Beschaffung einer generalüberholten Trockenätzkammer

Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) benötigt eine generalüberholte Trockenätzkammer für Forschungs- und Entwicklungszwecke. Bei einer Trockenätzkammer handelt es sich um ein hochspezialisiertes Gerät aus der Halbleiterfertigung, das mittels Plasma oder chemischer Gase Strukturen in Wafer ätzt. Der Auftrag umfasst die Lieferung und Inbetriebnahme des Geräts innerhalb eines Zeitraums von 480 Tagen. Da das Gerät generalüberholt sein soll, liegt der Fokus auf einer kosteneffizienten und nachhaltigen Beschaffung im Bereich der Labortechnik.