Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 23.09.2026, 11:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Baden-Württemberg, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 24.08.2026
- CPV-Codes
- Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (42990000)
- Bekanntmachung
- vergabe.fraunhofer.de
- Bekanntmachungsnummer
- 583241-2026
- Verfahrensnummer
- 07d5f8ae-fb66-4891-a6f8-a839f96af77e
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.
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Leistungsbeschreibung
Secondary ion mass spectrometer (SIMS)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Secondary ion mass spectrometer (SIMS) - PR1195891-2050-W
1 pc. The objective is to procure a highly sensitive SIMS instrument for depth‑profiled chemical analysis of semiconductor materials and structures, offering high depth resolution and high mass resolving power. The system shall enable precise dopant and impurity profiling, as well as accurate determination of layer thickness and homogeneity, with a focus on characterizing advanced III‑V and diamond‑based device structures and epitaxial layers, including 150 mm substrates, to support process development, quality control and optimization at Fraunhofer IAF.
Frist: 23.09.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and discretionary grounds for exclusion laid down in national law shall apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0000 · Secondary ion mass spectrometer (SIMS) - PR1195891-2050-W
- Technik
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
14 Dateien laut Portal · Stand 08.09.2026| Anschreiben | 84 KB | |
| Sonstiges | 165 KB | |
| Sonstiges | 141 KB | |
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| Sonstiges | 756 KB | |
| Sonstiges | 196 KB | |
| Sonstiges | 164 KB | |
| Formular | 498 KB | |
| Sonstiges | 211 KB | |
| Formular | 163 KB | |
| Sonstiges | 8 KB | |
| Sonstiges | 84 KB | |
| Leistungsverzeichnis | 11 KB | |
| Leistungsverzeichnis | 144 KB |
Anforderungen
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and discretionary grounds for exclusion laid down in national law shall apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 29.10.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 751866-2026
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