Röntgenbasiertes Messsystem (IPMS-MRS10.1)
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein röntgenbasiertes Messsystem (IPMS-MRS10.1) für die Kontaminationsmessung an Halbleitern. Der Auftrag umfasst 1 Stück Ultrasonic or X-Ray based measurement system mit Optionen für verschiedene Kontaminationsgrade und eine verlängerte Garantie. Die Lieferzeit beträgt 360 Tage.
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X-ray based measurement system (IPMS-MRS10.1)
Das Fraunhofer-Institut beschafft ein hochspezialisiertes Röntgen-Messsystem zur Kontaminationsanalyse, das in der Halbleiterfertigung und Materialforschung eingesetzt wird. Das System misst Verunreinigungen auf Nicht-Edelmetallen (z. B. Aluminium, Titan) und Edelmetallen (Gold, Palladium, Platin) in extrem niedrigen Konzentrationen. Der Auftrag ist als Einzelbeschaffung (1 Stück) ausgeschrieben, enthält aber Optionen für erweiterte Kontaminationsgrenzwerte und eine 24-monatige Garantie. Die technische Bewertung hat ein Gewicht von 65 %, der Preis 35 %. Fraunhofer ist Deutschlands größte Organisation für angewandte Forschung.
Zentrale Anforderungen
5 Punkte- Nachweis der Eignung gemäß nationalem Recht (Ausschlussgründe)
- Technische Kompetenz im Bereich Röntgen-Messtechnik
- Lieferung eines Ultrasonic or X-Ray based measurement systems
- Erfüllung der Kontaminationsgrenzwerte (Optionen 1 und 2)
- Optional: 24-monatige Garantiegewährleistung
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Aufteilung in Lose
1 Lot1 Stück - Ultrasonic or X-Ray based measurement system Optionen: Option 1 - LV Pos. 16.2 - Contamination level for non-precious metals (" Al, Ti ≤ 50.0*E10 at/cm², all other metals ≤ 5.0*E10 at/cm²") Option 2 - LV Pos. 16.4 - Contamination level for noble metals (Ag, Au, Pd, Pt, Ru) (Confirmation of precious metal concentration < 0.05*E10 at/cm2 (< LOD)) Option 3 - LV Pos. 20.1 - Please offer to extend the warranty by a further 12 months to a total of 24 months. (Please specify as an option. If an extension of the warranty is offered, the full number of points will be awarded, otherwise 0 points will be awarded.) Option 4 - LV Pos. 20.2 - Please offer an Option to handle transparent substrates (like glas wafers) (Please specify as an option. If an option is offered, the full number of points will be awarded, otherwise 0 points will be awarded.)
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality65%
Technical Aspects
- price35%
Preis
Zeitplan
- 29. Apr. 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 22. Mai 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung