Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: KLA Corporation
Auftragswert
unbekannt
Zuschlag am
20. Juli 2026
HF-Gasphasen-Ätzanlage

Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft eine HF-Gasphasen-Ätzanlage für den Einsatz in der Halbleiterforschung. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts innerhalb eines Zeitrahmens von 210 Tagen. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren mit einer Gewichtung von 60 % für die technische Qualität und 40 % für den Preis.
Vollständige Beschreibung anzeigen
PR1209440-2480-W HF-Gas Phase Etching Tool
Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht für ihre Forschungseinrichtungen eine spezielle Ätzanlage, die mit Fluorwasserstoff-Gas (HF) arbeitet. Solche Anlagen werden in der Mikroelektronik und Halbleiterfertigung eingesetzt, um Oberflächen präzise zu bearbeiten oder Schichten abzutragen. Der Auftrag beinhaltet nicht nur die reine Lieferung, sondern auch die technische Integration des Geräts in den Laborbetrieb innerhalb von etwa sieben Monaten. Da es sich um hochspezialisierte Forschungstechnik handelt, liegt ein starker Fokus auf der technischen Leistungsfähigkeit des Geräts.
Aufteilung in Lose
1 LotHF-Gas Phase Etching Tool
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality60%
Technische Aussführung
- price40%
Preis
Zeitplan
- 22. Juli 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 20. Juli 2026Zuschlag erteiltZuschlag an KLA Corporation