Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie

Status
Offen
Angebotsfrist
06.10.2026, 20:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
500.000 EUR
Lose
1
Auftraggeber
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.Profil ansehen
Erfüllungsregion
Sachsen, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
07.09.2026
Bekanntmachungsnummer
616021-2026
Verfahrensnummer
01a0666c-83db-4c05-9cd2-77a9f02d93c7
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.

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Leistungsbeschreibung

Lieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)500.000 EUR

    Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie) zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken.

    Frist: 06.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

entfällt

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)

siehe Leistungsverzeichnis
35 %
siehe Leistungsverzeichnis
5 %
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20 %
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30 %
siehe Leistungsverzeichnis
5 %
siehe Leistungsverzeichnis
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Vergabeunterlagen

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Anforderungen

entfällt

Änderungen und Bieterfragen

0 Einträge

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Vergleichbare Verfahren249vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag101 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 26 Vergaben

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VGVeeco GmbHAschheim2024.08.2026 - steigend
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Wer schreibt solche Vergaben aus?

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Laufende Rahmenverträge

Sachsen
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    1 €
    25.02.2025noch 41 Monate25.02.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.

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RahmenverträgeAnteil an Verfahren
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Leistungsbereiche

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Erfüllungsorte

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Laufende Rahmenverträge

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07.09.2026Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-KontaktlithografieOffen - 500 Tsd. €

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