Anlage zum Ätzen in der Fluorwasserstoff-Gasphase
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 15.06.2026, 11:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 10.06.2026
- CPV-Codes
- Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (42990000)
- Bekanntmachung
- vergabe.fraunhofer.de
- Bekanntmachungsnummer
- 396543-2026
- Verfahrensnummer
- 9975b43e-2e64-41e1-91b7-a2b9f1061031
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Anlage zum Ätzen in der Fluorwasserstoff-Gasphase; HF steht für Fluorwasserstoff. Die Leistung ist der Region Dresden (NUTS-Code DED21) zugeordnet und hat eine vorgesehene Dauer von 210 Tagen. Angebote müssen bis zum 15. Juni 2026, 09:00 Uhr, eingereicht werden.
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Leistungsbeschreibung
PR1209440-2480-W HF-Gas Phase Etching Tool
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · HF-Gas Phase Etching Tool - PR1209440-2480-W
HF-Gas Phase Etching Tool
Frist: 15.06.2026, 04:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. Siehe Vergabeunterlagen
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Technische Aussführung
- 60 %
- Preis
- 40 %
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Zum UrsprungsportalAnforderungen
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. Siehe Vergabeunterlagen
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 22.07.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 506721-2026
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