Maskenloses Lithographiesystem zur hochpräzisen Belichtung im Submikrometerbereich

Leistungen nach Losen (1)

• LOT-0000 · S_Direktbelichter_SP2026

  1) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung: Hahn-Schickard gGmbH; Straße, Hausnummer: Allmandring 9b; Postleitzahl: 70569; Ort: Stuttgart; Land: DE Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o. Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o. 2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: S_Direktbelichter_SP2026 3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur elektronisch abgegeben werden. 4) Ggf. in den Fällen des § 29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen: nicht angegeben 5) Art und Umfang der Leistung: Konstruktion, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Abnahme/Dokumentation eines neuen maskenlosen Lithographiesystems, das eine hochpräzise, maskenlose Belichtung von Fotolacken im Submikrometerbereich ermöglicht und dadurch die Herstellung sowohl temporärer als auch permanenter Masken erlaubt. Abhängig vom verwendeten Fotolack kann diese Technologie unter anderem dazu eingesetzt werden, Metallschichten selektiv zu ätzen oder abzuscheiden sowie mikrofluidische Kanäle herzustellen. Die Einsatzbereiche des Systems reichen von flexiblen F&E-Prozessen bis zur Produktion kleiner und mittlerer Losgrößen. Maßgeblich ist die Einhaltung der Spezifikation. Ort(e) der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Hahn-Schickard gGmbH; Straße, Hausnummer: Allmandring 9b; Postleitzahl: 70569; Ort: Stuttgart; Land: DE 6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe 7) Nebenangebote sind nicht zugelassen. 8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Ende: 30.06.2027 9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform evergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/3466075/zustellweg-auswaehlen. 10) Angebotsfrist: 16.11.2026, 12:00 Uhr; Bindefrist: 01.12.2026 11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: nicht angegeben 12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: 30% Anzahlung bei Vorlage einer entsprechenden Bankbürgschaft; 60% nach Lieferung; 10% nach Schlussabnahme und vollständiger Fehlerbeseitigung. 13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde; Nachweis einer entsprechenden Berufs- oder Haftpflichtversicherung; Eigenerklärung über das Einhalten des Tariftreue- und Mindestlohngesetzes und über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben. 14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: Wirtschaftlichkeit (siehe Ziff. 7.13 Spezifikation) Labortechnik/ Messtechnik

  Frist: 16.11.2026, 01:00 (Europe/Berlin)