Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 13.10.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Friedrich-Schiller-Universität JenaProfil ansehen
- Erfüllungsregion
- Thüringen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 08.09.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 618476-2026
- Verfahrensnummer
- 09517d2a-ecf6-4841-b1fd-8bf0838fea64
- CPV-Codes
- 38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Passt diese Ausschreibung zu deinem Unternehmen?
Die KI prüft sie gegen deine eigenen Kriterien und zeigt dir Punkt für Punkt, was passt und wo es hakt.
Kurzbeschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Chemisch-mechanische Poliermaschine
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.
Frist: 13.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).
Vergabeunterlagen
12 Dateien laut Portal · Stand 08.09.2026 _Hinweise von der e-Vergabe.txt | Sonstiges | 1 KB |
| Anlage 1 - Allgemeine Rahmenbedingungen.pdf | Sonstiges | 264 KB |
| Anlage 2 - Leistungsverzeichnis.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 251 KB |
| Anlage 3 - ZVB.pdf | Sonstiges | 227 KB |
| Anlage 4.1 - Bietererklärung.pdf | Formular | 15 KB |
| Anlage 4.2 - Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren.pdf | Formular | 107 KB |
| Anlage 5 - Eigenerklärung zu § 123 GWB.pdf | Formular | 510 KB |
| Anlage 6 - Eigenerklärung zu § 124 GWB.pdf | Formular | 494 KB |
| Anlage 7 - Eigenerklaerung_staatliche_Auftraggeber.pdf | Formular | 1,3 MB |
| Anlage 8 - Fremdfirmenordnung Universität Jena.pdf | Sonstiges | 2,3 MB |
| Aufforderungssschreiben.pdf | Sonstiges | 222 KB |
| Erlaeuterungen zur Anlage 7.pdf | Sonstiges | 162 KB |
Anforderungen
Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).
Änderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
Ähnliche Verfahren, die du verpasst hast
Frist in den letzten 12 Monaten abgelaufen, nach Ähnlichkeit| Titel | |||
|---|---|---|---|
| CMP-System für 100/150-mm-Wafer mit chemisch-mechanischer PoliturFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München, Deutschland | 19.06.2026 | - |
| CMP-Anlage zur chemisch-mechanischen Polierung für 6-Zoll-SubstrateUniversität Siegen | Siegen, Deutschland | 22.05.2026 | - |
| Ein-Station-Läpp- und Poliersystem mit Dosier-, Bearbeitungs- und MesszubehörFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena, Deutschland | 30.06.2026 | - |
| Lieferung eines Systems für chemisch-mechanisches Polieren (CMP)Physikalisch - Technische Bundesanstalt Braunschweig | Braunschweig, Deutschland | 18.06.2026 | - |
| Vollautomatisches Plasmaätzsystem mit Hauptgerät und Prozesskammern für 300-mm-WaferFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München, Deutschland | 15.07.2026 | - |
| Laserlithografie-System für ZweiphotonenpolymerisationFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena, Deutschland | 14.04.2026 | - |
| Halbautomatisches Wafer-Testsystem für elektrische FeldpolarisationFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena, Deutschland | 10.04.2026 | - |
| Beschaffung einer DRIE/RIE-Plasmaätzanlage für die HalbleiterforschungWestsächsische Hochschule Zwickau | Zwickau, Deutschland | 10.07.2026 | - |
Wer gewinnt solche Vergaben?
Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand| Trend | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| TFThermo Fisher Scientific GmbH | Dreieich | 4 | 0 | 17.09.2026 | 495 Tsd. € | steigend |
| ASATV Systems GmbH | Dresden | 3 | 1 | 08.09.2026 | 107 Tsd. € | steigend |
| CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH | Oberkochen | 3 | 0 | 18.08.2026 | 809 Tsd. € | steigend |
| EGEV Group E. Thallner GmbH | Neuhaus am Inn | 3 | 0 | 10.07.2026 | - | steigend |
| FDFEI Deutschland GmbH | Dreieich | 3 | 0 | 10.07.2026 | 2,9 Mio. € | steigend |
| HIHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | Heidelberg | 2 | 1 | 25.08.2026 | 95 Tsd. € | steigend |
| XSXenocs SAS | Grenoble | 2 | 0 | 14.09.2026 | 714 Tsd. € | steigend |
| AUAP und S International GmbH | Donaueschingen | 2 | 0 | 01.09.2026 | - | steigend |
| ACAccretech | München | 2 | 0 | 25.08.2026 | - | steigend |
| VGVeeco GmbH | Aschheim | 2 | 0 | 24.08.2026 | - | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Sachsen (54) · Thüringen (45) · Nordrhein-Westfalen (43) · Baden-Württemberg (26) · Bayern (23) · Sachsen-Anhalt (16)| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München | 50 | 28.08.2026 |
| FJFriedrich-Schiller-Universität Jena | Jena | 32 | 30.06.2026 |
| FEFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München | 13 | 18.09.2026 |
| FJForschungszentrum Jülich GmbH | Jülich | 9 | 09.09.2026 |
| IGIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Frankfurt (Oder) | 5 | 25.06.2026 |
| FJFriedrich-Schiller-Universität Jena | - | 4 | 31.08.2026 |
| UDUniversität Duisburg-Essen | Duisburg | 4 | 26.08.2026 |
| TUTechnische Universität Chemnitz | Chemnitz | 4 | 08.05.2026 |
Laufende Rahmenverträge
Thüringen- Verbrauchsmaterialien und Chemikalien für die organische und anorganische UmweltanalytikThermo Fisher Scientific GmbH +3 weitereThüringer Landesamt für Umwelt, Bergbau und NaturschutzJena, Deutschland463 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet30.05.2025noch 27 Monate31.12.2028
- Technische Plattform und Reagenzien für molekularbiologische Infektionsdiagnostikaltona Diagnostics GmbHUniversitätsklinikum JenaJena, Deutschland0,01 €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet01.06.2026noch 56 Monate01.06.2031
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Aktiv seit 2023 · 62 VerfahrenLeistungsbereiche
Top 5 nach VerfahrenErfüllungsorte
nach VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche| BGBechtle GmbH | 3 | 18.08.2026 | 3,7 Mio. € |
| SYSysGen | 1 | 21.08.2026 | 150 Tsd. € |
| SYsysGen | 1 | 21.08.2026 | 291 Tsd. € |
| WEWeinrich | 1 | 20.08.2026 | 3,1 Mio. € |
| XLX-Celeprint Limited | 1 | 19.08.2026 | 249 Tsd. € |
| ASAmplitude SAS | 1 | 18.08.2026 | 200 Tsd. € |
| SSSeibert Solutions GmbH | 1 | 31.07.2026 | 305 Tsd. € |
| QGQUBIG GmbH | 1 | 27.07.2026 | 91 Tsd. € |
Laufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem Vertragsende- Rahmenvertrag zur Lieferung von NotebooksBechtle GmbHFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland10 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet30.10.2024noch 3 Monate31.12.2026
- Rahmenvertrag zur Entsorgung gefährlicher Abfälle und Lieferung von LeergutGlitzner Entsorgung GmbHFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland600 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet08.07.2025noch 4 Monate31.01.2027
- Unterhaltsreinigung im Jentower der Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland199 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet27.11.2023noch 15 Monate31.12.2027
- Unterhaltsreinigung im Microcerse Center JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, Deutschland59 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet27.11.2023noch 15 Monate31.12.2027
- Unterhalts- und Glasreinigung für die Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
- Unterhalts- und Glasreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
- Unterhalts- und Glasreinigung für Gebäude der Friedrich-Schiller-Universität JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
- Glas- und Rahmenreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
- Unterhalts- und Glasreinigung für Universitätsgebäude in JenaAuftragnehmer nicht veröffentlichtFriedrich-Schiller-Universität JenaJena, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.08.2024noch 28 Monate31.01.2029
