Verfahren im erfassten Bestand| Trend | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| EGEV Group E. Thallner GmbH | Neuhaus am Inn | 3 | 3 | 10.07.2026 | - | steigend |
| ASATV Systems GmbH | Dresden | 3 | 2 | 08.09.2026 | 107 Tsd. € | steigend |
| SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | Krailling | 2 | 1 | 03.08.2026 | - | steigend |
| CTCrystec Technology Trading GmbH | Altötting | 1 | 1 | 27.08.2026 | - | steigend |
| AUAP und S International GmbH | Donaueschingen | 1 | 1 | 04.08.2026 | - | steigend |
| AMApplied Materials South East Asia Pte. Ltd. | Singapur | 1 | 1 | 04.08.2026 | - | steigend |
| KCKLA CORPORATION | Milpitas, California | 1 | 1 | 31.07.2026 | - | steigend |
| IGIONTOF GmbH | Münster | 1 | 1 | 29.07.2026 | - | steigend |
| UGUlvac GmbH | Kirchheim | 1 | 1 | 16.07.2026 | - | steigend |
| OIOptomec, Inc. | Albuquerque New Mexico | 1 | 1 | 15.07.2026 | - | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Sachsen (37) · Baden-Württemberg (13) · Bayern (13) · Nordrhein-Westfalen (9) · Brandenburg (9) · Sachsen-Anhalt (6)| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München | 47 | 28.08.2026 |
| FEFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München | 13 | 18.09.2026 |
| IGIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Frankfurt (Oder) | 7 | 20.07.2026 |
| FZFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Erlangen | 4 | 26.08.2026 |
| FJFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena | 4 | 01.06.2026 |
| FZFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | IMWS vertreten durch: Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS | Halle (Saale) | 3 | 24.06.2026 |
| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Berlin | 2 | 23.07.2026 |
| USUniversität Siegen | Siegen | 2 | 03.07.2026 |
Laufende Rahmenverträge
bundesweit- Lieferung und teilweise Montage digitaler Hardware für kommunale Schulen in MagdeburgLur SL GmbH +8 weitereLandeshauptstadt Magdeburg, Die OberbürgermeisterinMagdeburg, Deutschland7 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet17.12.2024läuft aus30.09.2026
- Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q2 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet01.04.2026noch 3 Monate30.12.2026
- Beschaffung einer 3D-Koordinatenmessmaschine mit optionaler SchulungAuftragnehmer nicht veröffentlichtBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet22.10.2025noch 15 Monate31.12.2027
- Wartung und Softwarebetreuung für Wägedatenerfassungssysteme der AbwasserversorgungAuftragnehmer nicht veröffentlichtBerliner WasserbetriebeBerlin, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q2 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet14.07.2026noch 49 Monate04.10.2030
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Aktiv seit 2023 · 250 VerfahrenLeistungsbereiche
Top 5 nach VerfahrenErfüllungsorte
nach VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche| EGEV Group E. Thallner GmbH | 5 | 10.07.2026 | - |
| KTKeysight Technologies | 3 | 20.08.2026 | - |
| NGNTT Germany AG & Co. KG | 3 | 11.08.2026 | - |
| ASATV Systems GmbH | 2 | 08.09.2026 | - |
| AUAP und S International GmbH | 2 | 01.09.2026 | - |
| ACAccretech | 2 | 25.08.2026 | - |
| HIHKL Ingenieurgesellschaft mbH | 2 | 24.08.2026 | 760 Tsd. € |
| VFVebego Facility Services B.V. & Co. KG | 2 | 17.07.2026 | - |
Laufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem Vertragsende- Rahmenvereinbarung für einen ZeugnisgeneratorHaufe Service Center GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.02.2026noch 3 Monate31.12.2026
- Lizenzen und Netzwerkkomponenten für die Mathematica-Softwareuni software plus GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet22.12.2023noch 3 Monate31.12.2026
- Durchführung von Mitarbeitendenbefragungen für die Fraunhofer-GesellschaftSyspons GmbH +2 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.01.2025noch 4 Monate14.01.2027
- Rahmenvertrag für Zeitarbeitskräfte in IT, Verwaltung sowie Facility Management und Servicetop itservices AG +8 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet11.03.2025noch 6 Monate14.03.2027
- Digitalmarketing-Dienstleistungen für die AcademyDACHCOM.DE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet23.05.2025noch 6 Monate31.03.2027
