Chemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen

Leistungen nach Losen (1)

• LOT-0001 · Chemisch-mechanische Poliermaschine

  Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit die Anschaffung einer chemisch-mechanischen Poliermaschine (CMP) für das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Sie muss für Probengrößen bis hin zu Wafern (Halbleiterscheiben) mit Durchmessern von bis zu 100 Millimeter geeignet sein, Rauigkeiten kleiner als 1 Nanometer (RMS-Rauigkeit) erreichen können. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2 Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über einem Gesamtauftragswert von 225.000,00 Euro netto von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über dieser Grenze, ist die Vergabestel-le berechtig die Ausschreibung aufzuheben.

  Frist: 20.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).