Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage mit Aufstellung und Inbetriebnahme
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 08.01.2027, 10:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- 336.134,45 EUR
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Universität Oldenburg
- Erfüllungsregion
- Niedersachsen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 04.11.2026
- CPV-Codes
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)
- Bekanntmachung
- vergabe.niedersachsen.de
- Bekanntmachungsnummer
- 763894-2026
- Verfahrensnummer
- d7d33787-0ef1-4cf5-84eb-f19d8ba91fd8
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Universität Oldenburg beschafft für ihr Institut für Physik eine Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage einschließlich Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme. Damit sollen unter anderem homogene optische und metallische Beschichtungen sowie Bragg-Spiegel aus bis zu 40 Einzelschichten hergestellt werden; der geschätzte Auftragswert beträgt rund 336.000 Euro. Der Auftrag betrifft Oldenburg in Niedersachsen, die Angebotsfrist endet am 8. Januar 2027.
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Leistungsbeschreibung
Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage
Das Institut für Physik der Uni Oldenburg benötigt eine Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage zur Herstellung sehr homogener optischer und metallischer Beschichtungen auf strukturierten und planen Substraten. Vorrangig sollen Bragg-Spiegel aus einem Titandioxid/Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid/Siliziumdioxid Schichtstapel aus bis zu 40 Einzellagen und einer Gesamtschichtdicke von bis zu 5µm hergestellt werden. Zusätzlich soll in der Anlage auch die Herstellung von dünnen Metallschichten mit einem thermischen Verdampfer sowie die Substratreinigung mittels Ionenquelle möglich sein. Die optischen Schichten sollen In-Situ mit einem bereits in der Arbeitsgruppe vorhandenen Reflektometriesystem vermessen werden. Für das Reflektometriesystem benötigt die Beschichtungsanlage eine Schnittstelle, über die eine Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich ist.
Frist: 08.01.2027, 01:00 (Europe/Berlin)
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Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 04.11.2026BekanntmachungBekanntmachung CXQ6YYBRS3V
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