ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 13.10.2026, 23:59 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikProfil ansehen
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 14.09.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 631404-2026
- Verfahrensnummer
- 9087dffc-832f-4ab3-9595-3e32f8a4e5d8
- CPV-Codes
- 42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
1 Stück
Anforderungen an deinen Betrieb
keine
Vergabeunterlagen
22 Dateien laut Portal · Stand 14.09.2026| Sonstiges | 342 KB | |
| Sonstiges | 266 KB | |
| Sonstiges | 1,9 MB | |
| Formular | 1,3 MB | |
| Sonstiges | 1 MB | |
| Sonstiges | 3,1 MB | |
| Formular | 3,4 MB | |
| Formular | 1,4 MB | |
| Anschreiben | 86 KB | |
| Formular | 128 KB | |
| Sonstiges | 133 KB | |
| Anschreiben | 213 KB | |
| Sonstiges | 142 KB | |
| Formular | 165 KB | |
| Formular | 110 KB | |
| Vertragsbedingungen | 120 KB | |
| Vertragsbedingungen | 116 KB | |
| Sonstiges | 150 KB | |
| Sonstiges | 162 KB | |
| Sonstiges | 234 KB | |
| Formular | 153 KB | |
| Leistungsverzeichnis | 6 KB |
Anforderungen
keine
Änderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
Ähnliche Verfahren, die du verpasst hast
Frist in den letzten 12 Monaten abgelaufen, nach Ähnlichkeit| Titel | |||
|---|---|---|---|
| Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin, Deutschland | 03.12.2025 | 900 Tsd. € |
| Beschaffung eines IonenstrahlätzersFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin, Deutschland | 10.08.2026 | - |
| Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin, Deutschland | 23.03.2026 | - |
| Lieferung eines Drei-Kammer-Molekularstrahlepitaxie-SystemsPhysikalisch - Technische Bundesanstalt Braunschweig | Braunschweig, Deutschland | 08.06.2026 | - |
| Lieferung einer trockenchemischen ÄtzanlageUniversität der Bundeswehr München | Neubiberg, Deutschland | 30.04.2026 | - |
| Beschaffung eines RIE-Cluster-Systems für DRIE- und Cryo-Etch-VerfahrenFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München, Deutschland | 15.04.2026 | - |
| Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin, Deutschland | 23.07.2026 | 1 Mio. € |
| Anlage zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) für ForschungsarbeitenTechnische Universität München | München, Deutschland | 13.07.2026 | 485 Tsd. € |
Wer gewinnt solche Vergaben?
Die 300 inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand| Trend | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| CZCarl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH | Oberkochen | 3 | 0 | 18.08.2026 | 809 Tsd. € | steigend |
| TGTESCAN GmbH | Dortmund | 3 | 0 | 21.07.2026 | 1,3 Mio. € | steigend |
| EGEV Group E. Thallner GmbH | Neuhaus am Inn | 3 | 0 | 10.07.2026 | - | steigend |
| AUAP und S International GmbH | Donaueschingen | 2 | 0 | 01.09.2026 | - | steigend |
| VGVeeco GmbH | Aschheim | 2 | 0 | 24.08.2026 | - | steigend |
| SGSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | Krailling | 2 | 0 | 03.08.2026 | - | steigend |
| LCLight Conversion GmbH | Vilnius | 2 | 0 | 16.07.2026 | - | steigend |
| RBRaith B.V. | Best | 1 | 1 | 24.06.2026 | 220 Tsd. € | steigend |
| RBRaith BV | PS Best | 1 | 1 | 24.06.2026 | 220 Tsd. € | steigend |
| PTPlasma Therm Europe | Bernin | 1 | 1 | 25.03.2026 | - | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Sachsen (50) · Berlin (34) · Nordrhein-Westfalen (24) · Baden-Württemberg (18) · Bayern (17) · Brandenburg (13)| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | München | 43 | 28.08.2026 |
| FEFraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 | München | 13 | 18.09.2026 |
| FGFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Berlin | 9 | 05.08.2026 |
| IGIHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Frankfurt (Oder) | 5 | 25.06.2026 |
| HBHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH | - | 4 | 04.09.2026 |
| F-Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Berlin | 4 | 17.08.2026 |
| P-Physikalisch - Technische Bundesanstalt Braunschweig | Braunschweig | 4 | 26.05.2026 |
| FJForschungszentrum Jülich GmbH -Team Wissenschaft- | Jülich | 3 | 09.09.2026 |
Laufende Rahmenverträge
