Lieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung

Status
Offen
Angebotsfrist
05.10.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Universität HeidelbergProfil ansehen
Erfüllungsregion
Baden-Württemberg, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
27.08.2026
Bekanntmachungsnummer
593298-2026
Verfahrensnummer
78eceae5-a1b9-4dad-af29-f5dd2848df64
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

    Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

    Frist: 05.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben. Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln. Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0001 · Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis
100 %

Vergabeunterlagen

2 Dateien · geladen 27.08.2026
01_Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP.pdfFormular793 KBKlicken zum Anzeigen
02_Leistungsverzeichnis und Bewertung_Uni-HD.2026.642.xlsxLVLeistungsverzeichnis29 KBKlicken zum Anzeigen

Anforderungen

Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben. Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln. Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 27.08.2026BekanntmachungBekanntmachung 18901
Vergleichbare Verfahren261vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag99 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 14 Vergaben

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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
TFThermo Fisher Scientific GmbHDreieich7001.09.2026696 Tsd. €steigend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn4010.07.2026 - steigend
SDShimadzu Deutschland GmbHDuisburg3003.09.2026136 Tsd. €steigend
S&STOE & Cie GmbHDarmstadt3028.08.2026674 Tsd. €steigend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3028.08.20261,1 Mio. €steigend
BDBruker Daltonics GmbH & Co. KGBremen3015.07.2026265 Tsd. €steigend
LCLight Conversion UABVilnius2015.09.2026356 Tsd. €steigend
XSXenocs SASGrenoble2014.09.2026714 Tsd. €steigend
ATAgilent Technologies Deutschland GmbHWaldbronn2027.08.2026292 Tsd. €steigend
ACAccretechMünchen2025.08.2026 - steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (54) · Nordrhein-Westfalen (41) · Baden-Württemberg (34) · Bayern (17) · Sachsen-Anhalt (17) · Niedersachsen (16)

Laufende Rahmenverträge

Baden-Württemberg

Universität Heidelberg

Aktiv seit 2023 · 69 Verfahren
Profil öffnen
Verfahren pro Jahr24Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 69 seit 2023Spitze KW 23 · 2024 · 3

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
BIBechtle IT-Systemhaus Neckarsulm203.08.202620 Mio. €
OGOMNILAB-LABORZENTRUM GmbH & Co. KG212.06.2026909 Tsd. €
FSFisher Scientific GmbH212.12.2025750 Tsd. €
ASasknet Solutions AG204.11.2025303 Tsd. €
SCSalerno Catering225.03.20251,4 Mio. €
SASigma Aldrich Chemie GmbH224.07.2024270 Tsd. €
PWPaypr Work131.08.2026 -
SGsysGen GmbH107.08.202613,2 Mio. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Rahmenvereinbarung für energieeffiziente Ultratiefkühlschränke bis -80 °CFisher Scientific GmbH +1 weitereUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    1,2 Mio. €
    12.12.2025noch 3 Monate12.12.2026
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung, Implementierung und Wartung von Dormakaba-Exos-9300-ZutrittskontrollsystemenAlarm und Sicherheitstechnik Lohrer GmbHUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    689 Tsd. €
    06.06.2025noch 9 Monate06.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvereinbarung für GPU-Server, NVIDIA DGX-/HGX-Systeme und InfiniBand-SwitchesysGen GmbH +1 weitereUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    13,2 Mio. €
    07.08.2026noch 11 Monate07.08.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • IT-Unterstützungsleistungen und Upgrades für die Software xSuite InvoicexSuite GroupUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    164 Tsd. €
    31.07.2025noch 14 Monate30.11.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvereinbarung zur Lieferung von Chemikalien für die Universität HeidelbergFisher Scientific GmbH +1 weitereUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    300 Tsd. €
    16.07.2024noch 22 Monate16.07.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Laborverbrauchsmaterialien für die Universität HeidelbergSarstedt AG & Co. KGUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    700 Tsd. €
    19.07.2024noch 22 Monate19.07.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Laborverbrauchsmaterialien des Herstellers Greiner Bio-OneGreiner Bio One GmbHUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    512 Tsd. €
    23.07.2024noch 22 Monate23.07.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung von Bürodrehstühlen und passenden BesprechungsstühlenArnold BüroeinrichtungenUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    384 Tsd. €
    24.07.2024noch 22 Monate24.07.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvereinbarung zur Lieferung von Chemikalien und LaborverbrauchsmaterialienSigma Aldrich Chemie GmbHUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    240 Tsd. €
    24.07.2024noch 22 Monate24.07.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung energieeffizienter Ultratiefkühlschränke und UltratiefkühltruhenAuftragnehmer nicht veröffentlichtUniversität HeidelbergHeidelberg, Deutschland
    19.08.2024noch 23 Monate19.08.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
17.09.2026Erweiterung eines Hochleistungsrechners um einen GPU8-Server und InfrastrukturkomponentenOffen - -
27.08.2026Lieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur DünnschichtabscheidungOffen - -
26.08.2026Software-Wartung VMware vSphere Foundation (Subscription)Offen - -
16.08.2026Generalplanungsleistungen für den Neubau eines Forschungs- und LaborgebäudesOffen - -
04.08.2026Messtechnische Bestimmung der Luftwechselraten in LaboratorienOffen - -
30.07.2026Lieferung eines 120 kV Hochgeschwindigkeits-TransmissionselektronenmikroskopsVergeben - -
15.07.2026IBM-SPSS-Softwarelizenzen inklusive Amos mit Subscription und SupportVergebenPWPaypr Work -
15.07.2026Lieferung und Installation eines RöntgenabsorptionsspektrometersOffen - -
24.06.2026Fahrdienst für Post-, Paket- und Transportleistungen der Universität HeidelbergVergebenPDP&K Dienstleistung GmbH424 Tsd. €
22.06.2026Rahmenvereinbarung für GPU-Server, NVIDIA DGX-/HGX-Systeme und InfiniBand-SwitcheVergebenSGsysGen GmbH +1 weitere13,2 Mio. €
11.06.2026Beschaffung einer vollautomatischen RoboOrganoid-Plattform für die ForschungVergeben - 1,8 Mio. €
04.06.2026Rabatt-Rahmenvereinbarung für Netzwerkhardware, Lizenzen und DienstleistungenVergebenBIBechtle IT-Systemhaus Neckarsulm30 Mio. €
22.05.2026Anmietung von zwei Digitaldruckmaschinen für Schwarzweiß- und FarbdruckVergebenRDRicoh Deutschland GmbH -
20.05.2026Rahmenvereinbarung für Greenbone-Hardware, -Software und IT-SicherheitsdiensteVergebenGNGreenbone Networks GmbH6 Mio. €
27.04.2026Projektsteuerungsleistungen für Neubauvorhaben HI-TAC und CMRAVergeben - -
27.04.2026Rahmenvereinbarung für Identity- und Access-Management-DienstleistungenVergeben - -
24.04.2026Femtosekundenlaser-Mikrobearbeitungssystem für MaterialbearbeitungVergeben - -
16.04.2026Pulsrohrgekühlter 3He/4He-Verdünnungskryostat mit zwei VerdünnungseinheitenVergeben - -
15.04.2026Rahmenvereinbarung für qualifiziertes Zeitarbeitspersonal in der UniversitätsverwaltungVergebenIGIMPACT GmbH Unternehmen für Zeitarbeit und private Arbeitsvermittlung +1 weitere180 Tsd. €
09.04.2026Grundversorgung von Versuchsmäusen in etwa 4.000 Käfigen pro WocheVergebenSSSIS Saar Gebäudeservice GmbH1,2 Mio. €
07.04.2026Lieferung und Installation von Laborausstattung für Zellkulturlabore und SpülküchenVergebenLCLMS Consult GmbH & Co.KG +3 weitere618 Tsd. €
26.03.2026Durchführung von Prüfungen elektrischer BetriebsmittelVergebenOPOMS Prüfservice +1 weitere1 €
23.03.2026Sicherheits- und Gesundheitsschutzkoordination (SiGeKo) für Forschungsneubauten Helix und CometVergebenFSFuchs SiGeKo & Arbeitssicherheit GmbH47 Tsd. €
05.02.2026Projektsteuerungsleistungen für die Bauvorhaben HI-TAC und CMRAVergeben - -
02.02.2026Cisco-Hard- und Software, Dienstleistungen sowie zusätzlicher SupportVergeben - 39 Mio. €

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