Belackungs- und Entwicklungsanlage für 150mm und 200mm Wafer
Was wird ausgeschrieben
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart beschafft eine Belackungs- und Entwicklungsanlage für die Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern. Die Anlage soll für die iLine- und E-Beam-Lithografie eingesetzt werden und beinhaltet optional einen Vollwartungsvertrag. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate.
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Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart sucht eine spezialisierte Anlage, um Wafer – das sind dünne Scheiben aus Halbleitermaterial, die als Basis für Mikrochips dienen – mit Fotolacken zu beschichten und zu entwickeln. Diese Anlage ist für die Forschung in der Mikroelektronik entscheidend, insbesondere für die sogenannte Lithografie, bei der Strukturen auf die Wafer übertragen werden. Zusätzlich zur Hardware soll ein optionaler Wartungsvertrag mit einer Garantie für die Betriebsbereitschaft der Anlage angeboten werden. Die Lieferung der Anlage muss innerhalb von 18 Monaten nach der Auftragsvergabe erfolgen.
Aufteilung in Lose
1 LotDas Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.
Zeitplan
- 29. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 30. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung