Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- 06.10.2026, 20:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- 500.000 EUR
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 07.09.2026
- CPV-Codes
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)
- Bekanntmachung
- evergabe.de
- Bekanntmachungsnummer
- 616021-2026
- Verfahrensnummer
- 01a0666c-83db-4c05-9cd2-77a9f02d93c7
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Kurzbeschreibung
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
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Leistungsbeschreibung
Lieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)500.000 EUR
Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie) zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken.
Frist: 06.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
entfällt
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)
- siehe Leistungsverzeichnis
- 35 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 20 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 30 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
Vergabeunterlagen
14 Dateien laut Portal · Stand 28.09.2026 Bieterinformation zu Fragen 18_09_2026.pdf | Sonstiges | - |
| Bieterinformation zu Fragen 24_09_2026.pdf | Sonstiges | - |
| LV Maskaligner.pdfLV | Leistungsverzeichnis | - |
| wirt-123.2 eu p.pdf | Sonstiges | - |
| wirt-124 eu p.pdf | Sonstiges | - |
| wirt-235 p.pdf | Sonstiges | - |
| wirt-236 p.pdf | Sonstiges | - |
| 125.pdf | Sonstiges | - |
| 234.pdf | Sonstiges | - |
| 631 eu.pdf | Sonstiges | - |
| 632 eu.pdf | Sonstiges | - |
| 633.pdf | Sonstiges | - |
| 634.pdf | Sonstiges | - |
| 635.pdf | Sonstiges | - |
Anforderungen
entfällt
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 23.10.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 733863-2026
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