Fehlerinspektionssystem für Wafer

Status
Vergeben
Angebotsfrist
02.02.2026, 09:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Profil ansehen
Erfüllungsregion
Sachsen, Deutschland
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
09.01.2026
Bekanntmachungsnummer
14027-2026
Verfahrensnummer
ff93ac13-b2b3-465b-b6a2-6940c7ca67bf
CPV-Codes
42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

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Kurzbeschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein spezialisiertes Fehlerinspektionssystem zur Erkennung und Klassifizierung von Partikeln und Musterfehlern auf Wafern. Das Gerät muss Substrate mit einer Dicke zwischen 390 µm und 1200 µm verarbeiten können. Es handelt sich um eine Einzelbeschaffung für den Standort Dresden.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) - PR948311-2480-P

    1 Stück Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) Diese Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein Fehlerinspektionssystem, das für die Erkennung, Identifizierung und Klassifizierung von Partikeln und Musterfehlern auf strukturierten und unstrukturierten Wafern entwickelt wurde. Das Gerät kann Substrate mit einer variablen Dicke von etwa 390 µm bis 1200 µm aufnehmen und bietet somit Flexibilität für verschiedene Wafertypen und Anwendungen. Das Inspektionssystem verfügt über eine Empfindlichkeit von bis zu 200 nm und ermöglicht so die Erkennung selbst kleinster Defekte, die die Leistung des Wafers beeinträchtigen könnten. Das System ist für den Halbleiterfertigungsprozess optimiert und speziell auf 200-mm-MEMS-Wafer in einer CMOS-kompatiblen Reinraumumgebung ausgerichtet. Optionale Positionen: 1.7 Allgemeine Anforderungen Fähigkeit zur Verarbeitung von 300-mm-Wafern ja/nein 3.2 Prozessspezifikation Fähigkeit zur separaten BF/DF-Beleuchtung ja/nein 3.3 Prozessspezifikation Fähigkeit zur Zweikanalinspektion (BF/DF) ja/nein 3.7 Prozessspezifikation Das Werkzeug unterstützt die Erstellung von waferlosen Rezepten ja/nein 3.29 Prozessspezifikation Fähigkeit zur Erzeugung eines vollständigen Waferbildes ja/nein 4.2 Kontaminationsgrad Kontaminationsgrad für Nichtedelmetalle Al, Ti ≤ 50,0*E10 at/cm², alle anderen Metalle ≤ 5,0*E10 at/cm²; ja/nein 4.4 Kontaminationsgrad Kontaminationsgrad für Edelmetalle (Ag, Au, Pd, Pt, Ru) Bestätigung der Edelmetallkonzentration < 0,05*E10 at/cm2 (< LOD); ja/nein 5.5 Kassetten-/Wafer-Spezifikationen Option zur Handhabung von Wafern mit hoher Wölbung < ± 200 µm ja/nein

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) - PR948311-2480-P

Technische Ausführung
55 %
Lieferzeit
10 %
Preis
35 %

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 03.08.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 534552-2026
Vergleichbare Verfahren237vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag92 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 13 Vergaben

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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn5510.07.2026 - steigend
ASATV Systems GmbHDresden3208.09.2026107 Tsd. €steigend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3018.08.2026809 Tsd. €steigend
TGTESCAN GmbHDortmund3021.07.20261,3 Mio. €steigend
AUAP und S International GmbHDonaueschingen2201.09.2026 - steigend
ACAccretechMünchen2225.08.2026 - steigend
JKJP Kummer Semiconductor Technology GmbHAugsburg2229.06.2026 - steigend
KTKeysight TechnologiesBöblingen2223.06.2026 - steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2103.08.2026 - steigend
KCKLA CorporationMilpitas, CA2120.07.2026 - steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (74) · Baden-Württemberg (31) · Nordrhein-Westfalen (26) · Thüringen (21) · Bayern (20) · Berlin (10)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit
  • Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer KomponentenMeißner Technik Müllenbach GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland
    -1 €
    03.08.2026noch 46 Monate02.08.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Aktiv seit 2023 · 250 Verfahren
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Verfahren pro Jahr87Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 250 seit 2023Spitze KW 19 · 2026 · 13

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
EGEV Group E. Thallner GmbH510.07.2026 -
KTKeysight Technologies320.08.2026 -
NGNTT Germany AG & Co. KG311.08.2026 -
ASATV Systems GmbH208.09.2026 -
AUAP und S International GmbH201.09.2026 -
ACAccretech225.08.2026 -
HIHKL Ingenieurgesellschaft mbH224.08.2026760 Tsd. €
VFVebego Facility Services B.V. & Co. KG217.07.2026 -

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Durchführung von Mitarbeitendenbefragungen für die Fraunhofer-GesellschaftSyspons GmbH +2 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    20.01.2025noch 4 Monate14.01.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Zeitarbeitskräfte in IT, Verwaltung sowie Facility Management und Servicetop itservices AG +8 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    11.03.2025noch 6 Monate14.03.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Digitalmarketing-Dienstleistungen für die AcademyDACHCOM.DE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    23.05.2025noch 6 Monate31.03.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Arbeitsplatz- und MultifunktionsdruckerKonica Minolta Business Solutions Deutschland GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    16.06.2025noch 7 Monate30.04.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Executive-Search-Dienstleistungen für Führungskräfte in IT und VerwaltungKA Resources Recruitment SL +1 weitereFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    02.06.2025noch 8 Monate31.05.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvertrag für Beratung zur Technologievermarktung und -verwertungLZE GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    03.06.2024noch 8 Monate31.05.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fachplanung Elektrotechnik für Sanierungs- und UmbauprojekteREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    400 Tsd. €
    31.07.2025noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Qualifizierungsprogramm für Führungskräfte bei der Fraunhofer-GesellschaftAuftragnehmer nicht veröffentlichtFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    06.11.2023noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Wissenschaftlich-technische Unterstützung zur Zuverlässigkeit mikroelektronischer Komponenten und SystemeBerliner Nanotest und Design GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    11.07.2025noch 10 Monate11.07.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fachplanungsleistungen für Heizungs-, Lüftungs-, Sanitär- und Klimatechnik im BestandREHATEC Planungsgesellschaft mbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland
    800 Tsd. €
    31.07.2025noch 10 Monate31.07.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

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