Installation von Gasversorgungs- und Vakuumabgassystemen im Reinraum des Forschungsgebäudes INCYTE

An der Universität Siegen sollen, innerhalb des Reinraums (Gesamtfläche Grau/Weiß: 600m²) des Forschungsgebäudes INCYTE, Gasversorgungs- und Vakuumabgas- Installationsarbeiten zur Festinstallation von vorhandenen Großgeräten (3 x PVD, CVD, PECVD, ALD, RIE,...) erfolgen. Die Installationen erfordern den Anschluss der Anlagen an das vorhandene Gasnetz mit Anbringung von zusätzlichen Druckmanometern, Verteilern, Armaturen und Absperrventilen. Bei den Gasen handelt es sich zum Teil um explosive, hoch korrosive und toxische Gase, die eine Ausführung der Gasleitungen in orbital geschweißtem elektropoliertem Edelstahl notwendig machen. Zusätzlich müssen zwingend die den Gasarten entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen entsprechend der Normen und üblichen Installationsvorgehen vollumfänglich berücksichtigt werden. Namentliche Gase sind: SiH4, GeH4, PH3, B2H6, H2, CH4, SF6, Ar, O2, N2, C4F8, CHF3, CF4, He. Weiterhin werden die Abgasleitungen Prozessanlagen an die hausinterne Abluft angeschlossen. Dazu sind 1. feste KF-Verrohrungen zwischen den Prozesskammern inkl. eventueller Turbopumpe und den entsprechenden Pumpständen (Technikzentrale unterhalb des Grau-/ Weißraums) vorgenommen 2. Anschlüsse der Großgeräte an Gaswäscher (wird bauseits beigestellt) sowie 3. Anschlüsse der Großgeräte an das Abgasnetz und die Kühlwasserversorgung des Hauses vorzunehmen. Für sämtliche zu installierenden Medien (Gas, Wasser, Vakuumabgas) müssen zwingend vollständige Qualifizierungsprotokolle, Prüfdokumente (inkl. notwendiger Dichtigkeitsprüfmessungen, ...) inkludiert werden. Dabei ist zusätzlich zu den zu installierenden Versorgungsmedien eine vorhandene maschineninterne Verrohrung einer PECVD-Anlage (Gase: SiH4, GeH4, PH3, B2H6, H2, CH4, SF6, Ar, O2) entsprechend selbiger Kriterien zu qualifizieren. Die Beauftragung umfasst zwei HookUp Phasen. Phase 1 ist geplant für den Zeitraum Q4/25 - Q1/26 und Phase 2 vorr. Q2/26 - Q4/26.