Erweiterung einer galvanischen Abscheideanlage für 150- und 200-mm-Wafer

Status
Vergeben
Angebotsfrist
Nicht angegeben
Geschätzter Wert
Nicht angegeben
Lose
1
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Verhandlungsverfahren ohne Aufruf
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
27.10.2026
CPV-Codes
Thermostatische Bäder und Zubehör (42943000)
Bekanntmachung
ted.europa.eu
Bekanntmachungsnummer
742296-2026
Verfahrensnummer
73a625e7-6656-442a-82c4-0cd867b32f16

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut in Berlin beschafft die Erweiterung einer bestehenden galvanischen Abscheideanlage des Typs Solstice S8. Dazu gehören zusätzliche Prozessmodule und deren Integration in die Bestandsanlage, damit Wafer – dünne Scheiben aus Halbleitermaterial – mit einem Durchmesser von 150 oder 200 Millimetern verarbeitet werden können.

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Leistungsbeschreibung

Erweiterung einer bestehenden galvanischen Abscheideanlage (Solstice S8) zur Verarbeitung von 150/200 mm Wafern inkl. Nachrüstung zusätzlicher Prozessmodule und Integration in die Bestandsanlage. Ex-Ante-Bekanntmachung: 707fcdb2-d7ba-4abd-a69d-39a75

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · APECS 04.1 Extension of galvanic equipment

    1 LE

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LOT-0000 · APECS 04.1 Extension of galvanic equipment

Preiskriterium
100 %

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