Integrierte Nanoprobing-Plattform für elektrische Fehleranalysen
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 01.12.2026, 14:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Bayern, Deutschland
- Verfahren
- Verfahrensart unbekannt
- Auftragsart
- Nicht angegeben
- Veröffentlicht
- 30.10.2026
- CPV-Codes
- Rasterelektronenmikroskope (38511100)
- Bekanntmachung
- deutsche-evergabe.de
- Bekanntmachungsnummer
- 25992028
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS, beschafft eine integrierte Nanoprobing-Plattform mit vier Sonden, erweiterter elektrischer Fehleranalyse (Advanced Electrical Failure Analysis, EFA) und Vakuum-Transfermodul (Vacuum Transfer Module, VTM). Das System soll hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an verschiedenen Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten Rasterelektronenmikroskop- und Ionenstrahlsystem ermöglichen; die Angebotsfrist endet am 1. Dezember 2026.
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Leistungsbeschreibung
Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) und Vacuum Transfer Module (VTM) für hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an unterschiedlichen Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten SEM/FIB-System. Nanoprobing Plattform
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Nanoprobing Plattform
Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) und Vacuum Transfer Module (VTM) für hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an unterschiedlichen Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten SEM/FIB-System. Nanoprobing Plattform
Frist: 01.12.2026, 01:00 (Europe/Berlin)
Vergabeunterlagen
16 Dateien laut Portal · Stand 30.10.2026 LV_424235.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 17 KB |
| 000_Aufforderung_Angebotsabgabe_nat_evergabe.pdf | Anschreiben | 175 KB |
| 01_Angebotsschreiben.pdf | Anschreiben | 244 KB |
| 001_VergabebedingungenAwardConditions_04-26_IKTS.pdf | Sonstiges | 136 KB |
| 02_Eigenerklärungen-Selfdeclaration_05-26 (deutsch).pdf | Formular | 101 KB |
| 02_Eigenerklärungen-Selfdeclaration_05-26 (englisch).pdf | Formular | 73 KB |
| 002_KfmBedingungenCommercialTerms_04-26_IKTS.pdf | Sonstiges | 180 KB |
| 03_Export Classification Request Form.pdf | Sonstiges | 246 KB |
| 003_ZuschlagskriterienAwardCriteria.pdf | Sonstiges | 53 KB |
| 004_Antikorrup-AEB_04-26.pdf | Sonstiges | 771 KB |
| 04_Fragebogen_zur_Eignungspruefung.pdf | Sonstiges | 133 KB |
| 05_Leistungsverzeichnis (mit Abnahme).pdfLV | Leistungsverzeichnis | 151 KB |
| 005_NachhaltigkeitsstandardsSustainabilitystandards.pdf | Sonstiges | 442 KB |
| 006_Detaillierte_Leistungsbeschreibung.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 169 KB |
 06_Technische_Details_techn.details.xlsx | Sonstiges | 169 KB |
| 007_BankbürgschaftBankguarantee.pdf | Sonstiges | 196 KB |
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 31.10.2026BekanntmachungBekanntmachung 25992028
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