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 18.09.2026 | Spektral aufgelöster Infrarot-Zeilendetektor für 1050–2200 nm | Offen | - | - |
| 08.09.2026 | Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen | Offen | - | - |
| 07.09.2026 | Multifunktionales FPGA-basiertes Steuerungs-, Mess- und Signalverarbeitungsinstrument | Offen | - | - |
| 30.06.2026 | Automatische Kultivierungs- und Charakterisierungs-Plattform für Bakterien | Vergeben | AJAnalytik Jena GmbH+Co. KG | 624 Tsd. € |
| 30.06.2026 | Entsorgungsleistungen für den Beutenberg Campus in Jena | Vergeben | RGREMONDIS GmbH & Co. KG | 162 Tsd. € |
| 26.06.2026 | Lieferung von drei HPE Alletra 4140 Storage-Knoten einschließlich Nebenleistungen | Vergeben | BGBechtle GmbH | 558 Tsd. € |
| 25.06.2026 | Beschaffung eines Ultrakurzpulslasers mit einer Wellenlänge von 1 μm | Vergeben | ASAmplitude SAS | 200 Tsd. € |
| 17.06.2026 | Managed Print Service für die Friedrich-Schiller-Universität Jena | Vergeben | WEWeinrich | 3,1 Mio. € |
| 17.06.2026 | Lieferung von neun Servern für hyperkonvergente Infrastruktur | Vergeben | BGBechtle GmbH | 447 Tsd. € |
| 16.06.2026 | Beschaffung einer Rechenpartition für Hochleistungsrechnen (HPC-Hardware) | Vergeben | SYSysGen | 150 Tsd. € |
| 16.06.2026 | Rechenpartition für Hochleistungsrechner (HPC-Hardware) | Vergeben | SYsysGen | 291 Tsd. € |
| 12.06.2026 | Schnelle, verlustarme elektrooptische Kristalle mit integrierten Treibern | Vergeben | QGQUBIG GmbH | 91 Tsd. € |
| 12.06.2026 | Supraleitendes Nanodraht-Einzelphotonen-Detektorsystem für Forschung und Lehre | Vergeben | SQSingle Quantum B.V | 163 Tsd. € |
| 09.06.2026 | Zeitaufgelöstes Konfokal-Fluoreszenzmikroskop für Forschungszwecke | Vergeben | PGPicoQuant GmbH | 436 Tsd. € |
| 05.06.2026 | Lieferung und Inbetriebnahme von Labor-Abfallbehältern | Vergeben | - | - |
| 04.06.2026 | Beschaffung von Atlassian-Produkten und -Abonnements | Vergeben | SSSeibert Solutions GmbH | 305 Tsd. € |
| 03.06.2026 | Wach- und Sicherheitsdienstleistungen für die Friedrich-Schiller-Universität Jena | Offen | - | - |
| 01.06.2026 | Kompaktes Micro-Transfer-Printing-System für mikro- und optoelektronische Bauelemente | Vergeben | XLX-Celeprint Limited | 249 Tsd. € |
| 28.05.2026 | Beschaffung und Lieferung von Labor-Transportwagen und Wannen | Vergeben | ATAZ TECH Solutions GbR | 7 Tsd. € |
| 28.05.2026 | Ein-Station-Läpp- und Poliersystem mit Dosier-, Bearbeitungs- und Messzubehör | Vergeben | SGStruers GmbH | 130 Tsd. € |
| 27.05.2026 | Femtosekunden-Laserpulskompressor als Multipasszellen-Kompressor | Vergeben | NGn2-Photonics GmbH | 95 Tsd. € |
| 22.05.2026 | Kompaktes maskenloses UV-Direktlithographie-System für Reinraumeinsatz | Vergeben | HIHeidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 191 Tsd. € |
| 18.05.2026 | Kryostat mit optischen Zugängen und magnetischem Feld | Vergeben | PSPASQAL SAS | 192 Tsd. € |
| 12.05.2026 | Beschaffung einer abstimmbaren Laserlichtquelle für das Nahinfrarot | Vergeben | - | - |
| 11.05.2026 | Faserpräparationstoolset für wissenschaftliche Labore | Vergeben | - | - |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
51 % ähnlichMechanische Oberflächenanalyseplattform für Polymerforschung
Berlin · Offen · Frist 31.12.2037
Das Helmholtz-Institut für Polymere in Energieanwendungen Jena (HIPOLE Jena) beschafft eine mechanische Oberflächenanalyseplattform zur Untersuchung von Materialien und Beschichtungen. Der Schwerpunkt liegt auf der Charakterisierung von selbstheilenden Polymeren für Anwendungen in Energiespeicherung und Photovoltaik. Es wird 1 Einheit gemäß technischer Spezifikation vergeben. Das Zuschlagskriterium ist allein der Preis.
47 % ähnlichUHV-Cluster-System für 8-Zoll-Wafer-Deposition
Garching · Offen · Frist 05.10.2026
Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23, beschafft ein UHV-Cluster-System zur Fertigung von supraleitenden Schaltkreisen auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst mehrere spezialisierte Kammern sowie eine Flipping-Station für die beidseitige Metallisierung. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit einer Angebotsfrist bis zum 5. Oktober 2026. Der geschätzte Auftragswert liegt im niedrigen einstelligen Millionenbereich.
