Beschaffung einer Remote-Plasma-PVD-Prozesskammer für 300-mm-Wafer
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren ohne Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 01.07.2026
- CPV-Codes
- Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (42990000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 451047-2026
- Verfahrensnummer
- ef0584c3-d9c5-43da-b622-e04f49ba1d0e
Fragenkatalog
Deine Fragen an die Ausschreibung, beantwortet aus Bekanntmachung und Unterlagen.
Kurzbeschreibung
Das Fraunhofer-Institut beschafft eine Remote-Plasma-PVD-Prozesskammer als Erweiterung für ein bestehendes Depositionscluster. Die Anlage dient der Abscheidung von Dünnschichten auf 300-mm-Wafern und muss mit dem vorhandenen System 'Flextura 300' kompatibel sein. Es handelt sich um eine Einzelbeschaffung im Bereich der Halbleiterfertigungsausrüstung.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Auf einen Blick
KI-Auswertung der Bekanntmachung
So schnell verstehst du mit VergabeHero jede Ausschreibung.
Leistungsbeschreibung
Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P
1 Stück Remote Plasma PVD Chamber Eine Prozesskammer als Ausrüstungserweiterung zur Abscheidung metallischer und nichtmetallischer Dünnschichten mittels PVD-Verfahren (Sputtering) auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Die Sputterkammer als Upgrade des bestehenden Polyteknik Flextura 300 Depositionsclusters muss mit dem bestehenden Mainframe "Flextura 300" und den bereits vorhandenen Kammern "Confocal Sputter Module", "Degas Module", "Cooling Module" und "MBE Module" kompatibel sein. Optionale Leistungspositionen: 3.1.11 Plasma-Fernkammer - allgemein Plasma-Emissions-Monitoring (PEM) mit Rückkopplungssteuerung bitte Typ und Genauigkeit angeben 3.1.12 Plasma-Fernkammer - allgemein Restgasanalysator (RGA) Massenspektrometer Lieferoption 3.1.18 Plasma-Fernkammer - allgemein Quarzkristall-Mikrowaage zur Bestimmung der Depositionsrate, abnehmbar/abdeckbar ohne Kammeröffnung (z. B. Shutter oder versenkbar) Lieferoption; bitte Anzahl der QCMs, Art des Abdeckmechanismus (z. B. Shutter oder einziehbar); bitte Anzahl der QCMs und Art des Abdeckmechanismus angeben 3.2.3 Remote-Plasmakammer - Gasleitungen zusätzlicher Gaseinlass für vorgemischte Flaschen mit Standardflansch Lieferoption 3.4.6 Remote-Plasmakammer - Targets vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheit: Zr (4N), Nb (4N) bitte als Lieferoption angeben 3.4.7 Remote Plasmakammer - Targets zusätzliche vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheiten: Cu (5N), SiN (3N) bitte als Lieferoption angeben 5.7 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Grundgewährleistungszeit um ein weiteres Jahr bitte als Option angeben
Wie wird das Angebot bewertet?
Kriterien ohne Loszuordnung
- Preis
- 100 %
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Zum UrsprungsportalÄnderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenAlle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.