bundesweit- Rahmenvertrag über die Lieferung von LithographiemaskenCompugraphics Jena GmbHFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12München, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q1 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet18.06.2025noch 10 Monate31.07.2027
- Lieferung von Reinigungsanlagen für elektronische, elektrische und mechanische GeräteAuftragnehmer nicht veröffentlichtBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.01.2026noch 42 Monate31.03.2030
- Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer KomponentenMeißner Technik Müllenbach GmbHBundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der BundeswehrBonn, Deutschland-1 €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet03.08.2026noch 46 Monate02.08.2030
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Aktiv seit 2024 · 15 VerfahrenLeistungsbereiche
Top 5 nach VerfahrenErfüllungsorte
nach VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche| CMCicor Microtech AG | 1 | 10.08.2026 | 381 Tsd. € |
| RBRaith B.V. | 1 | 24.06.2026 | 220 Tsd. € |
| RBRaith BV | 1 | 24.06.2026 | 220 Tsd. € |
| PTPlasma Therm Europe | 1 | 25.03.2026 | - |
| OIOxford Instruments GmbH | 1 | 20.03.2026 | - |
| FWFalling Walls Foundation gGmbH | 1 | 16.01.2026 | 414 Tsd. € |
| RBRAITH B.V. Nanofabrication | 1 | 26.05.2025 | 383 Tsd. € |
| SWSD Worx GmbH | 1 | 24.10.2024 | 224 Tsd. € |
Laufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem Vertragsende- Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und SupportAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q2 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet01.04.2026noch 3 Monate30.12.2026
- Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, DeutschlandNeuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet02.03.2026noch 4 Monate01.02.2027
- Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und NebenleistungenAuftragnehmer nicht veröffentlichtFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland1 Mio. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet17.06.2026noch 4 Monate01.02.2027
- Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und SupportOxford Instruments GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland900 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet20.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
- Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und SupportPlasma Therm EuropeFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland400 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2026 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet25.03.2026noch 9 Monate30.06.2027
- Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei JahreFalling Walls Foundation gGmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland414 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q2 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet16.01.2026noch 13 Monate31.10.2027
- Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD WorxSD Worx GmbHFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland224 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q3 2027 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet24.10.2024noch 15 Monate31.12.2027
- Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith B.V.Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland220 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
- Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-MetrologieRaith BVFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland220 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q4 2029 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet24.06.2026noch 45 Monate24.06.2030
- Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-SystemRAITH B.V. NanofabricationFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, Deutschland383 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2030 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet26.05.2025noch 46 Monate10.07.2030
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 14.09.2026 | ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern | Offen | - | - |
| 11.08.2026 | AlN‑Keramiksubstrate für das BECCAL‑Projekt | Vergeben | CMCicor Microtech AG | 381 Tsd. € |
| 05.08.2026 | Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-Metrologie | Vergeben | RBRaith BV | 220 Tsd. € |