39 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie
Waldheim · Offen · Frist 06.10.2026
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
39 % ähnlichAuf- und Durchlichtmikroskop mit Zubehör, Kamera und Software
Offen · Frist 23.09.2026
Die Technische Universität Chemnitz beschafft ein Mikroskop zur lichtmikroskopischen Untersuchung metallografisch präparierter Proben und zur Dokumentation der Probenherstellung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM). Zum Lieferumfang gehören außerdem Zubehör, eine Kamera und Software. Die Leistung ist in Chemnitz zu erbringen und soll bis zum 15. Januar 2027 ausgeführt werden; Angebote müssen bis zum 23. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.
37 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung
Heidelberg · Offen · Frist 05.10.2026
Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
36 % ähnlichBeschaffung von Wasserstoffperoxid für das Polieren metallischer Oberflächen
Offen · Frist 21.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Wasserstoffperoxid (H₂O₂) für den CMP-Prozess (chemisch-mechanisches Planarisieren) zum Polieren metallischer Oberflächen. Die Ausschreibung betrifft ein Los und ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 21. September 2026 um 10:00 Uhr MESZ.
36 % ähnlichKundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser
München · Offen · Frist 01.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
35 % ähnlichErneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter
Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
35 % ähnlichLieferung eines MPI-Tomographen für Proben bis 30 cm Durchmesser
Bonn · Offen
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V. (DFG) beschafft einen MPI-Tomographen, also ein System zur dreidimensionalen Bildgebung, für Proben mit bis zu 30 cm Durchmesser. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung eines Systems gemäß beigefügter Leistungsbeschreibung; die Beschaffung ist einem Auftrag in der Region mit dem NUTS-Code DE263 zugeordnet. Ein Zeitrahmen und ein geschätzter Auftragswert sind nicht angegeben.
35 % ähnlichPhotolumineszenz-Mapper für Wafer im Spektralbereich 800–2150 nm
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Messsystem zur kartierenden Untersuchung der Photolumineszenz von Halbleiterwafern. Das Gerät soll vollständige Wafer mit Durchmessern von 2 bis 6 Zoll (50 bis 150 Millimeter) erfassen und im Spektralbereich von 800 bis 2150 Nanometern messen können. Die vorgesehene Vertragsdauer beträgt 360 Tage; die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
35 % ähnlichHalbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern
Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 13.10.2026
Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.
34 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme eines Drahtbondautomaten als Tischgerät
Ilmenau · Offen · Frist 27.10.2026
Die Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen und Zentrale Vergabestelle, beschafft einen flexibel einsetzbaren Drahtbondautomaten oder Drahtbondhalbautomaten als Tischgerät. Das Gerät soll für eine präzise und zukunftssichere Elektronikfertigung in Forschung, Lehre und studentischen Projekten eingesetzt werden; zum Auftrag gehören Lieferung und Inbetriebnahme in Ilmenau. Angebote müssen bis zum 27. Oktober 2026 um 08:29 Uhr eingereicht werden.
32 % ähnlichKompakte durchstimmbare MWIR-Laserquelle für einen Inspektionsmessplatz
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine kompakte, durchstimmbare Infrarot-Lichtquelle für einen Inspektionsmessplatz. Sie soll zur spektralen Charakterisierung optischer Komponenten und Bauelemente wie photonisch integrierter Schaltungen und Beugungsgittern im mittleren Infrarot (MWIR) bei einer Wellenlänge von etwa 10 Mikrometern eingesetzt werden. Die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).
32 % ähnlichOptisches Profilometer
München · Offen · Frist 30.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein optisches Profilometer. Der Umfang beträgt ein Gerät; der Leistungsort ist der Region DE131 zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 30. September 2026 um 09:00 Uhr UTC. Den Zuschlag erhält ausschließlich das preisgünstigste Angebot.
32 % ähnlichComputergesteuerter Prüf- und Sortierautomat für Keramikprüfung
Dresden · Offen · Frist 25.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) in Dresden schreibt einen computergesteuerten Prüf- und Sortierautomaten aus. Das System soll optische Fehlererkennung und Klassifizierung von opaken und transluzenten Keramiken ermöglichen und dient der Unterstützung von Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sowie der Bauteilqualifizierung. Der geschätzte Wert beträgt etwa 200.000 Euro, die Lieferfrist ist auf 364 Tage festgesetzt und die Bewertung erfolgt zu gleichen Teilen nach Qualität und Preis.
