Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und Support

Status
Vergeben
Angebotsfrist
03.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
400.000 EUR
Lose
1
Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikProfil ansehen
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
Veröffentlicht
24.11.2025
Bekanntmachungsnummer
776918-2025
Verfahrensnummer
14639fdb-67e7-454e-b2f3-37ed31dcc982
CPV-Codes
22520000 · Trockenätzausrüstung

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, beschafft in Berlin einen Sauerstoff-Photoresist-Stripper (O₂-Asher) zur Entfernung von Photoresist sowie die zugehörigen Leistungen. Vorgesehen ist eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen für Lieferung, Installation, Wartung und Support; der geschätzte Auftragswert beträgt 400.000 Euro. Angebote können bis zum 3. Dezember 2025, 12:00 Uhr, eingereicht werden.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)400.000 EUR

    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    Frist: 03.12.2025, 01:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
10 %
Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
90 %

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

Anforderungen

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 31.03.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 222194-2026
Vergleichbare Verfahren235vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag119 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 53 Vergaben

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Frist in den letzten 12 Monaten abgelaufen, nach Ähnlichkeit
Titel
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Laser-Debonder und Reinigungsanlage für HalbleiterfertigungFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland19.02.2026 -
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Aufbereitete TrockenätzkammerFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland19.06.2026 -
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Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn5010.07.2026 - steigend
LGLinde GmbHPullach3026.01.202610,1 Mio. €steigend
AUAP und S International GmbHDonaueschingen2001.09.2026 - steigend
VGVeeco GmbHAschheim2024.08.2026 - steigend
FDFEI Deutschland GmbHDreieich2011.08.2026363 Tsd. €steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2003.08.2026 - steigend
TGTESCAN GmbHDortmund2021.07.2026216 Tsd. €steigend
LCLight Conversion GmbHVilnius2016.07.2026 - steigend
NPNikon Precision Europe GmbHLangen2029.05.2026 - stabil
PTPCH Technischer Handel GmbHBerlin2020.05.20261,5 Mio. €stabil

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Berlin (78) · Sachsen (43) · Brandenburg (18) · Bayern (16) · Baden-Württemberg (11) · Nordrhein-Westfalen (11)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Aktiv seit 2024 · 15 Verfahren
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Verfahren pro Jahr8Ø seit 2024
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 15 seit 2024Spitze KW 48 · 2025 · 2

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
CMCicor Microtech AG110.08.2026381 Tsd. €
RBRaith B.V.124.06.2026220 Tsd. €
RBRaith BV124.06.2026220 Tsd. €
PTPlasma Therm Europe125.03.2026 -
OIOxford Instruments GmbH120.03.2026 -
FWFalling Walls Foundation gGmbH116.01.2026414 Tsd. €
RBRAITH B.V. Nanofabrication126.05.2025383 Tsd. €
SWSD Worx GmbH124.10.2024224 Tsd. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    1 Mio. €
    17.06.2026noch 4 Monate01.02.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportOxford Instruments GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    900 Tsd. €
    20.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportPlasma Therm EuropeFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    400 Tsd. €
    25.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreFalling Walls Foundation gGmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    414 Tsd. €
    16.01.2026noch 13 Monate31.10.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxSD Worx GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    224 Tsd. €
    24.10.2024noch 15 Monate31.12.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith B.V.Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith BVFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemRAITH B.V. NanofabricationFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    383 Tsd. €
    26.05.2025noch 46 Monate10.07.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
14.09.2026ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-HalbleiternOffen - -
11.08.2026AlN‑Keramiksubstrate für das BECCAL‑ProjektVergebenCMCicor Microtech AG381 Tsd. €
05.08.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith BV220 Tsd. €
08.07.2026Beschaffung eines IonenstrahlätzersOffen - -
26.06.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith B.V.220 Tsd. €
17.06.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - 1 Mio. €
15.04.2026Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-ClusteranlageOffen - -
01.04.2026Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportVergeben - -
02.03.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - -
27.02.2026Lieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-MesstechnikOffen - -
19.01.2026Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreVergebenFWFalling Walls Foundation gGmbH414 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportVergebenPTPlasma Therm Europe400 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportVergebenOIOxford Instruments GmbH900 Tsd. €
27.05.2025Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemVergebenRBRAITH B.V. Nanofabrication383 Tsd. €
24.10.2024Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxVergebenSWSD Worx GmbH224 Tsd. €

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