Beschaffung eines RIE-Cluster-Systems für DRIE- und Cryo-Etch-Verfahren

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht für ihren Standort in Chemnitz ein hochspezialisiertes RIE-Cluster-System. Dieses Gerät wird in der Halbleiterforschung für spezielle Ätzverfahren eingesetzt, namentlich das DRIE-Verfahren (Deep Reactive Ion Etching) und das Cryo-Etch-Verfahren, bei denen Strukturen in Silizium oder andere Materialien geätzt werden. Der Auftrag umfasst die Lieferung einer einzelnen Anlage, die innerhalb von etwa einem Jahr bereitgestellt werden soll. Da es sich um ein komplexes technisches Gerät für die Forschung handelt, fließen neben dem Preis auch die technische Ausführung und Nachhaltigkeitsaspekte in die Bewertung ein.