Halbautomatisches Wafer-Probersystem zur Charakterisierung von 200-mm-Wafern

Leistungen nach Losen (1)

• LOT-0001 · Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

  Description of the Procurement - Type and Scope of Supplies / Requirements The procurement comprises the supply of a complete semi-automatic wafer prober system for the electrical and RF characterization of 200-mm wafers for research and laboratory applications at IHP. The scope of supply includes, in particular, a semi-automatic 200-mm wafer prober with vacuum chuck, precision XY/Z/Theta positioning, shielded prober chamber, six individual electrical probes, two multi-contact probe holders suitable for RF measurements up to at least 6 GHz, and a probe card adapter. The system shall also include an automated microscope, color and side-view cameras, control PC, hardware control panel, control software, required cables, interfaces, power supplies and replacement probes. The system shall support DC, pulsed I-V and low-frequency impedance measurements up to at least 10 MHz as well as RF characterization. All components shall be technically compatible and capable of being operated as an integrated system. The procurement further includes complete delivery, transport, installation, configuration, commissioning, functional testing, on-site training and provision of all required technical, operating and safety documentation. The supplier shall also provide warranty, service and spare-parts/consumables availability for the specified warranty period. The system must comply with the specified mechanical, electrical, safety, EMC, CE, IT and environmental requirements and be suitable for integration into the existing IHP laboratory and IT infrastructure.

  Frist: 29.10.2026, 01:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Der öffentliche Auftraggeber ist berechtigt, in der Auftragsbekanntmachung oder den Vergabeunterlagen festzulegen, dass er keine Unterlagen nachfordern wird. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Dies gilt nicht für Preisangaben, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen. Die Unterlagen sind vom Bewerber oder Bieter nach Aufforderung durch den öffentlichen Auftraggeber innerhalb einer von diesem festzulegenden angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vorzulegen.