Automatisierte Mehrtarget-Magnetronsputteranlage für die Dünnschichtentwicklung

UKS-2026-046: Betriebsbereite Lieferung einer Magnetronsputteranlage für 08.10.2026 Dünnschichtmaterialentwicklung UVgO Öffentliche Ausschreibung Bekanntmachung UVgO: Betriebsbereite Lieferung einer Magnetronsputteranlage für Dünnschichtmaterialentwicklung Vergabenummer UKS-2026-046 Bezeichnung Betriebsbereite Lieferung einer Magnetronsputteranlage für Dünnschichtmaterialentwicklung Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung Vergabe- und UVgO Vertragsordnung Art des Auftrags Lieferleistung Auftraggeber Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle Bezeichnung Universität Kassel, vertreten durch die Präsidentin Postanschrift Mönchebergstr. 19 Ort 34109 Kassel Telefon +49 561804-0 E-Mail e-vergabe@uni-kassel.de URL https://dtvp.de/Center Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle" Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle" Auftragsgegenstand Leistungsbeschreibung Art der Leistung Die Universität Kassel schreibt die betriebsbereite Lieferung einer automatisierten Mehrtarget-Magnetronsputteranlage zur Dünnschichtentwicklung aus. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Beschichtung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm. Die Anlage wird im Reinraum der Universität eingesetzt. Die Ausstattung umfasst drei 2-Zoll-Magnetronsputterquellen, ein DC-Netzteil mit 500 W und zwei Ausgängen, ein bipolares Pulsed-DC-Netzteil mit 1 kW und zwei Ausgängen sowie drei getrennt regelbare Prozessgasleitungen. Erforderlich sind außerdem ein rotierender, reaktivgasbeständiger Substrattisch mit einer Heiztemperatur bis mindestens 600 °C, eine Bias-Aufrüstung und motorisierte Blenden. Eine PC-gestützte Steuerung mit programmierbaren Prozessabläufen soll reproduzierbare Beschichtungen und einen hohen Probendurchsatz ermöglichen. Zum Leistungsumfang gehören die erforderliche Steuerungs- und Computerausstattung einschließlich Software, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung des Bedienpersonals, Dokumentation und Garantie. Umfang der Leistung Den genauen Leistungsumfang entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen. Erfüllungsorte Haupterfüllungsort Bezeichnung Universität Kassel, vertreten durch die Präsidentin Postanschrift Mönchebergstr. 19 Ort 34109 Kassel Ergänzende / Abweichende Universität Kassel Angaben zum Erfüllungsort Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik CSX 21 - Bekanntmachung Seite 1/3 08.10.2026 15:56 Uhr - BMS 13.1.0.1001 © 2009 - 2026 cosinex GmbH UKS-2026-046: Betriebsbereite Lieferung einer Magnetronsputteranlage für 08.10.2026 Dünnschichtmaterialentwicklung UVgO Öffentliche Ausschreibung Heinrich-Plett-Str. 40 34132 Kassel Ausführungsfristen Bestimmungen über die Lieferung bis zum 15.03.2027, Inbetriebnahme des Gesamtsystems bis zum Ausführungsfrist 15.04.2027 Dauer (ab Auftragsvergabe) Beginn 23.11.2026, Ende 15.04.2027 Fristen Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 23.10.2026 Angebotsfrist 30.10.2026 10:00 Uhr Zuschlags-/Bindefrist 20.11.2026 Wertung Wertungsmethode der Vergabe Wertungsmethode Niedrigster Preis Lose Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der Lose an verschiedene Bieter Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt. Nachweise / Bedingungen Vom Unternehmen einzureichende Unterlagen Keine Unterlagen einzureichen Auflagen zur persönlichen Lage Angaben und Formalitäten, 1. Nachweis über die erfolgreiche Ausführung von mindes-tens drei vergleichbaren die erforderlich sind, um die Projekten