CMP-System für 100/150-mm-Wafer mit chemisch-mechanischer Politur
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 19.06.2026, 09:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 20.05.2026
- CPV-Codes
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- vergabe.fraunhofer.de
- Bekanntmachungsnummer
- 344230-2026
- Verfahrensnummer
- 2ead0dcb-5e38-4fce-9c1b-548c14e0e0de
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein CMP-System (Anlage zur chemisch-mechanischen Politur) für die Bearbeitung von 100- und 150-mm-Halbleiterwafern. Das System soll dielektrische Schichten wie Siliziumoxid auf Silizium- und III-V-Halbleiterwafern polieren, um diese zu planarisieren und die Oberflächenrauheit zu verbessern, damit anschließend Wafer-Fusionsbonden möglich ist. Die Lieferung und Inbetriebnahme soll innerhalb von 210 Tagen erfolgen; Bewerbungsfrist ist der 19. Juni 2026.
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Leistungsbeschreibung
CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · CMP-System für 100/150‑mm‑Wafer (IAF-03) - PR1199438-2050-P
1 CMP-System zur chemisch-mechanischen Politur dielektrischer Schichten wie Siliziumoxid auf 100‑mm- und 150‑mm-Si- und III-V-Halbleiterwafern mit integrierter Reinigung und optischer Endpunkterkennung. Ziel des Polierens ist die Planarisierung und Verbesserung der Oberflächenrauheit, um ein anschließendes Wafer-Fusionsbonden von III-V-Halbleitern mit Si-Wafern zu ermöglichen. Option 1: Separate drainage lines for DI water and chemicals Option 2: SECS/GEM interface Option 3: Torque EPD
Frist: 19.06.2026, 04:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Technik
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
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Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 26.08.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 589930-2026
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