Hochtemperatur-Ionenimplantationsanlage für 200-mm-Wafer
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 09.11.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Erfüllungsregion
- Bayern, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 08.10.2026
- CPV-Codes
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)
- Bekanntmachung
- vergabe.fraunhofer.de
- Bekanntmachungsnummer
- 695502-2026
- Verfahrensnummer
- 46224479-b0e0-42ba-b633-286d0623612d
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Hochtemperatur-Ionenimplantationsanlage für Wafer mit 200 mm Durchmesser. Der Auftrag ist der Region Nürnberg (NUTS-Code DE252) zugeordnet und hat eine angegebene Dauer von 360 Tagen; optional ist ein zweijähriger Wartungsvertrag mit zwei Verlängerungsmöglichkeiten um jeweils ein Jahr vorgesehen. Angebote können bis zum 9. November 2026 eingereicht werden.
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Leistungsbeschreibung
High Temperature 200 mm Ion Implanter
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W
High Temperature 200 mm Ion Implanter Optionen: 3.2.3 Ionenquelle Alternative Verfahren zur Implantation von Al mit anderen Methoden als der Verdampfung 5.7.2 Channeling-Implantation in SiC Messsystem zur Bestimmung der exakten Ausrichtung des SiC für die Channeling-Implantation 13.4 Wartungsvertrag Zweijähriger Wartungsvertrag mit zwei Optionen zur Verlängerung des Vertrags um jeweils ein Jahr.
Anforderungen an deinen Betrieb
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0000 · High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W
- Technische Ausführung
- 65 %
- Preis
- 35 %
Vergabeunterlagen
19 Dateien laut Portal · Stand 08.10.2026 Aufforderung zur Angebotsabgabe EU.pdf | Anschreiben | 86 KB |
| Aufforderung_zum_Teilnahmewettbewerb_Interessensbestaetigung.pdf | Sonstiges | 74 KB |
| B_001_VergabebedingungenAwardConditions PR1293607.pdf | Sonstiges | 152 KB |
| B_002_KfmBedingungenCommercialTerms PR1293607.pdf | Sonstiges | 123 KB |
| B_003_ZuschlagskriterienAwardCriteria PR1293607.pdf | Sonstiges | 88 KB |
| B_004_AEB.pdf | Sonstiges | 756 KB |
| B_005_NachhaltigkeitsstandardsSustainabilitystandards_06-2024.pdf | Sonstiges | 543 KB |
| B_006_BankbürgschaftBankguarantee.pdf | Sonstiges | 196 KB |
| B_Ablauf zweistufiges VerfahrenProcess two-step award procedure.pdf | Sonstiges | 408 KB |
 C_001_Technische_Details_BieterName PR1274622.xlsx | Sonstiges | 164 KB |
| C_002_Eigenerklärungen-Selfdeclaration.pdf | Formular | 498 KB |
| C_003_Export Classification Request Form.pdf | Sonstiges | 211 KB |
| C_004_Eigenerklärung-Selfdeclaration - (EU) Nr. 833-2014.pdf | Formular | 163 KB |
| C_005_Muster Wartungsvertrag_PR1293607.pdf | Vertragsbedingungen | 162 KB |
| Fragebogen zur Eignungspruefung.pdf | Sonstiges | 8 KB |
| I_001_Pflicht zur Vorlage_Wirtschaftlich Berechtigte_DE-EN_11-25.pdf | Sonstiges | 86 KB |
| Invitation to bid (EU wide tender).pdf | Sonstiges | 85 KB |
| Leistungsverzeichnis Service specifications V 1.6.3.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 15 KB |
| LV_Technische Detailbeschreibung_PR1293607.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 180 KB |
Anforderungen
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Änderungen und Bieterfragen
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