Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und Support
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 03.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- 900.000 EUR
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 24.11.2025
- CPV-Codes
- Trockenätzausrüstung (22520000)
- Bekanntmachung
- vergabekooperation.berlin
- Bekanntmachungsnummer
- 777890-2025
- Verfahrensnummer
- 98728eb4-5ebb-42f5-9027-3129e266a320
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, beschafft für seinen Standort in Berlin einen Trockenätzer mit fluorbasierter Chemie einschließlich Wartung und Support. Vorgesehen ist eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen; der geschätzte Auftragswert beträgt 900.000 Euro. Angebote müssen bis zum 3. Dezember 2025 um 12:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
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Leistungsbeschreibung
FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)900.000 EUR
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Frist: 03.12.2025, 01:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
Siehe Ausschreibungsunetralgen
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0000 · Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
- Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
- 10 %
- Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
- 90 %
Vergabeunterlagen
Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Zum UrsprungsportalAnforderungen
Siehe Ausschreibungsunetralgen
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 31.03.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 221453-2026
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