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Polierpads für eine Mirra-Anlage zum Oxidpolieren von 8-Zoll-Wafern

Status
Offen
Angebotsfrist
29.10.2026, 14:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Wert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
Erfüllungsregion
Sachsen, Deutschland
Verfahren
Verfahrensart unbekannt
Auftragsart
Nicht angegeben
Veröffentlicht
06.10.2026
CPV-Codes
Schleifmittel (14810000)
Bekanntmachung
deutsche-evergabe.de
Bekanntmachungsnummer
25901496

Fragenkatalog

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Kurzbeschreibung

Fraunhofer ENAS beschafft Polierpads für eine Mirra-Anlage, die zum Oxidpolieren von Wafern mit einem Durchmesser von 8 Zoll eingesetzt werden. Die Ausschreibung ist der Region DED41 zugeordnet; die Angebotsfrist endet am 29. Oktober 2026.

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Leistungsbeschreibung

Pad für Mirra Anlage, gezielt für Oxide Polieren von 8 Zoll Wafer. Pads für Mirra

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Pads für Mirra

    Pad für Mirra Anlage, gezielt für Oxide Polieren von 8 Zoll Wafer. Pads für Mirra

    Frist: 29.10.2026, 01:00 (Europe/Berlin)

Vergabeunterlagen

20 Dateien laut Portal · Stand 07.10.2026
C_Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe_05-26.pdfFormular105 KB
C_Self-declaration regarding the absence of exclusion criteria_05-26.pdfSonstiges77 KB
Lieferantenbankauskunft_Unternehmen.pdfSonstiges71 KB
LV_421691.pdfLVLeistungsverzeichnis17 KB
PR1310246 _award criteria Zuschlagskriterien.pdfSonstiges168 KB
PR1310246 _AwardConditions.pdfSonstiges161 KB
PR1310246 _eligibility criteria Eignungskriterien.pdfSonstiges103 KB
PR1310246 _KfmBedingungenCommercialTerms-2022-4-21.pdfSonstiges169 KB
PR1310246 _technical spezification Leistungsverzeichnis.xlsxLVLeistungsverzeichnis38 KB
1_B_AEB-SPT_04-2026.pdfSonstiges761 KB
1_B_Sustainabilitystandards_DE_06-2024.pdfSonstiges239 KB
1_B_Sustainabilitystandards_ENG_06-2024.pdfSonstiges273 KB
1_C_Export+Classification+Request+Form.pdfSonstiges211 KB
1_handout award criteria_Handreichung Zuschlagskriterien.pdfSonstiges133 KB
244_Datenverarbeitung.pdfSonstiges34 KB
631_UVgO_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots.pdfAnschreiben294 KB
632_UVgO_Bewerbungsbedingungen.pdfAnschreiben31 KB
633_UVgO_Angebotsschreiben_ohne_Losen.pdfAnschreiben250 KB
634_UVgO_Besondere_Vertragsbedingungen.pdfVertragsbedingungen86 KB
635_UVgO_Zusaetzliche_Vertragsbedingungen.pdfVertragsbedingungen25 KB

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 07.10.2026BekanntmachungBekanntmachung 25901496

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