Halbautomatisches Wafersondiersystem für die Charakterisierung von 200-mm-Wafern

Status
Offen
Angebotsfrist
13.10.2026, 12:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikProfil ansehen
Erfüllungsregion
Brandenburg, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
14.09.2026
Bekanntmachungsnummer
631856-2026
Verfahrensnummer
e2be74eb-fd9b-4335-9b10-e58150fb4929
CPV-Codes
38540000 · Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen

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Kurzbeschreibung

Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft ein halbautomatisches Wafersondiersystem zur elektrischen und temperaturabhängigen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Das System soll Gleichstrom- und gepulste Strom-Spannungs-Messungen sowie niederfrequente Impedanzmessungen bis 10 MHz ermöglichen und in ein vorhandenes Keithley-4200A-SCS-Charakterisierungssystem integriert werden. Zum Umfang gehören unter anderem der Sondierer, ein temperaturgeregeltes Spannfutter, elektrische Sonden, optische und Kamerasysteme, Steuerung, Software, Verkabelung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und Integrationsunterstützung; die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

    The procurement comprises the supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall be suitable for DC and pulsed I-V measurements as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be capable of integration with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope of supply includes, in particular, a shielded prober chamber with temperature-controlled chuck (-60 °C to +300 °C), six electrical Kelvin probes with triaxial FORCE/SENSE interfaces, automated microscope and camera systems, anti-vibration table, hardware and software control, PC and displays, all required cabling and interfaces, as well as installation, commissioning, integration support, operator training and technical documentation. The supplier shall provide a complete and fully functional system, including all components, interfaces, accessories and services required for proper operation and successful integration into the existing measurement environment.

    Frist: 13.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Der öffentliche Auftraggeber ist berechtigt, in der Auftragsbekanntmachung oder den Vergabeunterlagen festzulegen, dass er keine Unterlagen nachfordern wird. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Dies gilt nicht für Preisangaben, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen. Die Unterlagen sind vom Bewerber oder Bieter nach Aufforderung durch den öffentlichen Auftraggeber innerhalb einer von diesem festzulegenden angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vorzulegen.

Vergabeunterlagen

15 Dateien laut Portal · Stand 14.09.2026
Annex 1 - Price Schedule-Pricing Form.xlsxSonstiges42 KB
Annex 2 - Evaluation criteria.pdfSonstiges359 KB
CSX 32 - Aufforderung zur Abgabe eines Angebots EU.pdfAnschreiben12 KB
CSX 51 - Angebotsdeckblatt.pdfSonstiges12 KB
Eigenerklaerung EU-Sanktionen VO 2022_576 - 2022-11.docxFormular19 KB
Hinweise zur elektronischen Angebotsabgabe.pdfSonstiges206 KB
IHP_Lieferanten-, Kundenauskunft.docxSonstiges43 KB
Target designation_IHP-2026-045.pdfSonstiges341 KB
Zusammenstellung einzureichender Unterlagen.pdfSonstiges223 KB
03_4 Eigenerklaerung_ILO.pdfFormular257 KB
4.5 Erklaerung Frauenfoerderverordnung (Stand 12.2018).pdfFormular74 KB
04_01 EKB-2024.pdfSonstiges128 KB
04_02 Bewerbungsbedingungen_Land BB_vol06 .pdfAnschreiben26 KB
04_03 ZVB-Bbg_vol08 .pdfSonstiges26 KB
5.3 Vereinbarung Mindestanforderungen BbgVergG.pdfSonstiges26 KB

Anforderungen

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Der öffentliche Auftraggeber ist berechtigt, in der Auftragsbekanntmachung oder den Vergabeunterlagen festzulegen, dass er keine Unterlagen nachfordern wird. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Dies gilt nicht für Preisangaben, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen. Die Unterlagen sind vom Bewerber oder Bieter nach Aufforderung durch den öffentlichen Auftraggeber innerhalb einer von diesem festzulegenden angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vorzulegen.

Änderungen und Bieterfragen

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Vergleichbare Verfahren249vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag100 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 16 Vergaben

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Trend
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ASATV Systems GmbHDresden3008.09.2026107 Tsd. €steigend
S&STOE & Cie GmbHDarmstadt3028.08.2026674 Tsd. €steigend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3018.08.2026809 Tsd. €steigend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn3010.07.2026 - steigend
LCLight Conversion UABVilnius2015.09.2026356 Tsd. €steigend
ACAccretechMünchen2025.08.2026 - steigend
KDKEYENCE DEUTSCHLAND GmbHFrankfurt am Main2014.08.2026110 Tsd. €steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2003.08.2026 - steigend
TGTESCAN GmbHDortmund2021.07.2026216 Tsd. €steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (52) · Nordrhein-Westfalen (37) · Baden-Württemberg (23) · Bayern (22) · Brandenburg (21) · Sachsen-Anhalt (18)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit
  • Mobile Prüfgerätesets für ein- und dreiphasige elektrische GeräteBenning Elektrotechnik und Elektronik GmbH & Co.KGBundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium des Innern und für Heimat, vertreten durch das Beschaffungsamt des BMIBonn, Deutschland
    480 Tsd. €
    05.11.2024noch 26 Monate05.11.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Prüfung und Instandsetzung von Hebezeugen, Krantechnik und SicherungsmittelnCarl Stahl Süd GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland
    113 Tsd. €
    29.11.2024noch 27 Monate31.12.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvereinbarung zur Lieferung von Gasmesstechnik für die FeuerwehrDräger Safety AG & Co. KGaAEinkauf der Stadt Duisburg (10-31)Duisburg, Deutschland
    03.06.2026noch 27 Monate31.12.2028
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Rahmenvereinbarung zur Lieferung einer Gleisgeometriemessanlage für einen ICE 4Latronix ABDB InfraGO AG – Geschäftsbereich Fahrweg (Bukr 16)Frankfurt Main, Deutschland
    6 Mio. €
    02.12.2025noch 37 Monate31.10.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Geräteausstattung für die SpurensicherungDöngesBAAINBwKoblenz, Deutschland
    1,8 Mio. €
    17.07.2025noch 39 Monate31.12.2029
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Aktiv seit 2023 · 24 Verfahren
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Verfahren pro Jahr8Ø seit 2023
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 24 seit 2023Spitze KW 47 · 2023 · 2

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
KTKeysight Technologies Deutschland GmbH109.09.20261,3 Mio. €
FIFrankfurter Industrieservice GmbH106.08.2026 -
ISIHP Solutions GmbH121.07.2026676 Tsd. €
DPDERU Planungsgesellschaft für Energie-, Reinraum- und Umwelttechnik mbH125.02.2026 -
BGBIKK GmbH125.02.2026 -
KGKLA-Tencor GmbH129.04.2025 -
PMPhotronics MZD GmbH129.04.2025 -
NPNikon Precision Europe GmbH103.02.2025 -

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Planungs- und Ingenieurleistungen für HookUp-Installationen und bauliche UmbautenDERU Planungsgesellschaft für Energie-, Reinraum- und Umwelttechnik mbHIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikFrankfurt (Oder), Deutschland
    25.02.2026noch 41 Monate28.02.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Servicevertrag für kältetechnische Anlagen in Forschungs- und ReinraumgebäudenBIKK GmbHIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikFrankfurt (Oder), Deutschland
    -1 €
    25.02.2026noch 41 Monate28.02.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

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