| 08.07.2026 | Beschaffung eines Ionenstrahlätzers | Offen | - | - |
| 26.06.2026 | Lieferung eines Advanced Alignment Microscope für In-line-Metrologie | Vergeben | RBRaith B.V. | 220 Tsd. € |
| 17.06.2026 | Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und Nebenleistungen | Vergeben | - | 1 Mio. € |
| 15.04.2026 | Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage | Offen | - | - |
| 01.04.2026 | Lieferung eines Bar-Stackers einschließlich Installation, Wartung und Support | Vergeben | - | - |
| 02.03.2026 | Lieferung eines Rasterelektronenmikroskops mit EDXS-Analysesystem und Nebenleistungen | Vergeben | - | - |
| 27.02.2026 | Lieferung eines Ausrichtungsmikroskops für die Inline-Messtechnik | Offen | - | - |
| 19.01.2026 | Koordinierung des European Quantum Flagship über zwei Jahre | Vergeben | FWFalling Walls Foundation gGmbH | 414 Tsd. € |
| 24.11.2025 | Lieferung eines Sauerstoff-Photoresist-Strippers einschließlich Installation und Support | Vergeben | PTPlasma Therm Europe | 400 Tsd. € |
| 24.11.2025 | Lieferung eines Trockenätzers mit Fluor-Chemie sowie Wartung und Support | Vergeben | OIOxford Instruments GmbH | 900 Tsd. € |
| 27.05.2025 | Fünfjähriger Wartungsvertrag für das EBEAM-2-System | Vergeben | RBRAITH B.V. Nanofabrication | 383 Tsd. € |
| 24.10.2024 | Verlängerung der vollständigen Gehaltsabrechnung durch SD Worx | Vergeben | SWSD Worx GmbH | 224 Tsd. € |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenLieferung einer Trockenätzanlage für die Optik- und Photonikforschung
Eggenstein-Leopoldshafen · Offen · Frist 02.10.2026
Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beschafft eine Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord in Eggenstein-Leopoldshafen. Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden; weitere technische Anforderungen sind in der Leistungsbeschreibung festgelegt.
55 % ähnlichBeschaffung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems
Berlin · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem. Weitere Angaben zu technischer Ausstattung, Umfang, Wert oder Ausführungszeitraum enthält der Datensatz nicht. Die Frist ist der 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (Koordinierte Weltzeit, UTC).
54 % ähnlichLieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer für eine Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage
Berlin · Offen
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in Berlin beschafft im Rahmen einer Vereinbarung mit einem Unternehmen eine TEOS-basierte Zusatzkammer des Typs PP100PECVD für eine vorhandene Oxford-Plasma-Pro-100-Clusteranlage. TEOS steht für Tetraethylorthosilikat; PECVD bezeichnet die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung. Die Vereinbarung hat eine Laufzeit von 1.440 Tagen und betrifft den Standort Berlin.
53 % ähnlichBeschaffung eines Laserbearbeitungssystems
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum Umfang und zum Einsatzort liegen nicht vor; die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
52 % ähnlichLaserbearbeitungssystem
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum konkreten Leistungsumfang, zur Größenordnung und zum Einsatzort sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
51 % ähnlichLieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem zur hochauflösenden Analyse fixierter Proben sowie von Protein- und Membranstrukturen. Vorgesehen ist die Lieferung von einem System für die Region DE91C; die angegebene Dauer beträgt 120 Tage. Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (koordinierte Weltzeit) eingereicht werden.
50 % ähnlichBeschaffung eines Aluminium-Targets
Offen · Frist 22.09.2026
Fraunhofer ENAS beschafft ein Aluminium-Target als Lieferleistung in Sachsen. Weitere Angaben zu Menge, technischen Anforderungen und Auftragswert liegen nicht vor; die Angebotsfrist endet am 22. September 2026 um 10:00 Uhr.
48 % ähnlichAnlage zum kombinierten Entbindern und Sintern
München · Offen · Frist 07.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Anlage zum kombinierten Entbindern und Sintern. Der Leistungsort liegt in der Region DED21. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 300 Tage; Angebote können bis zum 7. Oktober 2026 um 09:00 Uhr eingereicht werden.
48 % ähnlichLieferung, Installation und Inbetriebnahme eines vollautomatischen Drahtbonders
Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 28.09.2026
Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft einen fabrikneuen, vollautomatischen Drahtbonder für Forschung und Entwicklung. Zum Leistungsumfang gehören die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung in die Bedienung; das System soll Wedge-Wedge- und Ball-Wedge-Bondprozesse mit Aluminium- und Golddrähten ermöglichen. Angebote müssen bis zum 28. September 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
48 % ähnlichLieferung, Montage und Installation eines halbautomatischen On-Wafer-Probers
Braunschweig · Offen · Frist 14.10.2026
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Braunschweig beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober einschließlich Lieferung, Montage und Installation gemäß Leistungsbeschreibung. Der Auftrag umfasst ein Los und wird in Braunschweig (Region DE911) ausgeführt. Angebote können bis zum 14. Oktober 2026, 09:59 Uhr, eingereicht werden; bei der Vergabe werden Qualität mit 70 Prozent und Preis mit 30 Prozent gewichtet.
48 % ähnlichMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
47 % ähnlichBeschaffung eines kompakten Lasers
Offen · Frist 23.09.2026
Beschafft werden soll ein neuer kompakter Laser. Als Auftraggeber ist Fraunhofer ITEM angegeben; in der Beschreibung wird das Fraunhofer-Institut EMI als beabsichtigende Stelle genannt. Die Ausschreibung ist der Region DE1 zugeordnet, ein genauer Ort und eine Größenordnung sind nicht angegeben; die Frist endet am 23. September 2026 um 21:59 Uhr UTC.
47 % ähnlichHerstellung eines Aluminium-Targets nach Zeichnung
Offen · Frist 22.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beauftragt die Herstellung eines Aluminium-Targets gemäß einer beigefügten technischen Zeichnung. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet; Angebote müssen bis zum 22. September 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
47 % ähnlichBeschaffung von Fizeau-Interferometern
Aachen · Offen · Frist 02.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik in Aachen beschafft Fizeau-Interferometer gemäß den Vergabeunterlagen. Die Ausschreibung umfasst ein Los; ein geschätzter Auftragswert ist nicht angegeben. Angebote müssen bis zum 2. Oktober 2026, 9:00 Uhr mitteleuropäischer Zeit, eingereicht werden; die Lieferzeit wird bewertet, darf jedoch nicht vor Januar 2027 liegen.
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München · Offen · Frist 13.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Gerät des Typs BEOL iLine Stepper. BEOL steht für „Backend of Line“ und bezeichnet einen Bereich der Halbleiterfertigung; vorgesehen ist eine Stückzahl von einem Gerät mit regionalem Bezug zu DED21 (Dresden). Angebote können bis zum 13. Oktober 2026 um 08:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
46 % ähnlichBeschaffung eines Elektronenstrahlverdampfers
Offen · Frist 02.10.2026
Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik beschafft einen Elektronenstrahlverdampfer. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen-Anhalt (NUTS-Code DEE) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden. Angaben zum geschätzten Auftragswert oder zum weiteren Leistungsumfang liegen nicht vor.
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Neubiberg · Offen · Frist 13.10.2026
Die Universität der Bundeswehr München in Neubiberg beschafft eine Anlage, die in den Vergabeunterlagen als „AFP-Anlage“ bezeichnet wird. Zum Auftrag gehören die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme am Standort in der Region DE21H; ein geschätzter Auftragswert ist nicht angegeben. Die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026 um 11:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).
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München · Offen · Frist 30.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein optisches Profilometer. Der Umfang beträgt ein Gerät; der Leistungsort ist der Region DE131 zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 30. September 2026 um 09:00 Uhr UTC. Den Zuschlag erhält ausschließlich das preisgünstigste Angebot.