32 % ähnlichLieferung eines wissenschaftlichen MPI-Instruments
Bonn · Offen
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. in Bonn beschafft ein System beziehungsweise Instrument, das in den Unterlagen als „MPI instrument“ bezeichnet wird. Die technischen Einzelheiten sind in der beigefügten Leistungsbeschreibung festgelegt; die Ausschreibung ist der Region Lübeck (NUTS-Code DEF03) zugeordnet. Ein Auftragswert und eine Frist sind nicht angegeben.
32 % ähnlichPolierpads für eine Mirra-Anlage zur Oxidpolitur von 8-Zoll-Wafern
Offen · Frist 02.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Polierpads für eine Mirra-Anlage zum Polieren von Oxidschichten auf 8-Zoll-Wafern. Die Ausschreibung ist der NUTS-Region DED (Sachsen) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026 um 10:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
31 % ähnlichMultifunktionales FPGA-basiertes Steuerungs-, Mess- und Signalverarbeitungsinstrument
Jena · Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein multifunktionales Steuerungs-, Mess- und Signalverarbeitungsinstrument auf Basis eines FPGAs (programmierbarer Logikbaustein). Vorgesehen ist die Lieferung eines Geräts, das die technischen Mindestanforderungen gemäß Anlage 2 erfüllt. Der Auftrag wird in Jena (Thüringen) vergeben; Angebote müssen bis zum 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr eingereicht werden.
31 % ähnlichSecondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) für Materialanalytik
München · Offen · Frist 23.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft (Standort München) beschafft ein hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) zur Tiefenprofilanalyse von Halbleitermaterialien. Das Gerät soll Dotier- und Verunreinigungsprofile mit hoher Tiefenauflösung bestimmen sowie Schichtdicken und Homogenität charakterisieren, insbesondere für III-V- und diamantbasierte Bauelemente bis 150 mm Substratgröße. Die Ausschreibung läuft im offenen Verfahren mit Abgabefrist 23. September 2026 und einer geplanten Lieferdauer von 540 Tagen.
30 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
12 Dateien sind laut Ursprungsportal verfügbar, aber noch nicht abgerufen. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Auf dem Ursprungsportal angebotene Dateien
Stand: 08.09.2026, 08:20 (Europe/Berlin)
Anlage 2 - Leistungsverzeichnis.pdf
PDF · Leistungsverzeichnis · 251 KB · Stand 07.09.2026
_Hinweise von der e-Vergabe.txt
TXT · Sonstiges · 1 KB
Anlage 1 - Allgemeine Rahmenbedingungen.pdf
PDF · Sonstiges · 264 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 3 - ZVB.pdf
PDF · Sonstiges · 227 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 4.1 - Bietererklärung.pdf
PDF · Formular · 15 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 4.2 - Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren.pdf
PDF · Formular · 107 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 5 - Eigenerklärung zu § 123 GWB.pdf
PDF · Formular · 510 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 6 - Eigenerklärung zu § 124 GWB.pdf
PDF · Formular · 494 KB · Stand 07.09.2026
Anlage 7 - Eigenerklaerung_staatliche_Auftraggeber.pdf
PDF · Formular · 1,3 MB · Stand 07.09.2026
Anlage 8 - Fremdfirmenordnung Universität Jena.pdf
PDF · Sonstiges · 2,3 MB · Stand 07.09.2026
Aufforderungssschreiben.pdf
PDF · Sonstiges · 222 KB · Stand 07.09.2026
Erlaeuterungen zur Anlage 7.pdf
PDF · Sonstiges · 162 KB · Stand 07.09.2026
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
259 vergleichbare Verfahren, davon 194 mit erfasstem Zuschlag · 115 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 307.912,5 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 34 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
Thermo Fisher Scientific GmbH · Dreieich
4 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
ATV Systems GmbH · Dresden
3 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH · Oberkochen
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
EV Group E. Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
FEI Deutschland GmbH · Dreieich
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · Heidelberg
2 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Xenocs SAS · Grenoble
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
AP und S International GmbH · Donaueschingen
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Accretech · München
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Veeco GmbH · Aschheim
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende in Thüringen, nach Vertragsende sortiert.