innerhalb der letzten zwei Jahre. Vergleichbar heißt sowohl in Umfang, Befähigung und Erlaubnis finan-ziellem Aufwand und technischer Anforderung. Die Be-schreibung der zur Berufsausübung zu Projekte erfolgt mit aussagekräftigen Un-terlagen, die aus denen obige Angaben zu überprüfen entnehmen sind sowie der Benennung eines durch den Auftragge-ber unverbindlich zu kontaktierenden Ansprechpartners. Bitte geben Sie an: Auftragswerte, Bezeichnung des jew. Lieferumfangs, Adressangaben und Angabe der dortigen Ansprechpartner 5. Nachweis der Eintragung im Berufs- oder Handelsregister 6. ggf.) Einsatz von Unterauftragnehmern Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Angaben und Formalitäten, 3. Bescheinigung der zuständigen Stelle des Mitgliedstaates, aus der hervorgeht, die erforderlich sind, dass der Bieter seine Verpflichtungen zur Zahlung der Sozialbeiträge nach den um die Einhaltung der Rechtsvorschriften des Landes des öffentlichen Auftraggebers erfüllt hat. Auflagen zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit zu überprüfen Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Angaben und Formalitäten, 2. Auflistung der Service-Standorte, getrennt nach inner-deutschen, europäischen die erforderlich sind, und weltweiten, Informationen über die Sicherstellung von Wartung und Service um die Einhaltung der sowie mit Ersatzlieferungen (Wartung, Verfügbarkeit des Ser-vicepersonals, Auflagen zur technischen Reaktionszeiten, ...). Leistungsfähigkeit zu überprüfen Sonstige Bedingungen CSX 21 - Bekanntmachung Seite 2/3 08.10.2026 15:56 Uhr - BMS 13.1.0.1001 © 2009 - 2026 cosinex GmbH UKS-2026-046: Betriebsbereite Lieferung einer Magnetronsputteranlage für 08.10.2026 Dünnschichtmaterialentwicklung UVgO Öffentliche Ausschreibung Sonstige Bedingungen 4. Verpflichtungserklärung zu Tariftreue und Mindestent-gelt bei öffentlichen Aufträgen nach dem Hessischen Vergabe- und Tariftreuegesetz (HVTG) (siehe bereit gestellter Vordruck) 6. ausgefüllter Vordruck Erklae-rung_Unternehmensdaten.pdf 7. Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen VHB 124 Vergabeunterlagen Bereitstellung der Vergabeunterlagen Postalischer Versand Nein Elektronisch Ja, mittels Vergabemarktplatz "DTVP" URL zu den https://satellite.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YD0DY64RQ8MU/documents Auftragsunterlagen Zusätzliche Angaben über die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und der Zugriffsmöglichkeit auf die Vergabeunterlagen Angebote Bedingungen für die Öffnung der Angebote Beginn der Angebotsöffnung 30.10.2026 10:00 Uhr Angebotsabgabe Art der akzeptierten Elektronisch in Textform Angebote Elektronisch mit qualifizierter elektronischer Signatur Elektronisch mit fortgeschrittener elektronischer Signatur URL zur Abgabe https://satellite.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YD0DY64RQ8MU elektronischer Angebote Zugriff auf Preisdokumente Nein bis zur manuellen Freigabe während der Angebotsprüfung/-wertung sperren (Zwei-Umschlags- Verfahren) Eingabemöglichkeiten Nein zu Angebotspreisen für Unternehmen innerhalb des Bietertools sperren Nebenangebote Nebenangebote werden nicht zugelassen. Verfahren/Sonstiges Sonstige Informationen Sonstige Informationen für Angebote und Anfragen zum Vergabeverfahren sind ausschließlich über Bieter/Bewerber das Vergabeportal von cosinex (https://dtvp.de/Center) einzureichen. Die Vergabeunterlagen erhalten Sie über das Vergabeportal. Bekanntmachungs-ID CXS0YD0DY64RQ8MU CSX 21 - Bekanntmachung Seite 3/3 08.10.2026 15:56 Uhr - BMS 13.1.0.1001 © 2009 - 2026 cosinex GmbH