Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik

Status
Vergeben
Angebotsfrist
23.09.2026, 11:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Wert
Nicht angegeben
Lose
1
Erfüllungsregion
Baden-Württemberg, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
24.08.2026
CPV-Codes
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (42990000)
Bekanntmachung
vergabe.fraunhofer.de
Bekanntmachungsnummer
583241-2026
Verfahrensnummer
07d5f8ae-fb66-4891-a6f8-a839f96af77e

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Kurzbeschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.

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Leistungsbeschreibung

Secondary ion mass spectrometer (SIMS)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Secondary ion mass spectrometer (SIMS) - PR1195891-2050-W

    1 pc. The objective is to procure a highly sensitive SIMS instrument for depth‑profiled chemical analysis of semiconductor materials and structures, offering high depth resolution and high mass resolving power. The system shall enable precise dopant and impurity profiling, as well as accurate determination of layer thickness and homogeneity, with a focus on characterizing advanced III‑V and diamond‑based device structures and epitaxial layers, including 150 mm substrates, to support process development, quality control and optimization at Fraunhofer IAF.

    Frist: 23.09.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and discretionary grounds for exclusion laid down in national law shall apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Secondary ion mass spectrometer (SIMS) - PR1195891-2050-W

Technik
65 %
Preis
35 %

Vergabeunterlagen

14 Dateien laut Portal · Stand 08.09.2026
Aufforderung zur Angebotsabgabe EU.pdfAnschreiben84 KB
B_001_VergabebedingungenAwardConditions PR1195891.pdfSonstiges165 KB
B_002_KfmBedingungenCommercialTerms PR1195891.pdfSonstiges141 KB
B_003_ZuschlagskriterienAwardCriteria PR1195891.pdfSonstiges63 KB
B_004_AEB.pdfSonstiges756 KB
B_006_BankbürgschaftBankguarantee.pdfSonstiges196 KB
C_001_Technische_Details_BieterName PR1195891.xlsxSonstiges164 KB
C_002_Eigenerklärungen-Selfdeclaration.pdfFormular498 KB
C_003_Export Classification Request Form.pdfSonstiges211 KB
C_004_Eigenerklärung-Selfdeclaration - (EU) Nr. 833-2014.pdfFormular163 KB
Fragebogen zur Eignungspruefung.pdfSonstiges8 KB
Invitation to bid (EU wide tender).pdfSonstiges84 KB
Leistungsverzeichnis.pdfLVLeistungsverzeichnis11 KB
LV_Technische_Detailbeschreibung_PR1195891_Version_8.pdfLVLeistungsverzeichnis144 KB

Anforderungen

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and discretionary grounds for exclusion laid down in national law shall apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 29.10.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 751866-2026

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