45 % ähnlichKundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser
München · Offen · Frist 01.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
45 % ähnlichErneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter
Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
45 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
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Auf dem Ursprungsportal angebotene Dateien
Stand: 14.09.2026, 06:21 (Europe/Berlin)
Leistungsverzeichnis ALE-Trockenätzanlage einschl. Nebenleistungen.pdf
PDF · Leistungsverzeichnis · 6 KB · Stand 11.09.2026
A01_VB.pdf
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A02_LB.pdf
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A04_Referenzen.pdf
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A05_Eigenerklärung_Umsatz_Mitarbeiter.pdf
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A06_Mitgliedschaft_BG.pdf
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A07_Unternehmensdarstellung.pdf
PDF · Sonstiges · 3,1 MB · Stand 11.09.2026
A08_Datenschutzerklaerung_Bieter.pdf
PDF · Formular · 3,4 MB · Stand 11.09.2026
A09_Datenschutzerklaerung_Vergabestelle.pdf
PDF · Formular · 1,4 MB · Stand 11.09.2026
A10_wirt-1232-eu-p-teilnahmeantrag_interessenbekundung_04_2025.pdf
PDF · Anschreiben · 86 KB · Stand 11.09.2026
A11_wirt-124-eu-p-erklaerung-ausschlussgruende-07_2026.pdf
PDF · Formular · 128 KB · Stand 11.09.2026
A12_wirt-124-1-einhaltung-restriktiver-massnahmen_final.pdf
PDF · Sonstiges · 133 KB · Stand 11.09.2026
A13_wirt-213_p_angebotsschreiben_ol_23-11-07 (4).pdf
PDF · Anschreiben · 213 KB · Stand 11.09.2026
A14_wirt-235-p-unterauftraege_eignungsleihe_04_2025.pdf
PDF · Sonstiges · 142 KB · Stand 11.09.2026
A15_wirt-236-p-verpflichtungserklaerung-anderer-unternehmen_04_2025 (2).pdf
PDF · Formular · 165 KB · Stand 11.09.2026
A16_wirt-238-p-erklaerung-bietergemeinschaft.pdf
PDF · Formular · 110 KB · Stand 11.09.2026
A17_wirt-2141_bvb_mindeststundenentgelt_tariftreue_teila_0726.pdf
PDF · Vertragsbedingungen · 120 KB · Stand 11.09.2026
A18_wirt-2142_bvb_tariftreue_1000_teila_0726.pdf
PDF · Vertragsbedingungen · 116 KB · Stand 11.09.2026
A19_wirt-2144_bvb_kontrollen_sanktionen_teilb_0726.pdf
PDF · Sonstiges · 150 KB · Stand 11.09.2026
A20_wirt-2143_bvb_verhinderung_von_benachteiligungen_teila_0726.pdf
PDF · Sonstiges · 162 KB · Stand 11.09.2026
A21_wirt-2141-p-bvb-frauenfoerderung.pdf
PDF · Sonstiges · 234 KB · Stand 11.09.2026
A22_FBH_Eigenerklärung _Bieter.pdf
PDF · Formular · 153 KB · Stand 11.09.2026
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
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Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 307.825 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 8 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH · Oberkochen
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
TESCAN GmbH · Dortmund
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
EV Group E. Thallner GmbH · Neuhaus am Inn
3 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
AP und S International GmbH · Donaueschingen
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Veeco GmbH · Aschheim
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · Krailling
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Light Conversion GmbH · Vilnius
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Raith B.V. · Best
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Raith BV · PS Best
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Plasma Therm Europe · Bernin
1 vergleichbare Zuschläge, davon 1 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
- Rahmenvertrag über die Lieferung von Lithographiemasken
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.07.2027
Auftragnehmer: Compugraphics Jena GmbH
Vertragsschluss: 18.06.2025
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Lieferung von Reinigungsanlagen für elektronische, elektrische und mechanische Geräte
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 31.03.2030
Auftragnehmer: Nicht veröffentlicht
Geschätzter Wert: Nicht angegeben
- Lieferung von Frontlader-Reinigungsanlagen zur Reinigung mechanischer Komponenten
Bundesamt für Infrastruktur, Umweltschutz und Dienstleistungen der Bundeswehr · Bonn
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 02.08.2030
Auftragnehmer: Meißner Technik Müllenbach GmbH
Vertragsschluss: 03.08.2026
Zuschlagswert: -1 EUR
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
12489 · Berlin
axel.franke@fbh-berlin.de030 6392 281815 erfasste Verfahren, davon 11 vergeben. 13 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49228996100
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Karolin.Munzert@FBH-Berlin.de+49 30 6392-2610
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 13:00 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 14.09.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 14.09.2026, 06:21 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
VergabeHero verbindet KI-gestützte Ausschreibungssuche, Vergabeunterlagen, Wettbewerbsanalyse und Rahmenverträge mit Eignungsprüfung und gemeinsamer Angebotsorganisation. Unternehmen recherchieren öffentliche Aufträge aus Deutschland und Europa, bewerten Chancen anhand von Leistungsanforderungen und Vergabehistorie und bearbeiten ihre Bewerbung im Team.
