Lieferung einer Anlage zur thermischen und plasma-gestützten Atomlagenabscheidung

Leistungen nach Losen (1)

• LOT-0001 · Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

  Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.

  Frist: 30.11.2026, 01:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben. Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln. Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.

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