- Rahmenvertrag für Arbeitsplatz- und MultifunktionsdruckerKonica Minolta Business Solutions Deutschland GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet16.06.2025noch 7 Monate30.04.2027
- Executive-Search-Dienstleistungen für Führungskräfte in IT und VerwaltungKA Resources Recruitment SL +1 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.06.2025noch 8 Monate31.05.2027
- Rahmenvertrag für Beratung zur Technologievermarktung und -verwertungLZE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet03.06.2024noch 8 Monate31.05.2027
- Fachplanung Elektrotechnik für Sanierungs- und UmbauprojekteREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland400 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet31.07.2025noch 9 Monate30.06.2027
- Qualifizierungsprogramm für Führungskräfte bei der Fraunhofer-GesellschaftAuftragnehmer nicht veröffentlichtFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet06.11.2023noch 9 Monate30.06.2027
- Wissenschaftlich-technische Unterstützung zur Zuverlässigkeit mikroelektronischer Komponenten und SystemeBerliner Nanotest und Design GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet11.07.2025noch 10 Monate11.07.2027
- Fachplanungsleistungen für Heizungs-, Lüftungs-, Sanitär- und Klimatechnik im BestandREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland800 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet31.07.2025noch 10 Monate31.07.2027
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 18.09.2026 | Fernwärmeversorgung für das Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik in Freiburg | Vergeben | BGbadenovaWÄRMEPLUS GmbH & Co. KG | - |
| 18.09.2026 | Rahmenvereinbarung über Rechenzeit für Quantencomputing | Vergeben | IDIBM Deutschland GmbH | - |
| 17.09.2026 | Trockene assemblierte Lithium-Ionen-Batterien ohne flüssige Elektrolyte | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Unterhalts-, Grund- und Sonderreinigung für das Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Empfangs- und Sicherheitsdienst für das Fraunhofer IOSB | Offen | - | - |
| 16.09.2026 | Unterhalts- und Fensterreinigung für Einrichtungen des Fraunhofer IWU | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Abaqus-Lizenzen für das Jahr 2027 | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Lieferung einer Nassbank | Offen | - | - |
| 15.09.2026 | Unterhalts- und Fensterreinigung für eine Fraunhofer-Einrichtung | Offen | - | - |
| 14.09.2026 | Ein BEOL-iLine-Stepper (Backend-of-Line-Gerät) | Offen | - | - |
| 11.09.2026 | Rahmenvereinbarung für mathematische High-Performance-Solver | Offen | - | - |
| 11.09.2026 | Bereitstellung einer Patentdatenbank | Offen | - | - |
| 07.09.2026 | KI-Server-Appliances für Training und Inferenz großer KI-Modelle | Offen | - | - |
| 04.09.2026 | Serversystem mit acht Grafikprozessoren für KI-Inferenz inklusive fünf Jahre Vor-Ort-Support | Offen | - | - |
| 03.09.2026 | Veranstaltungsorte für AHEAD-Veranstaltungen 2027 | Offen | - | - |
| 02.09.2026 | Lieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Wafer-Burn-in-Test für Halbleiterscheiben | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Aushärtungs- und Temperofen für Wafer bis 300 mm mit definierter Gasatmosphäre | Vergeben | CTCrystec Technology Trading GmbH | - |
| 26.08.2026 | Quantum Computing Control System – Komponenten und Ausrüstung | Vergeben | KTKeysight Technologies +4 weitere | - |
| 25.08.2026 | Broadcom VMware Hypervisor Lizenzen | Vergeben | MEMedialine Eurotrade AG | - |
| 21.08.2026 | Lizenz für Software-Wartung von Keysight | Vergeben | KTKeysight Technologies | - |
| 21.08.2026 | Miete eines Wasserstofftanks einschließlich Wasserstofflieferung | Offen | - | - |
| 19.08.2026 | Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) | Vergeben | EGEV Group E. Thallner GmbH | - |
| 12.08.2026 | Management-Qualifizierungsreihe für Verwaltungsleitungen und Verwaltungsdirektor:innen | Offen | - | - |
| 10.08.2026 | Wartung und Inspektion der Gebäudeleit- sowie Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik | Offen | - | - |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenChemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen
Jena · Offen · Frist 13.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.
