Clustertool für Ionenstrahlätzen von 300mm-Wafern
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 20.03.2026, 12:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 19.02.2026
- CPV-Codes
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- deutsche-evergabe.de
- Bekanntmachungsnummer
- 117594-2026
- Verfahrensnummer
- bd4dfee5-1838-40b4-a81a-06d8f79ef81c
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein Ionenstrahl-Ätzsystem für die Bearbeitung von 300mm-Wafern am Standort des Fraunhofer IPMS. Das Gerät muss für den Einsatz in einer Reinraumumgebung der Klasse 1000 (ISO 6) geeignet sein und strenge Industriestandards hinsichtlich Partikelgenerierung und Metallkontamination erfüllen. Es handelt sich um ein Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb.
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Leistungsbeschreibung
The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0001 · Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
- Technische Ausführung
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
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1 Eintrag- 10.07.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 476033-2026
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