- Verbrauchsmaterialien und Chemikalien für die organische und anorganische Umweltanalytik
Thüringer Landesamt für Umwelt, Bergbau und Naturschutz · Jena
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.12.2028
Auftragnehmer: Thermo Fisher Scientific GmbH +3 weitere
Vertragsschluss: 30.05.2025
Zuschlagswert: 462.632,31 EUR
- Technische Plattform und Reagenzien für molekularbiologische Infektionsdiagnostik
Universitätsklinikum Jena · Jena
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 01.06.2031
Auftragnehmer: altona Diagnostics GmbH
Vertragsschluss: 01.06.2026
Zuschlagswert: 0,01 EUR
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Friedrich-Schiller-Universität Jena
07743 · Jena
vergabestelle@uni-jena.de00062 erfasste Verfahren, davon 53 vergeben. 17 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenVergabestelle
vergabestelle@uni-jena.de000
ED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49228996100
Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
vergabekammer@tlvwa.thueringen.de0361 57332 1254
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 19.09.2026, 16:56 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 08.09.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 19.09.2026, 10:20 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
VergabeHero verbindet KI-gestützte Ausschreibungssuche, Vergabeunterlagen, Wettbewerbsanalyse und Rahmenverträge mit Eignungsprüfung und gemeinsamer Angebotsorganisation. Unternehmen recherchieren öffentliche Aufträge aus Deutschland und Europa, bewerten Chancen anhand von Leistungsanforderungen und Vergabehistorie und bearbeiten ihre Bewerbung im Team.
- Ausschreibungssuche und KI-Matching
- Öffentliche Bau-, Liefer- und Dienstleistungsaufträge nach Suchbegriffen, CPV-Codes, Regionen und Fristen recherchieren. KI-Matching gleicht Ausschreibungen mit der Leistungsbeschreibung im Suchprofil ab und begründet die Zuordnung. Passende Neuzugänge laufen im gemeinsamen Posteingang zusammen.
- Vergabeunterlagen und Dokumentextraktion
- Verfügbare Vergabeunterlagen aus angebundenen Quellen abrufen und beim Verfahren bündeln. Das Dokumentinventar zeigt tatsächlich hinterlegte Dateien, Abrufstatus und Originalverweise. Fertig extrahierte Dokumenttexte sind über eigene Unterlagenseiten lesbar.
- Leistungsumfang, Lose und Anforderungen
- KI-Zusammenfassungen, Leistungsbeschreibungen, Lose, Eignungsanforderungen und Zuschlagskriterien erleichtern die erste Prüfung. Verfügbare Fristen, Auftragswerte, Verfahrensarten und Kontaktangaben stehen in der Ausschreibungsakte zusammen.
- Wettbewerbsanalyse mit Zuschlagshistorie
- Historische Auftragnehmer vergleichbarer Vergaben anhand gemeinsamer CPV-Codes und der Region untersuchen. Zuschlagshäufigkeiten, Belegverfahren und veröffentlichte Auftragswerte machen die Wettbewerbssituation nachvollziehbar. Frühere Gewinner sind keine bestätigten Bieter des aktuellen Verfahrens.
- Rahmenverträge und Vertragslaufzeiten
- Vergebene Rahmenvereinbarungen mit Auftragnehmern, verfügbaren Zuschlagswerten und voraussichtlichen Vertragsenden recherchieren. Verwandte Rahmenverträge helfen, das Marktumfeld und mögliche künftige Beschaffungsbedarfe einzuordnen. Ein Vertragsende bestätigt keine Neuausschreibung.
- Auftraggeber und Marktüberblick
- Öffentliche Auftraggeber mit ihren veröffentlichten Kontaktdaten, laufenden Verfahren und erfassten früheren Vergaben kennenlernen. Ähnliche offene Ausschreibungen und verknüpfte Zuschläge unterstützen die Recherche nach weiteren Geschäftschancen.
- Eignungsprüfung mit eigenen Checklisten
- Eigene Prüfkriterien in wiederverwendbaren Checklisten organisieren und Ausschreibungen mit KI-Unterstützung prüfen. Ergebnisse, Begründungen und offene Punkte helfen dem Team, die Entscheidung über eine Bewerbung vorzubereiten.
- Angebotsorganisation und Projektmanagement
- Aus einer Ausschreibung ein gemeinsames Projekt erstellen. Aufgaben, Abgabeunterlagen, Zuständigkeiten, Fristen, Kommentare und Bearbeitungsstände bündeln und die Bewerbung von der Prüfung bis zum eingereichten Angebot und Ergebnis verfolgen.
Die Angaben zur konkreten Ausschreibung stehen in den Abschnitten darüber. Umfang und Verfügbarkeit der Unterlagen und Marktdaten hängen vom erfassten Verfahren ab. Persönliche Suchprofile und Teamfunktionen erfordern ein Konto; KI-Matching und KI-Checklistenprüfungen eine entsprechende Freischaltung. Die aktuellen Leistungen und Tarife stehen auf der Preisseite.
Leistungen und Preise ansehen