78 % ähnlichHalbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern
Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 13.10.2026
Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.
50 % ähnlichUHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition
Garching · Offen · Frist 05.10.2026
Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.
47 % ähnlichHalbleiter-Testsystem für integrierte Schaltkreise und Chiplets
München · Offen · Frist 29.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein gemischtes Signal-Testsystem für die Prüfung, Charakterisierung und Funktionstests integrierter Schaltkreise und Chiplets nach der Fertigung. Das System muss an industrielle Wafer-Prüfsysteme und Vorrichtungen zur Bauteilhandhabung anschließbar sowie mit einem bereits vorhandenen System hard- und softwareseitig kompatibel sein. Der Einsatz ist bei Fraunhofer EMFT in München vorgesehen; die Vertragsdauer beträgt 60 Tage, die Angebotsfrist endet am 29. September 2026 um 08:00 Uhr.
43 % ähnlichHochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips
München · Offen · Frist 28.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.
41 % ähnlichPhotolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
38 % ähnlichSecondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik
München · Offen · Frist 23.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.
36 % ähnlichBeschaffung von Wasserstoffperoxid für das Polieren metallischer Oberflächen
Offen · Frist 21.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Wasserstoffperoxid (H₂O₂) für den CMP-Prozess (chemisch-mechanisches Planarisieren) zum Polieren metallischer Oberflächen. Die Ausschreibung betrifft ein Los und ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 21. September 2026 um 10:00 Uhr MESZ.
35 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung
Heidelberg · Offen · Frist 05.10.2026
Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
33 % ähnlichPolierpads für eine Mirra-Anlage zur Oxidpolitur von 8-Zoll-Wafern
Offen · Frist 02.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Polierpads für eine Mirra-Anlage zum Polieren von Oxidschichten auf 8-Zoll-Wafern. Die Ausschreibung ist der NUTS-Region DED (Sachsen) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026 um 10:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
32 % ähnlichErneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter
Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
30 % ähnlichLieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage
Berlin · Offen
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin beschafft im Rahmen einer Vereinbarung mit einem Unternehmen eine TEOS-basierte Zusatzkammer des Typs PP100PECVD für eine vorhandene Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage. TEOS steht für Tetraethylorthosilikat; PECVD bezeichnet die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung. Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von 1.440 Tagen und betrifft den Standort Berlin.
26 % ähnlichBeschaffung eines 2D-Röntgenmikroskops zur zerstörungsfreien Bauteilprüfung
München · Offen · Frist 12.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein 2D-Röntgenmikroskop zur zerstörungsfreien Prüfung von kleinen Bauteilen bis hin zu mittelgroßen Baugruppen. Das System soll insbesondere eingebettete Schaltungen mit Strukturen im niedrigen einstelligen Mikrometerbereich sowie Baugruppen der Leistungselektronik untersuchen können; vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts. Die Ausschreibung ist dem Regionalcode DE300 zugeordnet, und Angebote können bis zum 12. Oktober 2026, 09:00 Uhr, eingereicht werden.
26 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie
Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
25 % ähnlichSilizium- und Glaswafer in verschiedenen Dimensionen und Spezifikationen
Offen · Frist 05.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano-Systeme (Fraunhofer ENAS) beschafft neue Wafer aus Silizium und Glas für die weitere Forschung und Entwicklung im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik. Der genaue Umfang und die einzelnen Spezifikationen sind nicht näher angegeben; die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 10:00 Uhr.
