ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern

Status
Offen
Angebotsfrist
13.10.2026, 23:59 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikProfil ansehen
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf
Auftragsart
Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
Veröffentlicht
14.09.2026
Bekanntmachungsnummer
631404-2026
Verfahrensnummer
9087dffc-832f-4ab3-9595-3e32f8a4e5d8
CPV-Codes
42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    1 Stück

Anforderungen an deinen Betrieb

keine

Vergabeunterlagen

22 Dateien laut Portal · Stand 14.09.2026
A01_VB.pdfSonstiges342 KB
A02_LB.pdfSonstiges266 KB
A04_Referenzen.pdfSonstiges1,9 MB
A05_Eigenerklärung_Umsatz_Mitarbeiter.pdfFormular1,3 MB
A06_Mitgliedschaft_BG.pdfSonstiges1 MB
A07_Unternehmensdarstellung.pdfSonstiges3,1 MB
A08_Datenschutzerklaerung_Bieter.pdfFormular3,4 MB
A09_Datenschutzerklaerung_Vergabestelle.pdfFormular1,4 MB
A10_wirt-1232-eu-p-teilnahmeantrag_interessenbekundung_04_2025.pdfAnschreiben86 KB
A11_wirt-124-eu-p-erklaerung-ausschlussgruende-07_2026.pdfFormular128 KB
A12_wirt-124-1-einhaltung-restriktiver-massnahmen_final.pdfSonstiges133 KB
A13_wirt-213_p_angebotsschreiben_ol_23-11-07 (4).pdfAnschreiben213 KB
A14_wirt-235-p-unterauftraege_eignungsleihe_04_2025.pdfSonstiges142 KB
A15_wirt-236-p-verpflichtungserklaerung-anderer-unternehmen_04_2025 (2).pdfFormular165 KB
A16_wirt-238-p-erklaerung-bietergemeinschaft.pdfFormular110 KB
A17_wirt-2141_bvb_mindeststundenentgelt_tariftreue_teila_0726.pdfVertragsbedingungen120 KB
A18_wirt-2142_bvb_tariftreue_1000_teila_0726.pdfVertragsbedingungen116 KB
A19_wirt-2144_bvb_kontrollen_sanktionen_teilb_0726.pdfSonstiges150 KB
A20_wirt-2143_bvb_verhinderung_von_benachteiligungen_teila_0726.pdfSonstiges162 KB
A21_wirt-2141-p-bvb-frauenfoerderung.pdfSonstiges234 KB
A22_FBH_Eigenerklärung _Bieter.pdfFormular153 KB
Leistungsverzeichnis ALE-Trockenätzanlage einschl. Nebenleistungen.pdfLVLeistungsverzeichnis6 KB

Anforderungen

keine

Änderungen und Bieterfragen

0 Einträge

Keine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.

Vergleichbare Verfahren204vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag56 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 8 Vergaben

Ähnliche Verfahren, die du verpasst hast

Frist in den letzten 12 Monaten abgelaufen, nach Ähnlichkeit
Titel
Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland03.12.2025900 Tsd. €
Beschaffung eines IonenstrahlätzersFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland10.08.2026 -
Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland23.03.2026 -
Lieferung eines Drei-Kammer-Molekularstrahlepitaxie-SystemsPhysikalisch - Technische Bundesanstalt BraunschweigBraunschweig, Deutschland08.06.2026 -
Lieferung einer trockenchemischen ÄtzanlageUniversität der Bundeswehr MünchenNeubiberg, Deutschland30.04.2026 -
Beschaffung eines RIE-Cluster-Systems für DRIE- und Cryo-Etch-VerfahrenFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, Deutschland15.04.2026 -
Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland23.07.20261 Mio. €
Anlage zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) für ForschungsarbeitenTechnische Universität MünchenMünchen, Deutschland13.07.2026485 Tsd. €

Wer gewinnt solche Vergaben?

Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand
Trend
CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbHOberkochen3018.08.2026809 Tsd. €steigend
TGTESCAN GmbHDortmund3021.07.20261,3 Mio. €steigend
EGEV Group E. Thallner GmbHNeuhaus am Inn3010.07.2026 - steigend
AUAP und S International GmbHDonaueschingen2001.09.2026 - steigend
VGVeeco GmbHAschheim2024.08.2026 - steigend
SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbHKrailling2003.08.2026 - steigend
LCLight Conversion GmbHVilnius2016.07.2026 - steigend
RBRaith B.V.Best1124.06.2026220 Tsd. €steigend
RBRaith BVPS Best1124.06.2026220 Tsd. €steigend
PTPlasma Therm EuropeBernin1125.03.2026 - steigend

Wer schreibt solche Vergaben aus?

Regionen: Sachsen (50) · Berlin (34) · Nordrhein-Westfalen (24) · Baden-Württemberg (18) · Bayern (17) · Brandenburg (13)

Laufende Rahmenverträge

bundesweit
  • Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer KomponentenMeißner Technik Müllenbach GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland
    -1 €
    03.08.2026noch 46 Monate02.08.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Aktiv seit 2024 · 15 Verfahren
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Verfahren pro Jahr8Ø seit 2024
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 15 seit 2024Spitze KW 48 · 2025 · 2

Leistungsbereiche

Top 5 nach Verfahren

Erfüllungsorte

nach Verfahren

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
CMCicor Microtech AG110.08.2026381 Tsd. €
RBRaith B.V.124.06.2026220 Tsd. €
RBRaith BV124.06.2026220 Tsd. €
PTPlasma Therm Europe125.03.2026 -
OIOxford Instruments GmbH120.03.2026 -
FWFalling Walls Foundation gGmbH116.01.2026414 Tsd. €
RBRAITH B.V. Nanofabrication126.05.2025383 Tsd. €
SWSD Worx GmbH124.10.2024224 Tsd. €

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende
  • Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    1 Mio. €
    17.06.2026noch 4 Monate01.02.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportOxford Instruments GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    900 Tsd. €
    20.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportPlasma Therm EuropeFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    400 Tsd. €
    25.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreFalling Walls Foundation gGmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    414 Tsd. €
    16.01.2026noch 13 Monate31.10.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxSD Worx GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    224 Tsd. €
    24.10.2024noch 15 Monate31.12.2027
    Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith B.V.Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith BVFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    220 Tsd. €
    24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet
  • Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemRAITH B.V. NanofabricationFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland
    383 Tsd. €
    26.05.2025noch 46 Monate10.07.2030
    Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet

Letzte Verfahren

neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht
14.09.2026ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-HalbleiternOffen - -
11.08.2026AlN‑Keramiksubstrate für das BECCAL‑ProjektVergebenCMCicor Microtech AG381 Tsd. €
05.08.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith BV220 Tsd. €
08.07.2026Beschaffung eines IonenstrahlätzersOffen - -
26.06.2026Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieVergebenRBRaith B.V.220 Tsd. €
17.06.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - 1 Mio. €
15.04.2026Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-ClusteranlageOffen - -
01.04.2026Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportVergeben - -
02.03.2026Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenVergeben - -
27.02.2026Lieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-MesstechnikOffen - -
19.01.2026Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreVergebenFWFalling Walls Foundation gGmbH414 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportVergebenPTPlasma Therm Europe400 Tsd. €
24.11.2025Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportVergebenOIOxford Instruments GmbH900 Tsd. €
27.05.2025Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemVergebenRBRAITH B.V. Nanofabrication383 Tsd. €
24.10.2024Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxVergebenSWSD Worx GmbH224 Tsd. €

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