Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für Metallbeschichtung
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft eine Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage (Evaporation System) für das Fraunhofer IAF. Die Anlage dient der Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern und ist als wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt) konzipiert. Die Lieferzeit beträgt 210 Tage.
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Evaporation System (IAF-06.1)
Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Materialforschung (IAF) beschafft eine Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallbeschichtung von Halbleiterwafern. Bei dieser Anlage handelt es sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage, die Metallabscheidungen im vertikalen und schrägen Winkel ermöglicht — das Substrat kann um 45 Grad geneigt werden, was für spezielle Beschichtungsprozesse wichtig ist. Die Anlage ist für 150-mm-Wafer ausgelegt und wird am Standort in Baden-Württemberg (Rhein-Neckar-Kreis) eingesetzt. Die Lieferzeit beträgt rund 7 Monate. Bewerber müssen die einschlägigen nationalen Ausschlussgründe erfüllen; nähere Eignungsnachweise sind in den Vergabeunterlagen definiert.
Zentrale Anforderungen
3 Punkte- Nachweis der Erfüllung aller nationalen Ausschlussgründe
- Eignung für Lieferung hochwertiger Forschungsgeräte
- Technische Kompetenz im Bereich Vakuumbeschichtungstechnologie
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
Aufteilung in Lose
1 Lot1 Evaporation System Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallbeschichtung. Die Anlage soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Es handelt sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt).
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality65%
Technik
- price35%
Preis
Zeitplan
- 8. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 8. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung