EUV-Targets inklusive Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme, Montage und Schulung
Was wird ausgeschrieben
Das GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung beschafft EUV-Targets (Zielkörper für extreme UV-Strahlung) mit zugehöriger Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission. Die Beschaffung umfasst die Lieferung, komplette Aufstellung, Inbetriebnahme, Montage und Schulung. Das Projekt wird durch die Thüringer Aufbaubank gefördert (Vorhaben-Nr.: 2025 FGI 0001) und hat eine Laufzeit von 360 Tagen. Die Angebote werden nach der Preis-Quotient-Methode (50%) sowie verschiedenen Qualitätskriterien (z. B. Nutzbarkeit flüssiger Metalle und Feststoff-Targets, Spektrometer) bewertet.
Vollständige Beschreibung anzeigen
Mit der zu Beschaffenden EUV-Quelle, inklusive Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission sollen wissenschaftliche Aspekte beleuchtet werden. Dazu gehören vor allem Untersuchungen der Emissionsabhängigkeiten von den Parametern der eingestrahlten Laserleistung. Zusätzlich soll dieser Aufbau als Alternative zu bereits am HI Jena entwickelten kohärenten EUV-Quellen hinsichtlich ihrer Anwendung für bildgebende Verfahren untersucht werden.
Das GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung in Darmstadt beschafft EUV-Targets — das sind Zielkörper für extreme Ultraviolett-Strahlung — für wissenschaftliche Untersuchungen am Helmholtz Institut Jena. Die Beschaffung dient der Erforschung von Emissionsabhängigkeiten von Laserleistungsparametern und soll als Alternative zu dort entwickelten kohärenten EUV-Quellen für bildgebende Verfahren getestet werden. Neben den Targets selbst sind Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme, Montage und Schulung enthalten. Das Projekt wird von der Thüringer Aufbaubank gefördert und läuft 360 Tage. Bieter müssen eine Eignungserklärung nach §§ 123, 124 GWB vorlegen; die Auftragsvergabe erfolgt zu 50% nach Preis und zu 50% nach Qualitätskriterien wie der Nutzbarkeit verschiedener Target-Materialien (flüssige Metalle wie Bismut, Indium-Bismuth-Legierung sowie Feststoffe wie Aluminium, Kupfer) und einem anzubietenden Spektrometer zur Charakterisierung der spektralen Eigenschaften.
Zentrale Anforderungen
6 Punkte- Eignungserklärung nach §§ 123, 124 GWB
- Lieferung und Montage von EUV-Targets
- Inbetriebnahme und Schulung
- Angebot eines gitterbasierten Spektrometers
- Kompatibilität mit flüssigen Metall-Targets (Bismut, Indium-Bismuth)
- Kompatibilität mit Feststoff-Targets (Aluminium, Kupfer)
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
siehe GSI-Formblatt-Eignung: Eigenerklärung zur Eignung nach §§ 123, 124 GWB als Bestandteil der Eignungsunterlagen, die das Unternehmen eingereicht hat. GSI behält sich eine Nachforderung von Unterlagen vor. Die Vertragsspartner können sich auf eine Nachforderung aber nicht verlassen. Letztendlich unvollständige Angebote werden nicht bezuschlagt.
Aufteilung in Lose
1 LotEUV-Target gemäß Leistungsvberzeichnis inklusive Lieferung, komplette Aufstellung, Inbetriebnahme, Montage und Schulung Das hier ausgeschriebene Projekt wird gefördert und finzanziert durch die Thüringer Aufbaubank. Förderprogramm: Richtlinie zur Förderung der Forschung (FTI-Thüringen FORSCHUNG) vom 13.06.2022, ThürStAnz. Nr. 28/2022, S. 783 f., in Kraft getreten zum 14.06.2022, zuletzt geändert zum 30.07.2024 (ThürStAnz. Nr. 34/2024, S. 1184) Vorhabens-Nr.: 2025 FGI 0001 Vorhabenskurzbezeichnung: Target zur EUV-Erzeugung (TEE)
Zuschlagskriterien
4 Kriterien- price50%
Preiskriterium für "Preis-Quotient-Methode"
- quality25%
Es soll möglich sein auch folgende flüssige Metalle bzw. Legierungen zu nutzten (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung) - Bismuth (+2,5 BP) - Indium-Bismuth Legierung (+2,5 BP) - Gallium-Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP) - Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP)
- quality15%
Es soll möglich sein Feststoffe als Target zu nutzen, diese sollen zum Beispiel folgende sein (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung): - Aluminium (+1 BP) - Kupfer (+1 BP) - Gold (+1 BP) - Silber (+1 BP) - Gadolinium (+1 BP) - Chrom (+1 BP) - Wolfram (+1 BP) - Molybdän (+1 BP) - Aluminiumoxid (+1 BP) - Siliziumnitrid (+1 BP)
- quality10%
Angebotslegung für ein Gitterbasiertes Spektrometer zur Charakteri-sierung der spektralen Eigenschaften der EUV-Quelle. Die EUV-Kamera wird vom Anwender gestellt. Das Spektrometer muss fol-gende Parameter erfüllen: - Wellenlängenbereich: 5 nm bis 25 nm (2BP) - Auflösung: ?/??>100 (1BP) bzw. ?/??>400 (2 BP) - Spektrometer kalibriert mit Nachweis. Dieser Nachweis ist mit einzureichen. (2 BP) - Inklusive Shutter zum Schutz des Detektors (2 BP) - Anschlussflansch für den Detektionsport: KF 40 (1 BP) - Anschlussflansch für die EUV-Kamera: CF100 (1 BP)
Zeitplan
- 8. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 3. Aug. 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung