Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und Support

Status
Vergeben
Angebotsfrist
03.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
900.000 EUR
Lose
1
Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikProfil ansehen
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
Veröffentlicht
24.11.2025
Bekanntmachungsnummer
777890-2025
Verfahrensnummer
98728eb4-5ebb-42f5-9027-3129e266a320
CPV-Codes
22520000 · Trockenätzausrüstung

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, beschafft für seinen Standort in Berlin einen Trockenätzer mit fluorbasierter Chemie einschließlich Wartung und Support. Vorgesehen ist eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen; der geschätzte Auftragswert beträgt 900.000 Euro. Angebote müssen bis zum 3. Dezember 2025 um 12:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)900.000 EUR

    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

    Frist: 03.12.2025, 01:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
10 %
Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
90 %

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 31.03.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 221453-2026
Vergleichbare Verfahren196vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag54 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 15 Vergaben

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Frist in den letzten 12 Monaten abgelaufen, nach Ähnlichkeit
Titel
Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland03.12.2025400 Tsd. €
Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland23.07.20261 Mio. €
Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland23.03.2026 -
Aufbereitete TrockenätzkammerFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland19.06.2026 -
Anlage zum Ätzen in der Fluorwasserstoff-GasphaseFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12München, Deutschland15.06.2026 -
Beschaffung eines IonenstrahlätzersFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland10.08.2026 -
Lieferung einer trockenchemischen ÄtzanlageUniversität der Bundeswehr MünchenNeubiberg, Deutschland30.04.2026 -
Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland04.05.2026 -

Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailing2003.08.2026 - steigend
TGTESCAN GmbHDortmund2021.07.2026216 Tsd. €steigend
LCLight Conversion GmbHVilnius2016.07.2026 - steigend
TFThermo Fisher Scientific, FEI Deutschland GmbHDeutschland2026.06.2026397 Tsd. €steigend
TGTh. Geyer GmbH & Co. KGRenningen2009.12.20254 Mio. €steigend
RBRaith B.V.Best1124.06.2026220 Tsd. €steigend
RBRaith BVPS Best1124.06.2026220 Tsd. €steigend
PTPlasma Therm EuropeBernin1125.03.2026 - steigend
GIGW Innovations GmbHWollerau1008.09.2026500 Tsd. €steigend
HHHitachi High-Tech Europe GmbHKrefeld1004.09.2026 - steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Berlin (58) · Sachsen (33) · Brandenburg (20) · Nordrhein-Westfalen (16) · Baden-Württemberg (13) · Bayern (12)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Aktiv seit 2024 · 15 Verfahren
Profil öffnen
Verfahren pro Jahr8Ø seit 2024
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 15 seit 2024Spitze KW 48 · 2025 · 2

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
CMCicor Microtech AG110.08.2026381 Tsd. €
RBRaith B.V.124.06.2026220 Tsd. €
RBRaith BV124.06.2026220 Tsd. €
PTPlasma Therm Europe125.03.2026 -
OIOxford Instruments GmbH120.03.2026 -
FWFalling Walls Foundation gGmbH116.01.2026414 Tsd. €
RBRAITH B.V. Nanofabrication126.05.2025383 Tsd. €
SWSD Worx GmbH124.10.2024224 Tsd. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    1 Mio. €
    17.06.2026noch 4 Monate01.02.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportOxford Instruments GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    900 Tsd. €
    20.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportPlasma Therm EuropeFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    400 Tsd. €
    25.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreFalling Walls Foundation gGmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    414 Tsd. €
    16.01.2026noch 13 Monate31.10.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxSD Worx GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    224 Tsd. €
    24.10.2024noch 15 Monate31.12.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith B.V.Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith BVFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemRAITH B.V. NanofabricationFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    383 Tsd. €
    26.05.2025noch 46 Monate10.07.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
14.09.2026ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-HalbleiternOffen - -
11.08.2026AlN‑Keramiksubstrate für das BECCAL‑ProjektVergebenCMCicor Microtech AG381 Tsd. €
05.08.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith BV220 Tsd. €
08.07.2026Beschaffung eines IonenstrahlätzersOffen - -
26.06.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith B.V.220 Tsd. €
17.06.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - 1 Mio. €
15.04.2026Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-ClusteranlageOffen - -
01.04.2026Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportVergeben - -
02.03.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - -
27.02.2026Lieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-MesstechnikOffen - -
19.01.2026Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreVergebenFWFalling Walls Foundation gGmbH414 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportVergebenPTPlasma Therm Europe400 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportVergebenOIOxford Instruments GmbH900 Tsd. €
27.05.2025Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemVergebenRBRAITH B.V. Nanofabrication383 Tsd. €
24.10.2024Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxVergebenSWSD Worx GmbH224 Tsd. €

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