Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)

Status
Vergeben
Angebotsfrist
Nicht angegeben
Geschätzter Wert
Nicht angegeben
Lose
1
Erfüllungsregion
Sachsen, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
19.08.2026
CPV-Codes
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (42990000)
Bekanntmachung
ted.europa.eu
Bekanntmachungsnummer
573952-2026
Verfahrensnummer
5cc17199-a01c-4553-af43-7008203162da

Fragenkatalog

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Kurzbeschreibung

Die Fraunhofer‑Gesellschaft in München beschafft ein Plasma‑Aktivierungstool des Modells IPMS‑MRS14.3. Das Gerät wird als Einzelstück geliefert und soll über einen Zeitraum von 360 Tagen betrieben werden. Es handelt sich um eine offene Ausschreibung für Lieferungen.

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Leistungsbeschreibung

Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P

    1 Stück - Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) Option 1 (LV Pos. 2.1): Please offer an extended warranty of further 12 months (in total 24 month) Option 2 (LV Pos. 3.2): The tool should handle wafers with the size of Option 3 (LV Pos. 3.6): The equipment provides a chuck for wafer size of 300mm Option 4 (LV Pos. 3.8): The machine can handle a tape mounted wafer with dicing frame for 300mm wafer according to IPMS specification

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LOT-0000 · Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P

technische Ausführung
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Preis
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