Erweiterung einer galvanischen Abscheideanlage um Gold-Abscheidekammer, Vacuum-Pre-Wet-Chamber und Waferverarbeitungskomponenten (150/200 mm)
Was wird ausgeschrieben
Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin vergibt die Erweiterung seiner bestehenden galvanischen Abscheideanlage Solstice S8. Vorgesehen ist die Nachrüstung einer Gold-Abscheidekammer, einer Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weiterer Komponenten für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern einschließlich Softwareanpassung. Die Beschaffung erfolgt im Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb gemäß § 14 Abs. 4 Nr. 5 VgV.
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Gegenstand der Beschaffung ist die funktionale und technische Erweiterung der am Ferdinand-Braun-Institut bereits vorhandenen galvanischen Abscheideanlage des Typs Solstice S8. Vorgesehen ist insbesondere die Nachrüstung einer Gold-Abscheidekammer, einer Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weiterer für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern erforderlicher Komponenten einschließlich Softwareanpassung. Die nachzurüstenden Komponenten sind technisch, funktional und steuerungsseitig eng mit der vorhandenen Bestandsanlage verknüpft. Ein Wechsel des Unternehmens würde zur Integration von Lieferleistungen mit abweichenden technischen Merkmalen in eine bestehende Systemarchitektur führen und voraussichtlich technische Unvereinbarkeiten bzw. unverhältnismäßige technische Schwierigkeiten insbesondere bei Integration, Betrieb, Wartung, Validierung, Ersatzteilversorgung sowie bei der Aufrechterhaltung eines reproduzierbaren und sicheren Prozessablaufs verursachen. Die Beschaffung erfolgt daher im Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb gemäß § 14 Abs. 4 Nr. 5 VgV.
Das Ferdinand-Braun-Institut in Berlin erweitert seine bestehende galvanische Abscheideanlage Solstice S8 um zusätzliche Prozessmodule. konkret werden eine Gold-Abscheidekammer, eine Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weitere Komponenten für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern nachgerüstet, inklusive notwendiger Softwareanpassungen. Da die Nachrüstung technisch eng mit der vorhandenen Bestandsanlage verknüpft ist, erfolgt die Beschaffung im Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb – das bedeutet, nur der Originalhersteller der Anlage kann dieses spezifische Erweiterungsmodul liefern. Der geschätzte Auftragswert liegt im mittleren sechsstelligen Bereich.
Zentrale Anforderungen
5 Punkte- Nachweis der Kompatibilität mit Solstice S8 Anlage des Originalherstellers
- Erfahrung mit Galvanik- bzw. Abscheideanlagen für Halbleiterfertigung
- Fähigkeit zur Softwareanpassung und -integration in bestehende Steuerungssysteme
- Kenntnisse in der Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern
- Technische Dokumentation und Validierungsunterstützung
Eignungskriterien von KI ermittelt, keine offiziellen Angaben vom Auftraggeber vorhanden.
Aufteilung in Lose
1 LotGegenstand der Beschaffung ist die funktionale und technische Erweiterung der am Ferdinand-Braun-Institut bereits vorhandenen galvanischen Abscheideanlage des Typs Solstice S8. Vorgesehen ist insbesondere die Nachrüstung einer Gold-Abscheidekammer, einer Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weiterer für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern erforderlicher Komponenten einschließlich Softwareanpassung. Die nachzurüstenden Komponenten sind technisch, funktional und steuerungsseitig eng mit der vorhandenen Bestandsanlage verknüpft. Ein Wechsel des Unternehmens würde voraussichtlich zu technischen Unvereinbarkeiten bzw. unverhältnismäßigen technischen Schwierigkeiten insbesondere bei Integration, Betrieb, Wartung, Validierung, Ersatzteilversorgung sowie bei der Aufrechterhaltung eines reproduzierbaren und sicheren Prozessablaufs führen.
Zeitplan
- 29. Apr. 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert