Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Deutschland · TED
- 19. Aug. 2026Bekanntmachung veröffentlichtQuelle: TED
- 10. Juni 2026Zuschlag erteiltZuschlag an EV Group E. Thallner GmbH
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Zusammenfassung
Die Fraunhofer‑Gesellschaft in München beschafft ein Plasma‑Aktivierungstool des Modells IPMS‑MRS14.3. Das Gerät wird als Einzelstück geliefert und soll über einen Zeitraum von 360 Tagen betrieben werden. Es handelt sich um eine offene Ausschreibung für Lieferungen.
Vergabeunterlagen
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Vergabeunterlagen.pdf
PDF-Dokument · 2,4 MB
Leistungsverzeichnis.pdf
PDF-Dokument · 860 KB
Eigenerklärung.docx
Word-Dokument · 124 KB
Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: EV Group E. Thallner GmbH
Auftragswert
unbekannt
Zuschlag am
10. Juni 2026
Beschreibung
Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)
Lose
1 Los1 Stück - Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) Option 1 (LV Pos. 2.1): Please offer an extended warranty of further 12 months (in total 24 month) Option 2 (LV Pos. 3.2): The tool should handle wafers with the size of Option 3 (LV Pos. 3.6): The equipment provides a chuck for wafer size of 300mm Option 4 (LV Pos. 3.8): The machine can handle a tape mounted wafer with dicing frame for 300mm wafer according to IPMS specification
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality50%
technische Ausführung
- price50%
Preis