- Ausschreibungssuche und KI-Matching
- Öffentliche Bau-, Liefer- und Dienstleistungsaufträge nach Suchbegriffen, CPV-Codes, Regionen und Fristen recherchieren. KI-Matching gleicht Ausschreibungen mit der Leistungsbeschreibung im Suchprofil ab und begründet die Zuordnung. Passende Neuzugänge laufen im gemeinsamen Posteingang zusammen.
- Vergabeunterlagen und Dokumentextraktion
- Verfügbare Vergabeunterlagen aus angebundenen Quellen abrufen und beim Verfahren bündeln. Das Dokumentinventar zeigt tatsächlich hinterlegte Dateien, Abrufstatus und Originalverweise. Fertig extrahierte Dokumenttexte sind über eigene Unterlagenseiten lesbar.
- Leistungsumfang, Lose und Anforderungen
- KI-Zusammenfassungen, Leistungsbeschreibungen, Lose, Eignungsanforderungen und Zuschlagskriterien erleichtern die erste Prüfung. Verfügbare Fristen, Auftragswerte, Verfahrensarten und Kontaktangaben stehen in der Ausschreibungsakte zusammen.
- Wettbewerbsanalyse mit Zuschlagshistorie
- Historische Auftragnehmer vergleichbarer Vergaben anhand gemeinsamer CPV-Codes und der Region untersuchen. Zuschlagshäufigkeiten, Belegverfahren und veröffentlichte Auftragswerte machen die Wettbewerbssituation nachvollziehbar. Frühere Gewinner sind keine bestätigten Bieter des aktuellen Verfahrens.
- Rahmenverträge und Vertragslaufzeiten
- Vergebene Rahmenvereinbarungen mit Auftragnehmern, verfügbaren Zuschlagswerten und voraussichtlichen Vertragsenden recherchieren. Verwandte Rahmenverträge helfen, das Marktumfeld und mögliche künftige Beschaffungsbedarfe einzuordnen. Ein Vertragsende bestätigt keine Neuausschreibung.
- Auftraggeber und Marktüberblick
- Öffentliche Auftraggeber mit ihren veröffentlichten Kontaktdaten, laufenden Verfahren und erfassten früheren Vergaben kennenlernen. Ähnliche offene Ausschreibungen und verknüpfte Zuschläge unterstützen die Recherche nach weiteren Geschäftschancen.
- Eignungsprüfung mit eigenen Checklisten
- Eigene Prüfkriterien in wiederverwendbaren Checklisten organisieren und Ausschreibungen mit KI-Unterstützung prüfen. Ergebnisse, Begründungen und offene Punkte helfen dem Team, die Entscheidung über eine Bewerbung vorzubereiten.
- Angebotsorganisation und Projektmanagement
- Aus einer Ausschreibung ein gemeinsames Projekt erstellen. Aufgaben, Abgabeunterlagen, Zuständigkeiten, Fristen, Kommentare und Bearbeitungsstände bündeln und die Bewerbung von der Prüfung bis zum eingereichten Angebot und Ergebnis verfolgen.
Die Angaben zur konkreten Ausschreibung stehen in den Abschnitten darüber. Umfang und Verfügbarkeit der Unterlagen und Marktdaten hängen vom erfassten Verfahren ab. Persönliche Suchprofile und Teamfunktionen erfordern ein Konto; KI-Matching und KI-Checklistenprüfungen eine entsprechende Freischaltung. Die aktuellen Leistungen und Tarife stehen auf der Preisseite.
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