Vergabeentscheid

Zuschlag erteilt

Auftragsgewinner: KLA Corporation

Auftragswert

unbekannt

Zuschlag am

20. Juli 2026

TED·506721-2026

HF-Gasphasen-Ätzanlage

Sachsen
München, Germany·Veröffentlicht 22. Juli 2026
Industrie- und LaborbedarfForschung und EntwicklungÖffentliche VerwaltungHalbleitertechnikForschung Und EntwicklungLaborausstattungHochtechnologieFraunhofer Gesellschaft
Auftragswert
~€350k
Geschätzt · Konfidenz low
Einreichungsfrist
Leistungsbeschreibung

Was wird ausgeschrieben

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft eine HF-Gasphasen-Ätzanlage für den Einsatz in der Halbleiterforschung. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts innerhalb eines Zeitrahmens von 210 Tagen. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren mit einer Gewichtung von 60 % für die technische Qualität und 40 % für den Preis.

Vollständige Beschreibung anzeigen

PR1209440-2480-W HF-Gas Phase Etching Tool

VergabeHero-Einschätzung

Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht für ihre Forschungseinrichtungen eine spezielle Ätzanlage, die mit Fluorwasserstoff-Gas (HF) arbeitet. Solche Anlagen werden in der Mikroelektronik und Halbleiterfertigung eingesetzt, um Oberflächen präzise zu bearbeiten oder Schichten abzutragen. Der Auftrag beinhaltet nicht nur die reine Lieferung, sondern auch die technische Integration des Geräts in den Laborbetrieb innerhalb von etwa sieben Monaten. Da es sich um hochspezialisierte Forschungstechnik handelt, liegt ein starker Fokus auf der technischen Leistungsfähigkeit des Geräts.

Lose

Aufteilung in Lose

1 Lot
LOT-0000HF-Gas Phase Etching Tool - PR1209440-2480-W

HF-Gas Phase Etching Tool

CPV 42990000210 Tage Laufzeit
Bewertung

Zuschlagskriterien

2 Kriterien
  • quality

    Technische Aussführung

    60%
  • price

    Preis

    40%
Zeitleiste

Zeitplan

  1. 22. Juli 2026
    Bekanntmachung veröffentlicht
    Auf TED publiziert
  2. 20. Juli 2026
    Zuschlag erteilt
    Zuschlag an KLA Corporation

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