Beschaffung einer CMP-Anlage für die Halbleiterforschung

Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen

Jena · Offen · Frist 13.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.

UHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition

Garching · Offen · Frist 05.10.2026

Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter

Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026

Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.

Lieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung

Heidelberg · Offen · Frist 05.10.2026

Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.

Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge

Offen · Frist 06.10.2026

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie

Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026

Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.

Beschaffung von Wasserstoffperoxid für das Polieren metallischer Oberflächen

Offen · Frist 21.09.2026

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Wasserstoffperoxid (H₂O₂) für den CMP-Prozess (chemisch-mechanisches Planarisieren) zum Polieren metallischer Oberflächen. Die Ausschreibung betrifft ein Los und ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 21. September 2026 um 10:00 Uhr MESZ.

Lieferung und Inbetriebnahme eines Drahtbondautomaten als Tischgerät

Ilmenau · Offen · Frist 27.10.2026

Die Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen und Zentrale Vergabestelle, beschafft einen flexibel einsetzbaren Drahtbondautomaten oder Drahtbondhalbautomaten als Tischgerät. Das Gerät soll für eine präzise und zukunftssichere Elektronikfertigung in Forschung, Lehre und studentischen Projekten eingesetzt werden; zum Auftrag gehören Lieferung und Inbetriebnahme in Ilmenau. Angebote müssen bis zum 27. Oktober 2026 um 08:29 Uhr eingereicht werden.

Lieferung und Installation einer Anlage zur Züchtung von Fluorid-Einkristallen

Berlin · Offen · Frist 29.09.2026

Der Forschungsverbund Berlin e. V. beschafft eine Czochralski-Züchtungsanlage zur Herstellung von Fluorid-Einkristallen aus der Schmelze. Zum Auftrag gehören die Lieferung bis zum Verwendungsort, Installation, Inbetriebnahme, Dokumentation, Werks- und Endabnahme sowie Störungsservice; die Anlage soll Kristalle bis 100 mm Durchmesser und 5 kg Gewicht erzeugen können. Der Leistungsort liegt in Berlin, die Laufzeit beträgt 360 Tage; Angebote müssen bis zum 29. September 2026, 07:00 Uhr, eingereicht werden.

Auf- und Durchlichtmikroskop mit Zubehör, Kamera und Software

Offen · Frist 23.09.2026

Die Technische Universität Chemnitz beschafft ein Mikroskop zur lichtmikroskopischen Untersuchung metallografisch präparierter Proben und zur Dokumentation der Probenherstellung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM). Zum Lieferumfang gehören außerdem Zubehör, eine Kamera und Software. Die Leistung ist in Chemnitz zu erbringen und soll bis zum 15. Januar 2027 ausgeführt werden; Angebote müssen bis zum 23. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.

Halbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern

Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 13.10.2026

Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.

Mechanische Oberflächenanalyseplattform für Polymerforschung

Berlin · Offen · Frist 31.12.2037

Das Helmholtz-Institut für Polymere in Energieanwendungen Jena (HIPOLE Jena) beschafft eine mechanische Oberflächenanalyseplattform zur Untersuchung von Materialien und Beschichtungen. Der Schwerpunkt liegt auf der Charakterisierung von selbstheilenden Polymeren für Anwendungen in Energiespeicherung und Photovoltaik. Es wird 1 Einheit gemäß technischer Spezifikation vergeben. Das Zuschlagskriterium ist allein der Preis.

Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik

München · Offen · Frist 23.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.

Lieferung und Montage von Labortechnik für Forschungsneubau in Köthen

Magdeburg · Offen · Frist 01.10.2026

Das Amt für Immobilien- und Baumanagement Magdeburg, Zentraleinheit Vergabe, beschafft für die Hochschule Anhalt am Standort Köthen die Lieferung und Montage von Labortechnik und -ausstattung. Der Forschungsneubau „Interdisziplinäres Forschungszentrum für eine nachhaltige Lebensmittelproduktion“ (InFonaL) umfasst Labore auf drei Geschossen, darunter chemische Labore, einen Sensorikbereich mit Vorbereitungsküche und Verkostungstisch für neun Personen sowie einen Hygienebereich mit Edelstahlmöblierung. Vorgesehen sind unter anderem 19 Tischabzüge, sechs begehbare Abzüge, ein beidseitig begehbarer Abzug, 56 Punktabsaugungen und fünf Sicherheitswerkbänke; Angebote müssen bis zum 1. Oktober 2026 um 9:00 Uhr deutscher Zeit eingereicht werden.

Photolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm

München · Offen · Frist 05.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.

Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage

Berlin · Offen

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin beschafft im Rahmen einer Vereinbarung mit einem Unternehmen eine TEOS-basierte Zusatzkammer des Typs PP100PECVD für eine vorhandene Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage. TEOS steht für Tetraethylorthosilikat; PECVD bezeichnet die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung. Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von 1.440 Tagen und betrifft den Standort Berlin.

Beschaffung eines 2D-Röntgenmikroskops zur zerstörungsfreien Bauteilprüfung

München · Offen · Frist 12.10.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein 2D-Röntgenmikroskop zur zerstörungsfreien Prüfung von kleinen Bauteilen bis hin zu mittelgroßen Baugruppen. Das System soll insbesondere eingebettete Schaltungen mit Strukturen im niedrigen einstelligen Mikrometerbereich sowie Baugruppen der Leistungselektronik untersuchen können; vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts. Die Ausschreibung ist dem Regionalcode DE300 zugeordnet, und Angebote können bis zum 12. Oktober 2026, 09:00 Uhr, eingereicht werden.

Lieferung und Aufbau eines Protonentauschreaktions-Massenspektrometers

Gießen · Offen · Frist 06.10.2026

Die Justus-Liebig-Universität Gießen beschafft ein Protonentauschreaktions-Massenspektrometer (PTR-MS) zur Echtzeitanalyse flüchtiger Verbindungen. Der Auftrag umfasst die Lieferung und den betriebsbereiten Aufbau des Geräts in Gießen, Deutschland. Die Ausführungsdauer beträgt 180 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden.

Kompakte Hochvakuum-PVD-Anlage für funktionelle Dünnschichten

39106 Magdeburg · Offen · Frist 21.09.2026

Die Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg beschafft eine kompakte Hochvakuum-Anlage zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) mittels Magnetron-Sputtern für die Herstellung funktioneller Dünnschichten. Der geschätzte Auftragswert beträgt 107.600 Euro netto; Leistungsort ist Magdeburg. Angebote müssen bis zum 21. September 2026, 23:59 Uhr, elektronisch eingereicht werden.

Hochdurchsatzfähiges kontaktloses Mikrodispensiersystem für Sensorchips

München · Offen · Frist 28.09.2026

Die Fraunhofer-Gesellschaft, vertreten durch den Einkauf B12 in München, beschafft ein hochdurchsatzfähiges, kontaktlos arbeitendes Mikrodispensiersystem zur präzisen Applikation kleinster Flüssigkeitsvolumina auf planare Substrate, insbesondere photonisch integrierte Sensorchips und Sensorarrays. Das System soll zur Entwicklung und reproduzierbaren Durchführung von Biofunktionalisierungsprozessen auf Sensorchips aus Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumdioxid (SiO₂) eingesetzt werden; die Vertragslaufzeit beträgt 360 Tage, die Angebotsfrist endet am 28. September 2026 um 08:00 Uhr.