Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 09.12.2026, 13:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 10.11.2026
- CPV-Codes
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- Halbleiter (31712330)
- Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
- Bekanntmachung
- vergabekooperation.berlin
- Bekanntmachungsnummer
- 781351-2026
- Verfahrensnummer
- 6c2fb017-9a9b-4083-b7b4-375d5975307d
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage zur Herstellung von Indium-Lotschichten. Die Angebotsfrist endet am 9. Dezember 2026; als Auftragsdauer sind 1.440 Tage angegeben.
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Leistungsbeschreibung
Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten
Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten
Anforderungen an deinen Betrieb
Siehe Ausschreibungsunetralgen
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0000 · Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten
- Realisierung von Indium Bedampfungsprozessen mit einer Abscheiderate von mindestens 80 Å/s
- 20 %
- Prozessbewertung zur verlässlichen SchichtdickenmessungNachzuweisen
- 20 %
- ntegrationsaufwand & Flexibilität
- 20 %
- Preiskomponente Nr. 1 Preis Lieferung Gerät (32%), Preiskomponente Nr. 2 Optionen: 2.1 Schwingquarz-Messsystem mit mehr als zwei Schwingquarzen (2%), 2.2 SECS-GEM-Interface zur Einbindung in ein MES System (2%); 2.3 Eine statistische Prozesskontrolle (SPC) (2%), 2.4Zusätzliches Bedampfungs- oder Temperierkonzept (2%)
- 40 %
Vergabeunterlagen
9 Dateien laut Portal · Stand 10.11.2026| Sonstiges | 623 KB | |
| Formular | 626 KB | |
| Anschreiben | 183 KB | |
| Vertragsbedingungen | 75 KB | |
| Sonstiges | 73 KB | |
| Sonstiges | 132 KB | |
| Sonstiges | 642 KB | |
| Anschreiben | 2,2 MB | |
| Leistungsverzeichnis | 5 KB |
Anforderungen
Siehe Ausschreibungsunetralgen
Änderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
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