Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für Metallbeschichtung
Was wird ausgeschrieben
Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (IAF) in München beschafft eine elektronenstrahlgestützte Verdampfungsanlage zur Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern. Die wassergekühlte Hochvakuum-Anlage ermöglicht die Abscheidung von Metallen im vertikalen und schrägen Winkel. Die Lieferung und Inbetriebnahme ist innerhalb von 210 Tagen nach Auftragserteilung vorgesehen.
Vollständige Beschreibung anzeigen
Evaporation System (IAF-06.1)
Das Fraunhofer IAF in München sucht einen Lieferanten für eine spezielle Beschichtungsanlage, die Metalle auf Halbleiter-Wafer aufdampft. Die Maschine arbeitet im Hochvakuum, ist wassergekühlt und kann Wafer mit einem Durchmesser von 150 Millimetern bearbeiten. Nach Vertragsunterzeichnung sollen Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme innerhalb von 210 Tagen abgeschlossen sein. Der Zuschlag wird zu 65 Prozent nach technischer Qualität und zu 35 Prozent nach Preis vergeben. (interne Bezeichnung des Auftraggebers: IAF-06.1, Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage)
Zentrale Anforderungen
5 Punkte- Referenzen für Hochvakuum-Beschichtungsanlagen
- Erfahrung mit 150-mm-Wafer-Systemen
- Technische Dokumentation auf Deutsch oder Englisch
- Lieferung und Inbetriebnahme innerhalb von 210 Tagen
- Nachweis der Eignung nach nationalem Vergaberecht
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Aufteilung in Lose
1 Lot1 Evaporation System Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallbeschichtung. Die Anlage soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Es handelt sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt).
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality65%
Technik
- price35%
Preis
Zeitplan
- 11. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 15. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung