Beschaffung eines HF-Gasphasenätzsystems
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines HF-Gasphasenätzsystems (HF-Gas Phase Etching Tool) zur Verwendung in der Forschung aus. Der Auftrag umfasst die Bereitstellung und Inbetriebnahme des Geräts innerhalb eines Zeitraums von 210 Tagen. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren mit einer Gewichtung von 60 % für die technische Ausführung und 40 % für den Preis.
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PR1209440-2480-W HF-Gas Phase Etching Tool
Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht für einen ihrer Standorte in Dresden ein spezielles Laborgerät für die Halbleiterfertigung, ein sogenanntes HF-Gasphasenätzsystem. Dieses Gerät wird benötigt, um Oberflächen mittels Fluorwasserstoff-Gas (HF) präzise zu ätzen, was ein Standardprozess in der Mikroelektronik-Forschung ist. Der Auftrag umfasst die Lieferung und Inbetriebnahme des Systems innerhalb von etwa sieben Monaten. Da es sich um hochspezialisierte Forschungstechnik handelt, liegt der Fokus bei der Auswahl des Anbieters zu 60 Prozent auf der technischen Qualität und zu 40 Prozent auf dem Preis.
Zentrale Anforderungen
2 Punkte- Einhaltung der nationalen Ausschlussgründe gemäß Vergaberecht
- Erfüllung der technischen Spezifikationen gemäß Vergabeunterlagen
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. Siehe Vergabeunterlagen
Aufteilung in Lose
1 LotHF-Gas Phase Etching Tool
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality60%
Technische Aussführung
- price40%
Preis
Zeitplan
- 10. Juni 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 15. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung