Ersatz und Installation eines 8-kV-Strahlabschaltverstärkers für ein Elektronenstrahl-Lithografiesystem
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Technische Universität Berlin
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verfahrensart unbekannt
- Auftragsart
- Nicht angegeben
- Veröffentlicht
- 07.10.2026
- CPV-Codes
- Reparatur- und Wartungsdienste (50000000)
- Bekanntmachung
- dtvp.de
- Bekanntmachungsnummer
- 25903512
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Die Technische Universität Berlin beschafft einen 8-kV-Verstärker zur Ansteuerung der Ablenkplatten und dessen Installation. Das Ersatzteil ist für das Elektronenstrahl-Lithografiesystem „ELPHY Plus“ des Herstellers Raith GmbH bestimmt; ein Zeitrahmen ist nicht angegeben.
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Leistungsbeschreibung
Ersatzteil und Installation von: Beam Blanker Verstärker 8KV zur Ansteuerung der Ablenkplatten als Teilkomponente eines Elektronenstrahl-Lithografie-Gesamtsystems "ELPHY Plus" der Fa. Raith GmbH
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Ersatzteil und Installation von: Beam Blanker Verstärker 8KV zur Ansteuerung der Ablenkplatten als Teilkomponente eines Elektronenstrahl-Lithografie-Gesamtsystems "ELPHY Plus" der Fa. Raith GmbH
Ersatzteil und Installation von: Beam Blanker Verstärker 8KV zur Ansteuerung der Ablenkplatten als Teilkomponente eines Elektronenstrahl-Lithografie-Gesamtsystems "ELPHY Plus" der Fa. Raith GmbH
Vergabeunterlagen
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1 Eintrag- 08.10.2026VergabebekanntmachungBekanntmachung 25903512
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