24 % ähnlichLieferung eines automatisierten Gradienten-Entwicklungssystems für Dünnschichtchromatographieplatten
Offen · Frist 29.09.2026
Die Bundesanstalt für Gewässerkunde beschafft für ihren Standort in Koblenz ein automatisiertes Gradienten-Entwicklungssystem zur Entwicklung von Dünnschichtchromatographieplatten. Das Gerät muss unter anderem Platten im Format 20 × 10 cm automatisch bearbeiten, mindestens 30 Entwicklungsschritte programmieren, mindestens vier organische Lösemittel mischen und mit einem vorhandenen Arbeitsplatzcomputer unter Windows 10 oder 11 betrieben werden können; angeboten werden darf ein neues oder ausschließlich als Vorführgerät genutztes, generalüberholtes Gerät. Die Lieferung muss spätestens acht Wochen nach Auftragserteilung erfolgen, optional sind Installation, Inbetriebnahme und eine Schulung für bis zu drei Personen vor Ort vorgesehen; die Angebotsfrist endet am 29. September 2026 um 09:00 Uhr.
24 % ähnlichMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
23 % ähnlichMechanische Oberflächenanalyseplattform für Polymerforschung
Berlin · Offen · Frist 31.12.2037
Das Helmholtz-Institut für Polymere in Energieanwendungen Jena (HIPOLE Jena) beschafft eine mechanische Oberflächenanalyseplattform zur Untersuchung von Materialien und Beschichtungen. Der Schwerpunkt liegt auf der Charakterisierung von selbstheilenden Polymeren für Anwendungen in Energiespeicherung und Photovoltaik. Es wird 1 Einheit gemäß technischer Spezifikation vergeben. Das Zuschlagskriterium ist allein der Preis.
23 % ähnlichALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern
Berlin · Offen · Frist 13.10.2026
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
23 % ähnlichMikro-Dispens-System für Digital Printing und 3D-Systemintegration
Dresden · Offen · Frist 25.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) in Dresden beschafft ein Mikro-Dispens-System zur Erweiterung seiner Kompetenzen im Bereich Digital Printing und 3D-Systemintegration. Das System wird für die Entwicklung hochintegrierter keramischer Mehrlagensysteme und die Funktionalisierung von Oberflächen in der Hochfrequenz-, Sensor- und Messtechnik eingesetzt. Der geschätzte Wert liegt bei etwa 240.000 Euro, die Abwicklung ist für 126 Tage vorgesehen und wird mit EU-Mitteln gefördert.
23 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Veröffentlichter Zuschlag
Auftragnehmer: Accretech
Zuschlagswert: Nicht angegeben · Vertragsschluss: 25.08.2026
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
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Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
101 vergleichbare Verfahren, davon 68 mit erfasstem Zuschlag · 42 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 129.786,24 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 2 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
EV Group E. Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
3 vergleichbare Zuschläge, davon 3 bei diesem Auftraggeber.
ATV Systems GmbH · Dresden
3 vergleichbare Zuschläge, davon 2 bei diesem Auftraggeber.
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · Krailling
2 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Crystec Technology Trading GmbH · Altötting
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
AP und S International GmbH · Donaueschingen
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. · Singapur
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
KLA CORPORATION · Milpitas, California
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
IONTOF GmbH · Münster
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Ulvac GmbH · Kirchheim
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Optomec, Inc. · Albuquerque New Mexico
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
- Lieferung und teilweise Montage digitaler Hardware für kommunale Schulen in Magdeburg
Landeshauptstadt Magdeburg, Die Oberbürgermeisterin · Magdeburg
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 30.09.2026
Auftragnehmer: Lur SL GmbH +8 weitere
Vertragsschluss: 17.12.2024
Zuschlagswert: 7.006.761,96 EUR
- Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und Support
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 30.12.2026
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Beschaffung einer 3D-Koordinatenmessmaschine mit optionaler Schulung
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.12.2027
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Wartung und Softwarebetreuung für Wägedatenerfassungssysteme der Abwasserversorgung
Berliner Wasserbetriebe · Berlin
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 04.10.2030
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
80686 · München
einkauf@zv.fraunhofer.de+49891205-0250 erfasste Verfahren, davon 162 vergeben. 97 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnen+4922894990
vk@bundeskartellamt.bund.de+49 22894990
TED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49 228996100
Einkauf Betrieb und Infrastruktur
einkauf@zv.fraunhofer.de+49891205-0
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 11:41 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 20.05.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 01.09.2026, 11:58 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
VergabeHero verbindet KI-gestützte Ausschreibungssuche, Vergabeunterlagen, Wettbewerbsanalyse und Rahmenverträge mit Eignungsprüfung und gemeinsamer Angebotsorganisation. Unternehmen recherchieren öffentliche Aufträge aus Deutschland und Europa, bewerten Chancen anhand von Leistungsanforderungen und Vergabehistorie und bearbeiten ihre Bewerbung im Team.
