Beschaffung eines Nano-Röntgen-Computertomographie-Inspektionssystems

1 Stück nano-XCT inspection tool Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, die Sicherheit und die Lebensdauer innovativer Materialien in Bauteilen und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise auf dem Gebiet der Fehleranalysen an elektronischen Bauelementen. Das Fraunhofer IMWS wird seine Kompetenzen im Bereich der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung ausbauen, um den Hochlauf neuer Technologien zur heterogenen Integration zu unterstützen und dabei die Herausforderungen hinsichtlich Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Um die zerstörungsfreie Detektion und Bewertung von Strukturabweichungen, Kontaktfehlern und Schadensmerkmalen sowie deren möglichst präzise Lokalisierung innerhalb des Packages zu ermöglichen - und somit die Grundlage für weiterführende hochauflösende physikalische Diagnostiken zu schaffen -, ist der Einsatz von Systemen der neuesten Generation der Röntgenmikroskopie (XRM) erforderlich. Das Gerät sollte die Möglichkeit bieten, verschiedene Targetmaterialien in Kombination mit Mikroskopoptiken und unterschiedlichen Detektortechnologien einzusetzen, um die submikroskopische Struktur sowie die heterogenen Materialkombinationen von QMI- und 2.5/3D-Bauelementen auflösen zu können. Die Option zur Erweiterung um bzw. Nutzung einer zweiten Röntgenquelle zur Bildgebung von Materialien mit geringer Absorption wäre eine sinnvolle Ergänzung, um heterogene Materialkombinationen bei hohem Probendurchsatz und gleichzeitig bestmöglicher Detail- und Kontrastauflösung analysieren zu können. Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines funktionsfähigen Komplettsystems, einschließlich Montage, Inbetriebnahme sowie aller erforderlichen Anschlüsse, Zulassungen/Zertifizierungen und der für den Betrieb notwendigen Software. Die Anforderungen an ein hochmodernes Präzisions-Röntgenmikroskop für hochintegrierte 2.5/3D-Bauelemente sind im Folgenden beschrieben Optionen: 1.6.3. Scanning-Beugungskontrasttomographie Bildgebungsverfahren zur Darstellung und Analyse kristallographischer Korndaten mittels Röntgenbeugung. 1.7.2. Software "Software/Steuerung" Software oder zusätzliche Softwaremodule zur Optimierung von Messprozessen (hinsichtlich Durchsatz, Ergebnisqualität usw.) und zur Optimierung von Messdatensätzen (Artefaktreduktion, Volumenrekonstruktion, Analysewerkzeuge usw.). Möglichkeit zum Zugriff auf Geräteeinstellungen zur individuellen Anpassung von Messroutinen, zur Triggereinstellung über externe Schnittstellen und zur Auswertung von Gerätedaten.