Halbautomatische Hotplate zur Temperung von Substraten für die Elektronenstrahllithografie

UHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition

Garching · Offen · Frist 05.10.2026

Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.

Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen

Jena · Offen · Frist 13.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.

Halbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern

Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 13.10.2026

Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.

Lieferung und Inbetriebnahme eines Drahtbondautomaten als Tischgerät

Ilmenau · Offen · Frist 27.10.2026

Die Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen und Zentrale Vergabestelle, beschafft einen flexibel einsetzbaren Drahtbondautomaten oder Drahtbondhalbautomaten als Tischgerät. Das Gerät soll für eine präzise und zukunftssichere Elektronikfertigung in Forschung, Lehre und studentischen Projekten eingesetzt werden; zum Auftrag gehören Lieferung und Inbetriebnahme in Ilmenau. Angebote müssen bis zum 27. Oktober 2026 um 08:29 Uhr eingereicht werden.

Kompakte durchstimmbare MWIR-Laserquelle für einen Inspektionsmessplatz

Offen · Frist 06.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine kompakte, durchstimmbare Infrarot-Lichtquelle für einen Inspektionsmessplatz. Sie soll zur spektralen Charakterisierung optischer Komponenten und Bauelemente wie photonisch integrierter Schaltungen und Beugungsgittern im mittleren Infrarot (MWIR) bei einer Wellenlänge von etwa 10 Mikrometern eingesetzt werden. Die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).

Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge

Offen · Frist 06.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Wafer-Burn-in-Test für Halbleiterscheiben

München · Offen · Frist 01.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Stück für einen Wafer-Burn-in-Test, also eine Belastungsprüfung von Halbleiterscheiben. Die Leistung ist der Region Dresden (NUTS-Code DED41) zugeordnet; Angebote müssen bis zum 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit eingereicht werden.

Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie

Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026

Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.

Beschaffung eines Elektronenstrahlverdampfers

Offen · Frist 02.10.2026

Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik beschafft einen Elektronenstrahlverdampfer. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen-Anhalt (NUTS-Code DEE) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden. Angaben zum geschätzten Auftragswert oder zum weiteren Leistungsumfang liegen nicht vor.

Autoklav für die Herstellung transparenter Verbundsysteme

Dresden · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. in Dresden beschafft einen Autoklaven für die reproduzierbare Herstellung transparenter Verbundsysteme aus Glas und transparenter Keramik. Das Gerät soll druck- und temperaturgestützte Laminationsprozesse für Forschungs-, Entwicklungs- und Kleinserienprozesse ermöglichen und eine homogene Druck- und Temperaturverteilung über die gesamte Bauteilfläche gewährleisten. Der geschätzte Auftragswert beträgt 200.000 Euro, die vorgesehene Dauer 196 Tage; Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 12:00 Uhr eingereicht werden.

Hochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips

München · Offen · Frist 28.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.

Lieferung eines automatisierten Gradienten-Entwicklungssystems für Dünnschichtchromatographieplatten

Offen · Frist 29.09.2026

Die Bundesanstalt für Gewässerkunde beschafft für ihren Standort in Koblenz ein automatisiertes Gradienten-Entwicklungssystem zur Entwicklung von Dünnschichtchromatographieplatten. Das Gerät muss unter anderem Platten im Format 20 × 10 cm automatisch bearbeiten, mindestens 30 Entwicklungsschritte programmieren, mindestens vier organische Lösemittel mischen und mit einem vorhandenen Arbeitsplatzcomputer unter Windows 10 oder 11 betrieben werden können; angeboten werden darf ein neues oder ausschließlich als Vorführgerät genutztes, generalüberholtes Gerät. Die Lieferung muss spätestens acht Wochen nach Auftragserteilung erfolgen, optional sind Installation, Inbetriebnahme und eine Schulung für bis zu drei Personen vor Ort vorgesehen; die Angebotsfrist endet am 29. September 2026 um 09:00 Uhr.

Photolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm

München · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Induktionsanlage mit integrierter Temperaturregelung

Offen · Frist 28.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Induktionsanlage mit integrierter Temperaturregelung. Angaben zu Umfang, Stückzahl und geschätztem Auftragswert liegen nicht vor. Die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 09:00 Uhr.

Klimawechselschrank für Baustoffprüfungen und Probenvorbereitung

Offen · Frist 01.10.2026

Die Constrction Future Lab gGmbH beschafft einen Klimawechselschrank für die Untersuchung von Baustoffproben und die Nutzung als Trockenofen. Das Gerät soll Temperaturen von etwa -20 °C bis +180 °C abdecken, mehrere Proben gleichzeitig temperieren, bei Bedarf die Luftfeuchtigkeit regeln sowie Temperatur- und Feuchteverläufe anzeigen, aufzeichnen und übertragen können. Der Leistungsort ist Görlitz; die Ausführung ist vom 23. November bis zum 11. Dezember 2026 vorgesehen, und Angebote müssen bis zum 1. Oktober 2026 um 12:00 Uhr elektronisch eingereicht werden.

Mechanische Oberflächenanalyseplattform für Polymerforschung

Berlin · Offen · Frist 31.12.2037

Das Helmholtz-Institut für Polymere in Energieanwendungen Jena (HIPOLE Jena) beschafft eine mechanische Oberflächenanalyseplattform zur Untersuchung von Materialien und Beschichtungen. Der Schwerpunkt liegt auf der Charakterisierung von selbstheilenden Polymeren für Anwendungen in Energiespeicherung und Photovoltaik. Es wird 1 Einheit gemäß technischer Spezifikation vergeben. Das Zuschlagskriterium ist allein der Preis.

ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern

Berlin · Offen · Frist 13.10.2026

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.

Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage

Berlin · Offen

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin beschafft im Rahmen einer Vereinbarung mit einem Unternehmen eine TEOS-basierte Zusatzkammer des Typs PP100PECVD für eine vorhandene Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage. TEOS steht für Tetraethylorthosilikat; PECVD bezeichnet die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung. Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von 1.440 Tagen und betrifft den Standort Berlin.

Spektral aufgelöster Infrarot-Zeilendetektor für 1050–2200 nm

Jena · Offen · Frist 27.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft einen spektral aufgelösten Zeilendetektor zur Charakterisierung von Photolumineszenzeigenschaften. Das Gerät muss im Infrarot-Wellenlängenbereich von 1050 bis 2200 Nanometern empfindlich sein und eine spektrale Auflösung von mindestens 0,2 Nanometern erreichen. Der Auftrag wird in Jena, Thüringen, ausgeführt; Angebote müssen bis zum 27. Oktober 2026 um 09:00 Uhr eingereicht werden.

Wärmeversorgungs- und Kälteanlagen für den Neubau eines Biophotonik-Gebäudes

Jena · Offen · Frist 05.10.2026

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. in Jena beschafft Wärmeversorgungs- und Kälteanlagen für den Neubau eines Biophotonik-Gebäudes auf dem Campus Beutenberg. Der Leistungsumfang umfasst unter anderem eine Fernwärmestation und Flachheizkörper; das Gebäude soll Laborflächen der biologischen Sicherheitsstufen S2 und S3, Büros sowie einen Konferenzbereich beherbergen. Die Forschung und Entwicklung optischer Gesundheitstechnologien steht im Mittelpunkt der Nutzung. Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 12:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.