- Ausschreibungssuche und KI-Matching
- Öffentliche Bau-, Liefer- und Dienstleistungsaufträge nach Suchbegriffen, CPV-Codes, Regionen und Fristen recherchieren. KI-Matching gleicht Ausschreibungen mit der Leistungsbeschreibung im Suchprofil ab und begründet die Zuordnung. Passende Neuzugänge laufen im gemeinsamen Posteingang zusammen.
- Vergabeunterlagen und Dokumentextraktion
- Verfügbare Vergabeunterlagen aus angebundenen Quellen abrufen und beim Verfahren bündeln. Das Dokumentinventar zeigt tatsächlich hinterlegte Dateien, Abrufstatus und Originalverweise. Fertig extrahierte Dokumenttexte sind über eigene Unterlagenseiten lesbar.
- Leistungsumfang, Lose und Anforderungen
- KI-Zusammenfassungen, Leistungsbeschreibungen, Lose, Eignungsanforderungen und Zuschlagskriterien erleichtern die erste Prüfung. Verfügbare Fristen, Auftragswerte, Verfahrensarten und Kontaktangaben stehen in der Ausschreibungsakte zusammen.
- Wettbewerbsanalyse mit Zuschlagshistorie
- Historische Auftragnehmer vergleichbarer Vergaben anhand gemeinsamer CPV-Codes und der Region untersuchen. Zuschlagshäufigkeiten, Belegverfahren und veröffentlichte Auftragswerte machen die Wettbewerbssituation nachvollziehbar. Frühere Gewinner sind keine bestätigten Bieter des aktuellen Verfahrens.
- Rahmenverträge und Vertragslaufzeiten
- Vergebene Rahmenvereinbarungen mit Auftragnehmern, verfügbaren Zuschlagswerten und voraussichtlichen Vertragsenden recherchieren. Verwandte Rahmenverträge helfen, das Marktumfeld und mögliche künftige Beschaffungsbedarfe einzuordnen. Ein Vertragsende bestätigt keine Neuausschreibung.
- Auftraggeber und Marktüberblick
- Öffentliche Auftraggeber mit ihren veröffentlichten Kontaktdaten, laufenden Verfahren und erfassten früheren Vergaben kennenlernen. Ähnliche offene Ausschreibungen und verknüpfte Zuschläge unterstützen die Recherche nach weiteren Geschäftschancen.
- Eignungsprüfung mit eigenen Checklisten
- Eigene Prüfkriterien in wiederverwendbaren Checklisten organisieren und Ausschreibungen mit KI-Unterstützung prüfen. Ergebnisse, Begründungen und offene Punkte helfen dem Team, die Entscheidung über eine Bewerbung vorzubereiten.
- Angebotsorganisation und Projektmanagement
- Aus einer Ausschreibung ein gemeinsames Projekt erstellen. Aufgaben, Abgabeunterlagen, Zuständigkeiten, Fristen, Kommentare und Bearbeitungsstände bündeln und die Bewerbung von der Prüfung bis zum eingereichten Angebot und Ergebnis verfolgen.
Die Angaben zur konkreten Ausschreibung stehen in den Abschnitten darüber. Umfang und Verfügbarkeit der Unterlagen und Marktdaten hängen vom erfassten Verfahren ab. Persönliche Suchprofile und Teamfunktionen erfordern ein Konto; KI-Matching und KI-Checklistenprüfungen eine entsprechende Freischaltung. Die aktuellen Leistungen und Tarife stehen auf der Preisseite.
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