EUV-Target für eine Quelle extrem ultravioletter Strahlung

LOT-0001 · EUV-Targets

Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode"

50 %

Es soll möglich sein auch folgende flüssige Metalle bzw. Legierungen zu nutzten (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung) - Bismuth (+2,5 BP) - Indium-Bismuth Legierung (+2,5 BP) - Gallium-Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP) - Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP)

25 %

Es soll möglich sein Feststoffe als Target zu nutzen, diese sollen zum Beispiel folgende sein (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung): - Aluminium (+1 BP) - Kupfer (+1 BP) - Gold (+1 BP) - Silber (+1 BP) - Gadolinium (+1 BP) - Chrom (+1 BP) - Wolfram (+1 BP) - Molybdän (+1 BP) - Aluminiumoxid (+1 BP) - Siliziumnitrid (+1 BP)

15 %

Angebotslegung für ein Gitterbasiertes Spektrometer zur Charakteri-sierung der spektralen Eigenschaften der EUV-Quelle. Die EUV-Kamera wird vom Anwender gestellt. Das Spektrometer muss fol-gende Parameter erfüllen: - Wellenlängenbereich: 5 nm bis 25 nm (2BP) - Auflösung: ?/??>100 (1BP) bzw. ?/??>400 (2 BP) - Spektrometer kalibriert mit Nachweis. Dieser Nachweis ist mit einzureichen. (2 BP) - Inklusive Shutter zum Schutz des Detektors (2 BP) - Anschlussflansch für den Detektionsport: KF 40 (1 BP) - Anschlussflansch für die EUV-Kamera: CF100 (1 BP)

10 %