Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und Support

Status
Vergeben
Angebotsfrist
03.12.2025, 13:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Wert
400.000 EUR
Lose
1
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
Veröffentlicht
24.11.2025
CPV-Codes
Trockenätzausrüstung (22520000)
Bekanntmachungsnummer
776918-2025
Verfahrensnummer
14639fdb-67e7-454e-b2f3-37ed31dcc982

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, beschafft in Berlin einen Sauerstoff-Photoresist-Stripper (O₂-Asher) zur Entfernung von Photoresist sowie die zugehörigen Leistungen. Vorgesehen ist eine Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen für Lieferung, Installation, Wartung und Support; der geschätzte Auftragswert beträgt 400.000 Euro. Angebote können bis zum 3. Dezember 2025, 12:00 Uhr, eingereicht werden.

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Leistungsbeschreibung

FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)400.000 EUR

    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    Frist: 03.12.2025, 01:00 (Europe/Berlin)

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LOT-0000 · Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
10 %
Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
90 %

Vergabeunterlagen

Keine abgerufenen Dateien hinterlegt. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.

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Anforderungen

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Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 31.03.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 222194-2026

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